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公开(公告)号：CN106865483A
公开(公告)日：2017-06-20
申请号：CN201710009234.6
申请日：2017-01-06
Applicant: 中北大学
CPC classification number: B81B3/0021 , B06B1/02 , B81C1/00158 , G01S7/521
Abstract: 本发明公开了一种医用微电容超声换能器面阵探头，包括硅衬底（1），所述硅衬底（1）的上表面为氧化层（2），所述氧化层（2）的上表面开设有若干空腔（3），若干空腔（3）成排、列布置，所述氧化层（2）的上表面键合振动薄膜（4），所述振动薄膜（4）的上表面设隔离层（5），围绕隔离层（5）的四周边缘处及其内部开设有下沉的隔离槽（6），所述隔离槽（6）贯穿隔离层（5）和振动薄膜（4）后，其槽底开设于氧化层（2）上；所述隔离层（5）的上表面上正对每个空腔（3）的中心位置处设有上电极（7）。本发明设计合理，该医用微电容超声换能器面阵探头具有结构新颖、重量轻、体积小，具有可控性高、灵敏度大、杂散电容小等优点。
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公开(公告)号：CN105675530A
公开(公告)日：2016-06-15
申请号：CN201610043556.8
申请日：2016-01-24
Applicant: 中北大学
IPC: G01N21/3504
CPC classification number: G01N21/3504
Abstract: 本发明涉及红外气体探测器的敏感元件，具体是一种集成黑硅纳米结构吸收层及多层组合膜结构的敏感元件，进一步提高了热释电薄膜型红外气体探测器的检测性能。所述敏感元件由两块敏感元基片加工获得，其加工方法包括：1、加工第一敏感元基片；2、加工第二敏感元基片；3、加工敏感元件。加工工艺合理，所得敏感元件具备良好的热吸收性能和热响应性能，能用于构建高性能红外气体探测器，满足环境安全、煤矿生产安全、以及危化品气体储运、煤气管道防泄、森林火灾防护、工业安全生产等领域中的监测需要。
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公开(公告)号：CN105181118A
公开(公告)日：2015-12-23
申请号：CN201510670121.1
申请日：2015-10-17
Applicant: 中北大学
IPC: G01H11/06
Abstract: 本发明为一种仿海豹胡须的宽频带MEMS矢量水听器，该水听器极大地提高了MEMS矢量水听器的探测水里微弱声源信号的能力。本发明包括不锈钢电路管壳、缩颈管壳、固定圆盘、带凸台的绝缘环形托盘，凸台上安装有圆形PCB板和探测芯片，探测芯片包括四梁微结构、敏感柱体和浮力球，圆形PCB板和探测芯片的整体表面采用Parylene薄膜绝缘封装。本发明水听器是针对以前的仿鱼类侧线系统的MEMS矢量水听器，在不影响水听器灵敏度的情况下，极大提高纳机电矢量水听器的频带宽度，消除聚氨酯透声帽对水听器频响曲线的影响，为水听器的应用和发展提供了良好的前景。
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公开(公告)号：CN104953226A
公开(公告)日：2015-09-30
申请号：CN201510291579.6
申请日：2015-06-01
Applicant: 中北大学
IPC: H01P5/18
Abstract: 本发明涉及太赫兹波导耦合器的制备技术，具体是一种基于牺牲层技术的太赫兹波导耦合器及其制备方法。本发明解决了现有太赫兹波导耦合器的制备技术制备过程复杂、制备成本高、制备出的太赫兹波导耦合器精度低、表面粗糙度大、损耗大、功率不足的问题。基于牺牲层技术的太赫兹波导耦合器，包括第一金属T形片、第二金属T形片、第三金属T形片、第四金属T形片、第五金属T形片；其中，第一金属T形片、第二金属T形片、第三金属T形片、第四金属T形片、第五金属T形片自下而上依次层叠成一体；第二金属T形片的横向部分表面开设有上下贯通的直形波导腔。本发明适用于雷达成像、材料分析、环境监测、大容量通讯等领域。
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公开(公告)号：CN104816292A
公开(公告)日：2015-08-05
申请号：CN201510241866.6
申请日：2015-05-13
Applicant: 中北大学
Abstract: 本发明具体为一种可伪装微型变色机器人，解决了现有机器人变色需人工远端控制存在操控性能较差的问题。包括聚二甲基硅氧烷壳体，聚二甲基硅氧烷壳体的中间层设置有聚二甲基硅氧烷微流通道，聚二甲基硅氧烷壳体内设置有位于其中心的两个腔体，其中一个腔体内设置有三个颜料盒和与伺服电机，另一个腔体内设置有TCS230颜色传感器、单片机，伺服电机的输出端与颜料盒连接，TCS230颜色传感器的输出端与单片机的输入端连通，单片机的输出端与伺服电机的输入端连接。本发明变色不再人工控制，不需要携带大量输入输出管道，变色过程采用三基色变色原理，操控性能得到了大幅提升，具有简单方便、实时变色的优点。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN103000981B
公开(公告)日：2014-09-17
申请号：CN201210463302.3
申请日：2012-11-17
Applicant: 中北大学
Abstract: 本发明为一种毫米波腔体滤波器的制作方法。本发明使用光刻胶作为辅助材料，使用电镀金属材料作为结构材料，并配合不同图案的掩膜板，采用多层匀胶、逐层光刻并显影、电镀、最终剥离固化的光刻胶的技术，可以精确构造出腔体滤波器复杂的三维金属结构。利用弹性优异的柔性材料PDMS对其进行翻模，构造模具，再对模具进行注塑固化，可以对腔体结构及盖板结构进行快速精确复制，最后将二者进行键合封装，即得到完整的毫米波腔体滤波器。本发明方法制得的滤波器体积轻巧、精度高、频率高、频带宽、信号容量大，且该滤波器腔体为一体化设置，避免了组装带来的误差，提高了滤波器的性能。本发明制作方法具有工艺简单、制作精度高等优点。
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公开(公告)号：CN102931466B
公开(公告)日：2014-07-23
申请号：CN201210463282.X
申请日：2012-11-17
Applicant: 中北大学
Abstract: 本发明为一种毫米波腔体滤波器的制作方法。本发明使用光刻胶作为结构材料并配合不同图案的掩膜板，采用多层匀胶、逐层光刻、最终一次显影技术，可以精确构造出腔体滤波器复杂的三维结构。利用弹性优异的柔性材料PDMS对其进行翻模，构造模具，再对模具进行注塑固化，可以对腔体结构及盖板结构进行快速精确复制，最后将二者进行键合封装，即得到完整的毫米波腔体滤波器。本发明方法制得的滤波器体积轻巧、精度高、频率高、频带宽、信号容量大，且该滤波器腔体为一体化设置，避免了组装带来的误差，提高了滤波器的性能。本发明制作方法具有工艺简单、制作精度高等优点。本发明复制方法具有复制快速、复制精度高等优点。
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公开(公告)号：CN102681046B
公开(公告)日：2014-04-16
申请号：CN201210153132.9
申请日：2012-05-17
Applicant: 中北大学
Abstract: 本发明涉及曲面微透镜阵列的制备方法，解决了现有微透镜阵列制作复杂、透光性差且不方便插入光纤导致实用性差的问题。一种大面积NOA73曲面微透镜阵列的制备方法包括如下步骤：制备带有凹透镜结构的PDMS负模；制备带有半圆柱状凹槽的PDMS模具：在PDMS负模的底面和PDMS模具的半圆柱状凹槽内均涂一层PDMS液体后加热固化粘合在一起，得到PDMS曲面凹透镜负模；制备NOA73薄膜；从PDMS曲面凹透镜负模的凹透镜结构上揭下带有NOA73固态膜的NOA73薄膜，即得到NOA73曲面微凸透镜阵列。本发明所述的制备方法成本低、制作简单、易于批量生产；可广泛适用于集成成像、光束整形、光纤耦合等领域。
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公开(公告)号：CN102998242A
公开(公告)日：2013-03-27
申请号：CN201210482142.7
申请日：2012-11-25
Applicant: 中北大学
IPC: G01N15/14
Abstract: 本发明涉及医学检测领域，具体为一种微流体细胞仪及制作方法。解决了目前传统的血细胞仪体积庞大、价格昂贵，特别是互染率高的技术问题。一种微流体细胞仪，主要包括微流体芯片和特制的外部检测部件，所述微流体芯片上设有样本通道、聚焦检测通道和鞘流储液池；样本通道集成有对待测细胞液进行浓缩处理的样本预处理区域和缓冲区域；所述样本预处理区域设有微柱阵列。一种微流体细胞仪的制作方法，包括以下步骤：微流体沟道的制作、微流体芯片的盖片制作以及键合。本发明所述产品整体呈微型化，成本低廉，能够在芯片内部实现对待测细胞液的浓缩处理，且为一次性使用，针对每一个样本进行一次测量，彻底避免了样本之间相互影响的问题。
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公开(公告)号：CN102931466A
公开(公告)日：2013-02-13
申请号：CN201210463282.X
申请日：2012-11-17
Applicant: 中北大学
Abstract: 本发明为一种毫米波腔体滤波器的制作方法。本发明使用光刻胶作为结构材料并配合不同图案的掩膜板，采用多层匀胶、逐层光刻、最终一次显影技术，可以精确构造出腔体滤波器复杂的三维结构。利用弹性优异的柔性材料PDMS对其进行翻模，构造模具，再对模具进行注塑固化，可以对腔体结构及盖板结构进行快速精确复制，最后将二者进行键合封装，即得到完整的毫米波腔体滤波器。本发明方法制得的滤波器体积轻巧、精度高、频率高、频带宽、信号容量大，且该滤波器腔体为一体化设置，避免了组装带来的误差，提高了滤波器的性能。本发明制作方法具有工艺简单、制作精度高等优点。本发明复制方法具有复制快速、复制精度高等优点。
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