公开(公告)号：FR3030739B1

公开(公告)日：2019-05-03

申请号：FR1462718

申请日：2014-12-18

Applicant: COMMISSARIAT ENERGIE ATOMIQUE

Inventor： FAIN BRUNO ,  ROBERT PHILIPPE ,  VERDOT THIERRY

IPC: G01L9/00 ,  B81B7/02 ,  B82B1/00 ,  H04R23/00

Abstract: Capteur de pression de type MEMS et/ou NEMS comportant dans un substrat: - une partie fixe et une partie mobile par rapport à la partie fixe, la partie mobile comprenant un élément sensible (108) mobile dans le plan du capteur sous l'effet d'une variation de pression, - un jauge de contrainte (18) pour détecter le déplacement de l'élément sensible (108) dans le plan du capteur dû à la variation de pression, - des électrodes d'actionnement (24.1, 24.2,) de l'élément sensible, lesdites électrodes d'actionnement étant portées en partie par la partie fixe et par la partie mobile, lesdites électrodes d'actionnement étant commandées de sorte à asservir en position le déplacement de l'élément sensible (108), - des moyens de commande (C) des électrodes d'actionnement qui sont configurés, à partir des signaux émis par la jauge, pour polariser les électrodes d'actionnement de sorte à asservir en position le déplacement l'élément sensible.

公开(公告)号：FR3070296A1

公开(公告)日：2019-03-01

申请号：FR1757959

申请日：2017-08-29

Applicant: COMMISSARIAT ENERGIE ATOMIQUE

Inventor： JOET LOIC ,  LOUWERS STEPHANUS ,  ROBERT PHILIPPE

IPC: B28D5/00 ,  B23K26/38

Abstract: L'invention concerne un procédé de découpe d'un assemblage (10), des premiers chemins en retrait de la seconde face avant et des seconds chemins croisant les premiers chemins délimitent des premières régions (60), et les premiers chemins délimitent des canaux parallèles entre eux, des plots de connexion (80) disposés sur chaque premier chemin, le procédé comprenant une découpe de l'assemblage (10) selon chacun des premiers chemins constituée d'une première découpe du premier substrat (20) et d'une seconde découpe du second substrat (30) selon deux plans perpendiculaires à la première face, dits, respectivement, premier plan P1 et second plan P2, et encadrant les plots de connexion (80), les première et seconde découpes débouchant dans le canal, la première et la seconde découpe présentent une largeur L inférieure à 20 micromètres.

公开(公告)号：FR3056978A1

公开(公告)日：2018-04-06

申请号：FR1659623

申请日：2016-10-05

Applicant: COMMISSARIAT ENERGIE ATOMIQUE

Inventor： ROBERT PHILIPPE

IPC: B81B7/02 ,  H04R23/00

Abstract: Système électromécanique capteur de pression, en particulier de type microphone comportant : - un transducteur électromécanique, - des moyens de traitement de signaux, - un substrat (1) d'accueil d'au moins un support (20, 30) du transducteur électromécanique et/ou des moyens de traitement de signaux, - un capot de protection (40) agencé sur la face supérieure (3) du substrat (1), - le support (20, 30) du transducteur électromécanique et/ou des moyens de traitement de signaux étant logé dans au moins une cavité placée en face inférieure du substrat.

公开(公告)号：FR2983188A1

公开(公告)日：2013-05-31

申请号：FR1160972

申请日：2011-11-30

Applicant: COMMISSARIAT ENERGIE ATOMIQUE

Inventor： ROBERT PHILIPPE

IPC: B81C1/00

Abstract: Procédé de réalisation d'une structure comportant une partie active comportant au moins deux couches à partir d'un premier substrat silicium monocristallin, ledit procédé comportant les étapes : a) réalisation d'au moins une zone de silicium poreux dans le premier substrat, b) réalisation d'un dépôt par croissance épitaxiale d'une couche de silicium monocristallin sur toute la surface du premier substrat et sur la surface de la zone de silicium poreux, c) usinage de la couche de monocristalline obtenue par épitaxie au niveau de la zone en silicium poreux pur réaliser une première zone suspendue, d) retrait ou oxydation du silicium poreux, e) dépôt d'une couche sacrificielle sélective par rapport au silicium, f) usinage du premier substrat, g) libération des zones suspendues par retrait de la couche sacrificielle.

公开(公告)号：ES2399985T3

公开(公告)日：2013-04-04

申请号：ES06793195

申请日：2006-09-04

Applicant: PEUGEOT CITROEN AUTOMOBILES SA ,  COMMISSARIAT ENERGIE ATOMIQUE

Inventor： BAVOUX BERNARD ,  DANEL JEAN-SEBASTIEN ,  ROBERT PHILIPPE ,  PAULY MAXIME

IPC: G01D5/48 ,  H01T13/58

Abstract: Estructura de sensor para un ambiente hostil, caracterizada por comprender un cuerpo de sensor (1) queincluye, en un extremo, un elemento (2) sensible a la magnitud que ha de medirse en el ambiente hostil y, en otroextremo, un circuito de interconexión (3) del mismo, emplazado fuera del ambiente hostil, separados físicamenteentre sí, enlazados mediante unos medios de transmisión de información por corriente portadora a través de unconductor eléctrico (5) del sensor al que están asociados el elemento sensible y el circuito de interconexiónmediante unos medios de acoplamiento inalámbrico y entre los cuales se prevén unos medios de protección (4) delcircuito de interconexión contra la acción del ambiente.

公开(公告)号：FR2941534B1

公开(公告)日：2011-12-23

申请号：FR0950463

申请日：2009-01-26

Applicant: COMMISSARIAT ENERGIE ATOMIQUE

Inventor： WALTHER ARNAUD ,  ROBERT PHILIPPE

IPC: G01R33/00

公开(公告)号：FR2957414A1

公开(公告)日：2011-09-16

申请号：FR1051831

申请日：2010-03-15

Applicant: COMMISSARIAT ENERGIE ATOMIQUE

Inventor： WALTHER ARNAUD ,  JOURDAN GUILLAUME ,  ROBERT PHILIPPE

IPC: G01L1/00 ,  G01P15/02

Abstract: Dispositif de détection MEMS ou NEMS d'une force selon une direction donnée, comportant un support (4) et au moins une masse sismique (2) apte à se déplacer sous l'effet de la force à mesurer dans la direction de ladite force, et des moyens de détection (10) du déplacement de ladite masse sismique (2), ladite masse sismique étant articulée par rapport au support par au moins une liaison pivot, et des moyens aptes à faire varier la distance entre l'axe (Z) de la liaison pivot et le centre de gravité (G) de l'exercice de la force sur ladite masse sismique.

公开(公告)号：FR2941534A1

公开(公告)日：2010-07-30

申请号：FR0950463

申请日：2009-01-26

Applicant: COMMISSARIAT ENERGIE ATOMIQUE

Inventor： WALTHER ARNAUD ,  ROBERT PHILIPPE

IPC: G01R33/00

Abstract: Capteur (100) de champ magnétique comportant au moins : - un corps (108) comprenant des moyens magnétiques (112) aptes à former un couple s'exerçant sur le corps sous l'action d'un champ magnétique extérieur à détecter, - des moyens de liaison (116) reliant mécaniquement le corps à une portion d'encastrement (114) du capteur par au moins une liaison pivot d'axe perpendiculaire à la direction du champ magnétique à détecter, - des moyens de détection d'une contrainte exercée par le corps sous l'action du couple, comportant au moins une jauge de contrainte suspendue (124) entre la portion d'encastrement et le corps.

公开(公告)号：DE602005019817D1

公开(公告)日：2010-04-22

申请号：DE602005019817

申请日：2005-08-12

Applicant: COMMISSARIAT ENERGIE ATOMIQUE

Inventor： ROBERT PHILIPPE

IPC: G01C19/56 ,  G01P3/14

Abstract: The gyrometer has an excitation resonator (20) with seismic masses (12, 12`) connected to each other by connecting arms (14, 14`) and flexible units (16, 16`). Excitation combs (18, 18`) put the masses into movement in a direction (X) of a plane. A detection electrode (26) and an excitation electrode (28) excite a detection resonator (22), connected to the resonator (20), and measure the frequency of its natural mode. The excitation resonator (20) is capable of moving freely along the plane.

公开(公告)号：AT459888T

公开(公告)日：2010-03-15

申请号：AT07103819

申请日：2007-03-09

Applicant: COMMISSARIAT ENERGIE ATOMIQUE

Inventor： ROBERT PHILIPPE ,  HENTZ SEBASTIEN

IPC: G01P15/125 ,  G01P15/18

Abstract: The structure has a substrate (10), and a thin deformable elastic membrane (12) suspended above the substrate and integrated to the substrate at its periphery. A seismic mass (M) is suspended above the membrane and is connected to the membrane by a central pin. Capacitive interdigited combs are distributed around the mass and comprise movable armatures (AF1, AF3) integrated to the mass and fixed armatures (AM1, AM3) integrated the substrate.