トレンチゲートのリードアウト構造およびそれを製造する方法

    公开(公告)号:JP2019506010A

    公开(公告)日:2019-02-28

    申请号:JP2018560711

    申请日:2017-05-26

    Abstract: トレンチゲートのリードアウト構造は、基板10と、基板10の表面に形成されたトレンチと、基板10上の第1の誘電体層22とを備えるとともに、トレンチの内部表面にポリシリコンゲート31も備える。トレンチは、ポリシリコンゲート31によって部分的に充填され、それによって、凹みが、ポリシリコンゲート31の上方のトレンチ内に存在する。第2の誘電体層41は、凹み内に充填される。トレンチゲートのリードアウト構造は、金属プラグ50も備える。金属プラグ50は、第1の誘電体層22を下向きに貫通し、次いで第2の誘電体層41とポリシリコンゲート31との間に挿入され、したがって、ポリシリコンゲート31に接続される。

    横方向拡散金属酸化物半導体電界効果トランジスタ

    公开(公告)号:JP2018535559A

    公开(公告)日:2018-11-29

    申请号:JP2018527941

    申请日:2016-08-25

    Abstract: 横方向拡散金属酸化物半導体電界効果トランジスタが、基板(110)と、ゲートと、ソース(150)と、ドレイン(140)と、ボディ領域(160)と、ソース(150)とドレイン(140)の間のフィールド酸化物領域(170)と、基板(110)上の第1のウェル領域(122)及び第2のウェル領域(124)と、を備える。ゲートの下の第2のウェル領域(124)は、複数のゲートドープ領域(184)が設けられ、ゲートのポリシリコンゲート(182)は、マルチセグメント構造であり、それぞれのセグメントは、他から分離され、それぞれのゲートドープ領域は、ポリシリコンゲート(182)のそれぞれのセグメントの間の間隙の下に配置される。ゲートドープ領域(184)のそれぞれは、ゲートドープ領域のどちらの面においても、2つの多結晶シリコンゲート(182)のセグメントの中から、ソース(150)と最も近い方向のセグメントと電気的に接続される。 【選択図】図1

    SEMICONDUCTOR DEVICE AND MANUFACTURING METHOD THEREFOR

    公开(公告)号:US20240282621A1

    公开(公告)日:2024-08-22

    申请号:US18571601

    申请日:2022-06-17

    CPC classification number: H01L21/7681 H01L21/31116 H01L21/76877 H01L23/5226

    Abstract: A manufacturing method for a semiconductor device includes: forming an etching termination layer, a first dielectric layer, an auxiliary dielectric layer and a second dielectric layer which are successively stacked from bottom to top; by taking a photoresist layer as an etching barrier layer, patterning the second dielectric layer to obtain a first opening pattern, the bottom of the first opening being provided with a second opening pattern exposing part of the auxiliary dielectric layer; forming a first trench passing through the second dielectric layer and the auxiliary dielectric layer and extending to the first dielectric layer, and forming a second trench passing through the first dielectric layer from the bottom of the first trench and extending to the etching termination layer; and forming a conductive layer in the first and second trenches.

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