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公开(公告)号：CN102092958A
公开(公告)日：2011-06-15
申请号：CN201010594699.0
申请日：2010-12-20
Applicant: 东莞宏威数码机械有限公司
IPC: C03C17/28
Abstract: 本发明公开了一种自动对位装置，用于实现掩膜板与基板的精确对位，包括真空腔体、夹持板、开爪机构，基板传输机构、基板升降机构、掩膜板传输机构、掩膜板升降机构、固定板、基板对位机构、控制器及检测机构，其中，基板对位机构、基板传输机构、基板升降机构、掩膜板升降机构、掩膜板传输机构、开爪机构及检测机构分别与控制器电连接，检测机构对掩膜板与基板的位置进行实时检测并反馈给控制器，由控制器对真空腔体内的基板和掩膜板分别对应做升降、水平调整对位的操作，使其在保证真空腔体的真空度的状态下，实现基板和掩膜板的精准对位，提高成品率及生产效率，本发明同时公开了一种能实现精准对位、提高成品率及生产效率的自动对位方法。
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公开(公告)号：CN102051581A
公开(公告)日：2011-05-11
申请号：CN201010613928.9
申请日：2010-12-30
Applicant: 东莞宏威数码机械有限公司
Abstract: 本发明提供了一种基片镀膜处理系统，包括腔体、加热装置、闸阀组件、基片传动装置、抽真空装置、膜厚检测仪、蒸发源及控制器。腔体依次包括连通并形成基片输送通道的进料腔、初始加热腔、有机镀膜腔、无机镀膜腔、降温腔及出料腔；加热装置分别设于初始加热腔、有机镀膜腔及无机镀膜腔上；闸阀组件包括密封初始加热腔、有机镀膜腔、无机镀膜腔及降温腔的若干闸阀；基片传动装置分别设于基片输送通道上；抽真空装置连通初始加热腔和降温腔；膜厚检测仪和蒸发源均设于有机镀膜腔和无机镀膜腔上；控制器控制加热装置、闸阀、基片传动装置、抽真空装置、膜厚检测仪和蒸发源。本发明能集有机和无机蒸镀于一体，且能确保基片镀膜均匀性。
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公开(公告)号：CN101673699B
公开(公告)日：2011-05-11
申请号：CN200910042395.0
申请日：2009-09-03
Applicant: 东莞宏威数码机械有限公司
IPC: H01L21/68 , H01L21/683
CPC classification number: G02B21/34
Abstract: 本发明公开了一种基片盒载台，其中，还包括检测单元，检测单元包括光电传感器、传感器支架、传感器反射板、传感器挡板、悬挂轴及控制装置，传感器支架安装于第二支撑板上，传感器反射板安装于第二支撑板上，光电传感器设置于传感器反射板正下方并与控制装置电连接，第二支撑板上开设有通槽，传感器挡板具有沿相反方向延伸的第一弯折部和第二弯折部，传感器挡板呈倾斜地贯穿通槽，第一弯折部的弯折处搭载于悬挂轴上，悬挂轴连接于第二支撑板上，第一弯折部斜向上地突出通槽的上端，第二弯折部斜向下地突出通槽的下端并邻近光电传感器与传感器反射板的形成的光通路。本发明能有效的防止基片从基片盒内跌落，并能大幅度的提高基片传输效率和质量。
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公开(公告)号：CN101989649A
公开(公告)日：2011-03-23
申请号：CN201010187923.4
申请日：2010-05-25
Applicant: 东莞宏威数码机械有限公司
IPC: H01L51/56
Abstract: 本发明公开一种限位装置，所述限位装置包括固定座、拨块、锁杆、拉簧、直线轴承件及若干导向轮，所述导向轮的侧面开设有凹槽且呈两排对称地枢接于所述固定座内而形成导槽，所述拔块具有准直部，所述准直部的一侧具有凸伸出的阻挡部，所述准直部滑动地嵌于所述导槽内，所述阻挡部位于同一排的所述导向轮中的两相邻导向轮之间且凸伸出所述导槽，所述准直部呈斜向开设有斜槽，所述锁杆的一端活动地连接于所述斜槽内，所述锁杆的另一端活动地穿过所述直线轴承件，所述直线轴承件与所述固定座固定连接，所述拉簧呈拉伸状且一端与所述固定座固定，所述拉簧的另一端与所述拨块固定。本发明限位装置结构简单紧凑、成本低、维修方便、能广泛应用。
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公开(公告)号：CN101988191A
公开(公告)日：2011-03-23
申请号：CN201010568448.5
申请日：2010-12-01
Applicant: 东莞宏威数码机械有限公司
IPC: C23C14/58
Abstract: 本发明公开了一种基板卸载装置，其具有腔内传输机构及腔外传输机构，在腔内传输机构的两端分别安装有腔内感应系统，腔外传输机构的两端分别安装有腔外感应系统，且真空腔体及腔内传输机构上均设置有冷却水管，因此，在镀膜生产线上的高温基板经过腔内传输机构传输的同时，真空腔体及腔内传输机构上的冷却水管对基板进行有效冷却，避免现有技术中基板与冷却板直接接触的方式，不易损坏基板，提高生产的良品率，冷却后的基板经腔外传输机构进行卸载，实现在真空环境下对高温基板进行卸载的同时对其有效冷却，使操作精度高。另，本发明还公开了使用基板卸载装置卸载基板的方法。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN101958265A
公开(公告)日：2011-01-26
申请号：CN201010187951.6
申请日：2010-05-25
Applicant: 东莞宏威数码机械有限公司
IPC: H01L21/677 , H01L21/00 , H01L51/56
Abstract: 本发明提供了一种薄板加热输送装置，包括底座、水平输送机构、加热装置及竖直升降机构。水平输送机构装在底座两侧上，其包括水平直线驱动器、传动部件及若干相互对应的摇杆轴和薄板托手。摇杆轴下端与底座枢接，上端与薄板托手的连接端固定，薄板托手的承载端悬在底座上，底座相对的两侧上的薄板托手的承载端形成输送区，传动部件一端与摇杆轴固定，另一端与水平直线驱动器连接。加热装置装在位于输送区正下方的底座上。竖直升降机构包括升降部件及竖直升降驱动器，竖直升降驱动器驱动升降部件做竖直往返运动。薄板托手输送薄板至加热装置正上方，升降部件上升使薄板脱离薄板托手，加热装置加热薄板。本发明能提高薄板处理效率和降低其制造成本。
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公开(公告)号：CN101958264A
公开(公告)日：2011-01-26
申请号：CN201010171183.5
申请日：2010-05-06
Applicant: 东莞宏威数码机械有限公司
IPC: H01L21/677 , H01L51/56
CPC classification number: H01L21/68792
Abstract: 本发明公开了一种无尘式真空动力传送装置，适用于在真空腔室内传送基片，该装置包括驱动机构、传动轴、联动轴及均具有磁性的磁力主动轮与若干磁力从动轮，传动轴的一端枢接地穿过真空腔室的一体壁并伸入真空腔室内，磁力主动轮固定安装于传动轴伸入真空腔室内的一端上，联动轴的两端分别枢接于真空腔室的相对两体壁上并邻近主动轮，磁力从动轮固定安装于联动轴上，且至少一个磁力从动轮邻近磁力主动轮，磁力从动轮上承载有基片，驱动机构固定安装于真空腔室外，且驱动机构的动力输出端与传动轴的一端连接，驱动机构驱动传动轴旋转以带动磁力主动轮旋转，并带动磁力从动轮及联动轴旋转以传送基片。本发明无尘式真空动力传送装置传动能耗少、高清洁度、超静音、使用寿命长。
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公开(公告)号：CN101956174A
公开(公告)日：2011-01-26
申请号：CN201010171125.2
申请日：2010-05-06
Applicant: 东莞宏威数码机械有限公司
Abstract: 本发明公开了一种循环蒸镀装置，其包括主腔体及至少两组活动蒸发舟单元，活动蒸发舟单元包括驱动机构、长轴、蒸发舟及呈中空结构的副腔体，副腔体与主腔体连接，长轴贯穿地枢接于副腔体上，长轴的一端与驱动机构连接，长轴的另一端与蒸发舟连接，蒸发舟伸入主腔体内并与主腔体密封地枢接，驱动机构通过长轴带动蒸发舟运动；其中一组活动蒸发舟单元在主腔体内进行蒸镀工艺时，另外的活动蒸发舟单元可在其副腔体内更换或添加蒸镀材料，清洁或维护蒸发舟等，完成后再将该蒸发舟送入主腔体进行蒸镀，使蒸镀材料供给和添加及时方便；如此循环交替，使主腔体内不间断的进行蒸镀，实现生产的连续性，提高蒸镀效率，同时使蒸镀装置的结构简单、操作便捷。
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公开(公告)号：CN101955065A
公开(公告)日：2011-01-26
申请号：CN201010187935.7
申请日：2010-05-25
Applicant: 东莞宏威数码机械有限公司
Abstract: 本发明提供了一种托运式输送装置，用于将薄板工件从工作台上托起并输送走或将薄板工件输送至工作台上，包括水平输送机构和竖直输送机构。水平输送机构包括水平驱动器、导向架及承载台，承载台安装在导向架上，水平驱动器驱动承载台在导向架上滑动。竖直输送机构包括导向轴、竖直驱动器及竖直推动件。竖直推动件下端与安装在承载台上的竖直驱动器的输出端连接，其上端具有供工作台穿过及容置的容置通道。导向轴呈竖直地固定在承载台上，其上端滑动地穿过竖直推动件。竖直驱动器驱动竖直推动件在竖直方向做往复移动而托起承载于工作台上的薄板工件或将薄板工件输送至工作台上。本发明在保护输送中的薄板工件的同时，还能简化结构和降低成本。
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公开(公告)号：CN101954358A
公开(公告)日：2011-01-26
申请号：CN201010171124.8
申请日：2010-05-06
Applicant: 东莞宏威数码机械有限公司
CPC classification number: B08B3/024 , B05B13/0473
Abstract: 本发明公开了一种平移式基板清洗装置，其驱动机构包括固定座、电机、偏心轮及往复座，固定座的上底板与下底板之间形成安装区，往复座滑动地安装于下底板上，电机安装于上底板上并位于安装区内，偏心轮连接于电机与往复座之间并平行于上底板及下底板；清洗机构包括固定架、输入总管及等间距安装于固定架上的若干管道组，管道组分别与输入总管连通且设置有朝向基板的喷嘴，固定架与往复座固定连接且悬置于基板上方。清洗时，电机通过偏心轮带动往复座往复运动，往复座带动固定架往复运动，清洗液通过喷嘴均匀充分地喷洒在基板上，可对直线运动中的基板进行不间断地清洗，提高清洗效率，具有较高的清洁度及自动化程度，且结构简单，成本低廉。
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