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公开(公告)号:KR100386323B1
公开(公告)日:2003-06-02
申请号:KR1020000086466
申请日:2000-12-29
IPC: H01M8/02
CPC classification number: Y02P70/56
Abstract: 본 발명은 소형 연료전지 (고분자 전해질 연료전지 (polymer electrolyte membrane fuel cell, PEMFC), 직접메탄올 연료전지 (direct methanol fuel cell, DMFC) 등)의 제작에 이용되는 bipolar plate를 반도체 재료(Si, SiC/Si)를 이용하여 제작하는 기술이다.
먼저 실리콘 (Si) 혹은 Si 위에 증착된 탄화규소 (SiC/Si) 박막 표면 위에 사진공정과 습식 (혹은 건식) 식각공정 (etching process)을 이용하여 연료가 흐를 수 있는 유로를 형성한다. 그 구조 위에 화학기상증착법 (chemical vapor deposition, CVD), 분자선증착법 (molecular beam epitaxy, MBE), 플라즈마화학기상증착법 (plasma enhanced chemical vapor deposition, PECVD) 혹은 스퍼터링법 (sputtering)을 이용하여 SiO
2 (혹은 SiN
X ) 절연체 박막을 증착한다. 끝으로 그 위에 금속접합공정 (metallization)을 이용하여 집전체 역할을 하는 금속 (Pt, Ru, Pd, Au)을 접합하여 반도체 재료를 이용한 bipolar plate를 제작한다. 이렇게 제작된 bipolar plate를 소형 연료전지 제작에 이용한다.Abstract translation: 目的:提供一种用于制造作为小型燃料电池的组件的双极板的方法,其使用半导体材料代替传统使用的石墨。 该方法包括使用硅烷气体(SiH 4,SiCl 4等),烃气体(CH 4,C 2 H 4),在硅衬底上生长厚度为10nm至100微米(根据目的)的碳化硅薄膜 ,等等)和有机硅烷化合物(CH 3 SiH 3,CH 3 SiCl 3,(CH 3)6 Si 2,(CH 3)4 Si等)作为原料通过化学气相沉积,等离子体化学气相沉积,溅射和液相方法 。 在蚀刻Si或SiC / Si的方法中,干法蚀刻使用诸如SF6,CF4,NF3和CCl4的气体,并且湿法蚀刻使用诸如KOH,NaOH和HF的气体。
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公开(公告)号:KR1020030025582A
公开(公告)日:2003-03-29
申请号:KR1020010058705
申请日:2001-09-21
Applicant: 박기수
IPC: A61B17/70
CPC classification number: A61B17/8802 , A61B17/8841 , A61B17/8855 , A61F2/44
Abstract: PURPOSE: A spinal body forming apparatus for treating pain of spinal compression fracture and method thereof are provided to restore a fractured spinal body to a normal size by enlarging using a stent and a stent retractor. CONSTITUTION: The spinal body forming apparatus for treating pain of spinal compression fracture and method thereof to prevent the second fracture progression are characterized by the spinal body forming process comprising perforating a hole through the fractured spinal body using a trocar(10); inserting a stent(20) and a stent retractor(30) into the perforated hole to enlarge the fractured region(100) to an original state; and pouring bone cement(50) into the spinal body.
Abstract translation: 目的:提供一种用于治疗脊柱压迫性骨折疼痛的脊椎体形成装置及其方法,其通过使用支架和支架牵开器扩大将骨折骨折恢复到正常尺寸。 构成:用于治疗脊柱压迫性骨折疼痛的脊椎体形成装置及其防止第二骨折进展的方法的特征在于脊椎体形成工艺,其包括使用套管针(10)穿过断裂的脊柱体穿孔。 将支架(20)和支架牵缩器(30)插入穿孔中以将断裂区域(100)扩大到原始状态; 并将骨水泥(50)倒入脊椎体内。
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