改性酚醛清漆型酚醛树脂、抗蚀材料、涂膜和抗蚀永久膜

    公开(公告)号:CN105190439B

    公开(公告)日:2019-05-17

    申请号:CN201480015445.5

    申请日:2014-01-21

    Abstract: 本发明提供一种显影性及耐热性优异的改性酚醛清漆型酚醛树脂、及其制造方法、感光性组合物、抗蚀材料和永久膜。改性酚醛清漆型酚醛树脂的特征在于,具有:下述结构式(1)〔式中,Ar为下述结构式(2‑1)或(2‑2)(式中k为0~2的整数,p为1~5的整数,q为1~7的整数,R3为氢原子、烷基、烷氧基、芳基、芳烷基、卤素原子中任意者)所示的结构部位,R1、R2分别为烷基、烷氧基、芳基、芳烷基、卤素原子中任意者,m、n分别为1~4的整数〕所示的芳香族化合物(A)与醛化合物(B)进行缩合而得到的酚醛清漆型酚醛树脂(C)所具有的酚性羟基的氢原子的一部分或全部被酸离解性基团取代的分子结构。

    酚醛清漆型含酚羟基树脂、其制造方法、固化性组合物、保护剂用组合物及彩色光阻剂

    公开(公告)号:CN106068292B

    公开(公告)日:2019-02-05

    申请号:CN201580012715.1

    申请日:2015-02-26

    Abstract: 本发明的目的在于,提供一种耐热性、透明性及透光性优异的酚醛清漆型含酚羟基树脂,提供一种酚醛清漆型含酚羟基树脂,其具有下述结构式(1)所示的结构部位作为重复单元[式(1)中,R1为氢原子、烷基、芳基中的任一者。X为下述结构式(2)所示的结构部位(α)(式(2)中,R2、R3为氢原子、烷基、芳基、芳烷基中的任意者,n及m为1~3的整数。n或m为2或3时,分子中存在的多个R2、R3可以各自相同也可以不同。Ar为苯基、萘基、蒽基、或它们的芳香核上的一个或多个氢原子被烷基、芳基、芳烷基中的任意者取代了的结构部位的任一者。)。]。

    酚醛清漆型树脂及抗蚀剂材料

    公开(公告)号:CN109071744A

    公开(公告)日:2018-12-21

    申请号:CN201780023399.7

    申请日:2017-03-23

    Abstract: 提供耐热性、碱显影性、感光度、分辨率等各性能优异的酚醛清漆型树脂、含有前述酚醛清漆型树脂的感光性组合物、含有前述酚醛清漆型树脂的固化性组合物及其固化物、使用前述感光性组合物或固化性组合物而成的抗蚀剂材料。涉及将具有三(羟基芳基)次甲基的化合物(A)和醛化合物(B)作为必须反应原料的酚醛清漆型树脂、含有前述酚醛清漆型树脂的感光性组合物、含有前述酚醛清漆型树脂的固化性组合物及其固化物、使用前述感光性组合物或固化性组合物而成的抗蚀剂材料。

    酚醛清漆型树脂及抗蚀膜
    75.
    发明公开

    公开(公告)号:CN108368213A

    公开(公告)日:2018-08-03

    申请号:CN201680072587.4

    申请日:2016-11-17

    Inventor: 今田知之

    Abstract: 提供显影性、耐热性及耐干蚀刻性优异的酚醛清漆型树脂及抗蚀膜。一种酚醛清漆型树脂,其特征在于,其包含具有下述结构式(1)[式中α为下述结构式(2)所示的结构部位(α),n为2~10的整数。]所示分子结构的环状酚醛清漆型树脂(A),树脂中存在的X中的至少一个为叔烷基、烷氧基烷基、酰基、烷氧基羰基、含杂原子环状烃基、三烷基甲硅烷基中的任意者,树脂中存在的结构部位(α)中的至少一个是l为1的结构部位(α1)、至少一个是l为2的结构部位(α2)。

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