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公开(公告)号：KR1020170069178A
公开(公告)日：2017-06-20
申请号：KR1020170059647
申请日：2017-05-13
Applicant: 주식회사 에이피에스
CPC classification number: G01N21/88 , B65G35/00 , B65G49/00 , F16F9/02 , G01N21/8806 , G01N2201/02 , G01N2201/025 , G06K7/1404 , G08C17/02 , H04L69/16 , H04N5/225
Abstract: 본발명은멀티광학모듈비전검사시스템에관한것으로, 반도체소재및 디스플레이소재분야의다양한형태와사이즈를가진샘플제품에대하여진동저감을위한 Air Cylinder 구조의방진설비와스테이지유닛이송모듈과기구부를포함하는검사장비에서, 광학조명과비전검사시스템을사용하여검사대상제품의표면결함(이물, 스크래치, 패턴오류등)을검출하고양불여부를판단하여생산공정에서제품불량을줄이는효과가있다.
Abstract translation: 本发明包括涉及一种多光学模块，视觉检查系统，气缸结构减振相对于各种形状和所述半导体材料和所述显示材料领域振动设备和工作台单元传送模块和的机构部件的尺寸的样品产物 在测试设备检测，使用光学照明和视觉检查系统的产物（异物，划痕，该图案错误等）的检查表面缺陷，则确定yangbul是否具有降低在生产过程中的产品缺陷的效果。
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公开(公告)号：KR1020160108316A
公开(公告)日：2016-09-19
申请号：KR1020167016349
申请日：2014-11-17
Applicant: 퀀텀-에스아이 인코포레이티드
Inventor： 로스버그,조나단,엠. , 카비리,알리 , 식클러,제이슨,더블유. , 기야르파스,브렛,제이. , 랙키,제레미 , 슈미드,제라드
CPC classification number: G01N21/6486 , B01L3/5085 , B01L2200/12 , B01L2300/0829 , B01L2300/0887 , B01L2300/0893 , B01L2300/168 , C12Q1/6869 , C12Q1/6874 , C12Q2521/101 , C12Q2537/157 , C12Q2563/107 , C12Q2565/607 , G01N21/64 , G01N21/645 , G01N21/6452 , G01N21/648 , G01N21/7743 , G01N21/7746 , G01N2021/6419 , G01N2021/6441 , G01N2021/6478 , G01N2201/02 , G01N2201/06113 , G01N2201/0612 , G01N2201/062 , G01N2201/068 , G01N2201/125 , Y10T29/49016 , C12Q2525/101 , C12Q2565/628
Abstract: 단일분자핵산서열분석과같은, 생체분자검출및/또는분석을수행할수 있는액티브-소스-픽셀, 통합디바이스가설명된다. 이통합디바이스의액티브픽셀은분석될샘플이확산될수 있는샘플우물, 이샘플우물에여기에너지를제공하기위한여기소스, 및샘플로부터의방출을검출하도록구성된센서를포함한다. 센서는샘플에부착되거나, 또는샘플과관련되는태그들을구별하고식별하기위해분석되는신호들의세트를생성하는둘 이상의세그먼트를포함할수 있다. 태그구별은스펙트럼및/또는시간기반일수 있다. 태그들의식별은생체분자를검출, 분석, 및/또는그의서열분석에이용될수 있다.
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公开(公告)号：KR1020160083014A
公开(公告)日：2016-07-11
申请号：KR1020167013595
申请日：2014-10-31
Applicant: 3스캔 인크.
CPC classification number: G02B21/362 , B26D5/007 , G01N1/06 , G01N1/286 , G01N21/55 , G01N2001/2873 , G01N2201/02 , G01N2201/06113 , G02B21/002 , G02B21/32
Abstract: 현미경이미지를스캐닝하기위한 2차원및 3차원에서의운동전략들이설명된다. 물체, 표본, 또는피검물이정밀 3-차원스테이지상에장착된다. 물체는, 물체를절단하기위한절단도구에대해, 제1 축및 제1 축에직교하는제2 축에관련하여동시에이동하게된다. 절단부분의이미지가, 물체가이동함에따라, 생성된다. 절단도구는, 절단되는물체의부분을조명하기위한광 도파관으로서역할을할 수있을것이다. 광학적요소가, 절단되고조명된물체의이미지들을캡처한다. 물체는나아가, 제1 축및 제2 축양자모두에수직인제3 축에관련하여동시에이동하게될 수있을것이다.
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公开(公告)号：KR1020150038640A
公开(公告)日：2015-04-08
申请号：KR1020157006261
申请日：2013-09-13
Applicant: 베크만 컬터, 인코포레이티드
CPC classification number: G01N21/03 , G01N21/01 , G01N21/59 , G01N35/0099 , G01N35/04 , G01N35/10 , G01N2021/0346 , G01N2035/0465 , G01N2035/1039 , G01N2035/1062 , G01N2201/02 , G01N2201/062
Abstract: 분석시스템(600)이개시되어있다. 분석시스템은복수의모세관들을저장하도록구성된저장용기(606)를포함한다. 또한, 분석시스템은, 복수의모세관들중 적어도하나를수용하고적어도하나의모세관을이동시키도록구성된그리퍼(618)를포함하여서, 모세관의일 단부가샘플용기(614) 내의샘플과접촉하고모세관내로샘플을끌어당기게한다. 본시스템은또한모세관내의샘플로부터의신호를검출하도록구성된판독기(612)를포함한다.
Abstract translation: 显示了分析系统600。 分析系统包括被配置为存储多个毛细管的存储容器（606）。 分析系统还包括夹持器618，夹持器618被构造成接收多个毛细管中的至少一个并移动至少一个毛细管，使得毛细管的一端与样本容器614中的样本接触并进入毛细管 拉样品。 该系统还包括配置成检测来自毛细管中的样品的信号的读取器612。
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公开(公告)号：KR1020160108317A
公开(公告)日：2016-09-19
申请号：KR1020167016350
申请日：2014-11-17
Applicant: 퀀텀-에스아이 인코포레이티드
Inventor： 로스버그,조나단,엠. , 카비리,알리 , 식클러,제이슨,더블유. , 기야르파스,브렛,제이. , 랙키,제레미 , 슈미드,제라드 , 시프리아니,벤자민 , 제웰,잭 , 웨스트,로렌스 , 페리그노,마이클 , 글렌,폴,이. , 벨로피오레,앤서니
CPC classification number: G01N21/6486 , B01L3/5085 , B01L2200/12 , B01L2300/0829 , B01L2300/0887 , B01L2300/0893 , B01L2300/168 , C12Q1/6869 , C12Q1/6874 , C12Q2521/101 , C12Q2537/157 , C12Q2563/107 , C12Q2565/607 , G01N21/64 , G01N21/645 , G01N21/6452 , G01N21/648 , G01N21/7743 , G01N21/7746 , G01N2021/6419 , G01N2021/6441 , G01N2021/6478 , G01N2201/02 , G01N2201/06113 , G01N2201/0612 , G01N2201/062 , G01N2201/068 , G01N2201/125 , Y10T29/49016 , C12Q2525/101
Abstract: 단일분자를분석하고핵산서열분석을수행하기위한장치및 방법이제공된다. 통합디바이스는, 여기될때, 방사를방출하는샘플을수신하도록구성된샘플우물을갖는다수의픽셀; 특정방향으로방출방사를유도하기위한적어도하나의엘리먼트; 및방출방사가샘플우물로부터그를통해센서로이동하는광 경로를포함한다. 장치는또한통합디바이스와인터페이스하는기기를포함한다. 각각의센서는각 샘플우물에서샘플로부터의방출방사를검출할수 있다. 기기는각각의샘플우물에서샘플을여기시키기위한여기광원을포함한다.
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：KR1020160013920A
公开(公告)日：2016-02-05
申请号：KR1020157035777
申请日：2014-05-28
Applicant: 케이엘에이-텐코 코포레이션
Inventor： 누리엘아미르
CPC classification number: G01N21/01 , G01N21/9501 , G01N2201/02 , G01N2201/12 , G03F7/70616 , G06F17/5072 , G06F17/5081 , Y10T428/2457
Abstract: 다층타겟들, 설계파일들및 그설계및 생산방법들이제공된다. 다층타겟들은특정영역들에서평행분할특색들을갖도록배열된프로세스층들과, 상기특정영역들에서상기프로세스층들의평행분할특색들에수직인타겟요소들을포함하는타겟층을포함한다.
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公开(公告)号：KR101540554B1
公开(公告)日：2015-07-29
申请号：KR1020157006261
申请日：2013-09-13
Applicant: 베크만 컬터, 인코포레이티드
CPC classification number: G01N21/03 , G01N21/01 , G01N21/59 , G01N35/0099 , G01N35/04 , G01N35/10 , G01N2021/0346 , G01N2035/0465 , G01N2035/1039 , G01N2035/1062 , G01N2201/02 , G01N2201/062
Abstract: 분석시스템(600)이개시되어있다. 분석시스템은복수의모세관들을저장하도록구성된저장용기(606)를포함한다. 또한, 분석시스템은, 복수의모세관들중 적어도하나를수용하고적어도하나의모세관을이동시키도록구성된그리퍼(618)를포함하여서, 모세관의일 단부가샘플용기(614) 내의샘플과접촉하고모세관내로샘플을끌어당기게한다. 본시스템은또한모세관내의샘플로부터의신호를검출하도록구성된판독기(612)를포함한다.
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公开(公告)号：KR1020160108318A
公开(公告)日：2016-09-19
申请号：KR1020167016352
申请日：2014-11-17
Applicant: 퀀텀-에스아이 인코포레이티드
Inventor： 로스버그,조나단,엠. , 카비리,알리 , 식클러,제이슨,더블유. , 기야르파스,브렛,제이. , 랙키,제레미 , 슈미드,제라드 , 시프리아니,벤자민 , 제웰,잭 , 웨스트,로렌스 , 페리그노,마이클 , 글렌,폴,이. , 코헨,아담,이. , 벨로피오레,앤서니
CPC classification number: G01N21/6486 , B01L3/5085 , B01L2200/12 , B01L2300/0829 , B01L2300/0887 , B01L2300/0893 , B01L2300/168 , C12Q1/6869 , C12Q1/6874 , C12Q2521/101 , C12Q2537/157 , C12Q2563/107 , C12Q2565/607 , G01N21/64 , G01N21/645 , G01N21/6452 , G01N21/648 , G01N21/7743 , G01N21/7746 , G01N2021/6419 , G01N2021/6441 , G01N2021/6478 , G01N2201/02 , G01N2201/06113 , G01N2201/0612 , G01N2201/062 , G01N2201/068 , G01N2201/125 , Y10T29/49016 , C12Q2525/101 , C12Q2563/103
Abstract: 단일분자를분석하고핵산서열분석을수행하기위한장치및 방법. 장치는, 여기될때, 방출에너지를방출하는샘플을수용하도록구성되는샘플웰; 특정방향으로방출에너지를지향시키기위한적어도하나의소자; 및방출에너지가샘플웰로부터센서를향해지나가는광 경로를갖는다수의픽셀들을포함하는어세이칩을포함할수 있다. 이러한장치는또한어세이칩과인터페이스하는기기를포함한다. 이러한기기는각각의샘플웰에서샘플을여기하기위한여기광원; 샘플웰들에대응하는복수의센서들을포함한다. 각각의센서는각각의샘플웰에서샘플로부터방출에너지를검출할수 있다. 이러한기기는각각의샘플웰로부터의방출에너지를복수의센서들의각각의센서를향해지향시키는적어도하나의광학소자를포함한다.
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公开(公告)号：KR1020160101137A
公开(公告)日：2016-08-24
申请号：KR1020167019615
申请日：2014-12-23
Applicant: 케이엘에이-텐코 코포레이션
Inventor： 밥로브야코브
CPC classification number: G01N21/8806 , G01B11/24 , G01N21/9501 , G01N2201/02 , G01N2201/06113 , H01L22/12 , H01L22/30
Abstract: 다중채널포커스제어를이용하여웨이퍼의후방표면을검사하기위한시스템은, 위치설정된제1 검사서브시스템들및 추가검사서브시스템들을포함하는검사서브시스템들의세트를포함한다. 제1 및추가검사서브시스템들은, 광학어셈블리, 액추에이션어셈블리, 및광학어셈블리의일부분과웨이퍼의후방표면사이에위치특징을감지하도록구성된위치센서를포함하며, 광학어셈블리는액추에이션어셈블리상에배치된다. 시스템은웨이퍼의후방표면의하나이상의웨이퍼프로파일맵들을획득하고, 수신된하나이상의웨이퍼프로파일맵들에기반하여, 제1 검사서브시스템의제1 포커스위치또는추가검사서브시스템의추가포커스위치를조정하도록구성된제어기를더 포함한다.
Abstract translation: 用于通过多通道聚焦控制来检查晶片的背面的系统包括一组检查子系统，包括定位的第一检查子系统和附加的检查子系统。 第一和附加检查子系统包括光学组件，致动组件，其中光学组件设置在致动组件上，以及位置传感器，其被配置为感测光学组件的一部分与背面侧面之间的位置特性 晶圆。 该系统还包括控制器，该控制器被配置为获取晶片的背面的一个或多个晶片轮廓图，并基于该第一检测子系统调整第一检查子系统的第一焦点位置或附加检查子系统的附加焦点位置 接收到一个或多个晶片轮廓图。
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公开(公告)号：KR1020150046301A
公开(公告)日：2015-04-29
申请号：KR1020157007763
申请日：2013-08-09
Applicant: 가부시키가이샤 무라타 세이사쿠쇼
IPC: G01N21/3581 , G01N21/3586 , G01N21/47
CPC classification number: G01N21/59 , G01N21/01 , G01N21/03 , G01N21/3581 , G01N2021/0339 , G01N2201/02 , G01N2201/061 , G02B5/18 , G02B21/34 , H01J37/20 , H01J37/3178 , Y10T29/49 , G01N21/3586 , G01N21/47 , G01N2021/4709
Abstract: 기계적강도가높고, 취급시의만곡이나파손이생기기어려운틈새배치구조체를제공한다. 전자파의조사에의해, 피측정물의특성을측정하는데사용되는틈새배치구조체로서, 제1의주면(2a)과, 제1의주면(2a)과대향하는제2의주면(2b)을가지고, 제1의주면(2a)으로부터제2의주면(2b)을향해관통하고있는복수의틈새부(2c)가틈새배치플레이트(2)에마련되어있고, 상기틈새배치플레이트(2)의제1의주면(2a) 및제2의주면(2b) 중적어도한쪽의주면에, 적어도하나의틈새부(2c)를노출시키는개구부혹은컷아웃부를가지도록지지기재(3,4)가적층되어있는틈새배치구조체(1).
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