一种带恒温控制功能的高灵敏多气体浓度检测系统及控制方法

    公开(公告)号:CN110146460A

    公开(公告)日:2019-08-20

    申请号:CN201910207975.4

    申请日:2019-03-19

    Abstract: 本发明公开了一种带恒温控制功能的高灵敏多气体浓度检测系统及控制方法,属于气体传感器技术领域,该检测系统的气室采用反射式的结构,在气室设计得足够小的基础上,让红外光在腔壁上经过多次反射,继而透射到热释电探测器上,通过分析特定波长下红外光强度的变化来测定不同气体的浓度,最终通过WIFI模块采用无线传输将浓度信息在手机端上进行显示。另外采用带有石墨烯加热片的光学腔壁构成气室,对检测系统的环境温度进行控制,保证气体传感器气室内恒温,从而消除环境温度变化对检测结果的影响。

    一种可消除太阳辐射误差的探空湿度测量装置及方法

    公开(公告)号:CN106526085B

    公开(公告)日:2019-02-01

    申请号:CN201611076267.4

    申请日:2016-11-30

    Abstract: 本发明公开了一种可消除太阳辐射误差的探空湿度测量装置及方法,包括环境检测单元、数据采集单元、第一数据处理单元、第一无线通信单元和地面终端单元;所述环境检测单元包括湿度传感器,湿度传感器的上表面设有第一温度传感器,其四周至少设有一个第二温度传感器;所述数据采集单元的输入端分别与湿度传感器、第一温度传感器和第二温度传感器的输出端相连;所述第一数据处理单元设于数据采集单元和第一无线通信单元之间;所述地面终端单元包括相互连接的第二无线通信单元和第二数据处理单元,第二无线通信单元与第一无线通信单元之间无线连接。本发明提高了湿度测量的精确度和稳定性,并且极大的降低了成本。

    一种非分光红外乙烯气体传感器及其测量方法

    公开(公告)号:CN106979824A

    公开(公告)日:2017-07-25

    申请号:CN201710331893.1

    申请日:2017-05-10

    CPC classification number: G01J5/12 G01J2005/123

    Abstract: 本发明公开了一种非分光红外乙烯气体传感器及其测量方法,包括红外光源、主气室、修正气室、红外滤光片阵列和红外探测器阵列;主气室、修正气室顶部与红外光源相接,主气室、修正气室底部与红外滤光片阵列相接,主气室、修正气室分别设有进气孔和出气孔,主气室、修正气室底部安装多个以十字交叉排列的红外滤光片阵列,红外滤光片阵列分别与红外探测器阵列连接;红外光源输入端与光源驱动电路连接,光源驱动电路输入端与控制电路连接,控制电路输入端与信号处理电路连接,信号处理电路输入端与红外探测器阵列连接。本发明利用气体对特征波长红外光的吸收情况确定气体的浓度,有效解决现有气体传感器温度漂移严重、难以集成化的问题。

    基于巨压阻传感器的高灵敏度气体流量测量装置及方法

    公开(公告)号:CN106895886A

    公开(公告)日:2017-06-27

    申请号:CN201710239210.X

    申请日:2017-04-13

    CPC classification number: G01F1/56

    Abstract: 本发明公开了一种基于巨压阻传感器的高灵敏度气体流量测量装置及方法,装置包括若干个环绕在管道外壁上的巨压阻传感器,巨压阻传感器包括自下至上叠放的玻璃基底层、硅底层和绝缘二氧化硅层,绝缘二氧化硅层四周设置有硅铝异质结,硅铝异质结包括自内而外依次嵌套的内层硅、中间层铝和外层硅,硅铝异质结的两端设置有金属边,金属边通过引线连接金属片,金属片通过其上引出的电极连接铝端子;本发明采用硅铝异质结在相同应力下产生更大的阻值变化,使得压阻系数与应变系数成倍的增加,提升了灵敏度,使得测量数据更加准确;巨压阻传感器以120°环绕安装在通过待测气体的管道上,可以测量管道不同位置的数据,得到真实的气体流量值。

    高灵敏度微纳巨压阻雨量传感器及其制备方法、测量结构

    公开(公告)号:CN106125163A

    公开(公告)日:2016-11-16

    申请号:CN201610408475.3

    申请日:2016-06-12

    Abstract: 本发明公开一种高灵敏度微纳巨压阻雨量传感器及其制备方法、测量结构,传感器包括传感器阵列,传感器阵列单元包括多个硅铝异质结的传感单元、供电电极对、信号检测引出电极对、参考引出电极对;各传感单元包括两个硅铝异质结的压力敏感结构、硅底层、绝缘二氧化硅层和硅顶层;两个结构与特性一致硅铝异质结平行设置在传感器两端,硅铝异质结侧部设置激励电极和检测电极。本发明在应用时,通过雨量压力引起传感器芯片形成机械应力使改变硅铝异质结的接触势垒大小,来实现巨压阻效应;作为参考部分的铝异质结伏安特性改变不是由受力引起,可作为差分的参考电路排除温度的影响。本发明测量灵敏度高,准确,适用于高精度的雨量测量场合。

    基于巨压阻结构的悬臂梁生化传感器及悬臂梁制作方法

    公开(公告)号:CN105974104A

    公开(公告)日:2016-09-28

    申请号:CN201610318148.9

    申请日:2016-05-12

    Abstract: 本发明提供一种基于巨压阻结构的悬臂梁生化传感器及悬臂梁制作方法,该传感器的数据采集器采用具有硅铝异质结形成的巨压阻结构的悬臂梁结构,能够在相同应力条件下产生更大的电阻阻值变化,从根本上提高了生化传感器的灵敏度;采用两个相邻的共模信号补偿结构,能够保证该生化传感器的每个悬臂梁在复杂外界环境下的测量精度,降低了因个别悬臂梁失灵对测量结果产生的影响;另外,该传感器采用四线制测量方法以及信号的放大、滤波调理电路,可得到较为精准的信号,削弱噪声等外界因素对检测结果的影响,可以达到高精度、稳定测量的效果。

    基于π型巨压阻结构的湿度传感器及其温漂修正方法

    公开(公告)号:CN105928989A

    公开(公告)日:2016-09-07

    申请号:CN201610567744.0

    申请日:2016-07-18

    Abstract: 本发明提供一种基于π型巨压阻结构的湿度传感器,包括4个数据采集器、数据转换集成层和过滤网,4个所述数据采集器分两排分布在数据转换集成层上,所述过滤网置于所述数据采集器的检测区上,所述数据转换集成层包括四点电阻测量电路、CS1180模数转换器、STM32F407单片机和TFT真彩液晶显示屏;4个数据采集器将采集到的数据通过四点电阻测量电路量电路传输给CS1180模数转换器,CS1180模数转换器转换后输出至STM32F407单片机,由STM32F407单片机发送至TFT真彩液晶显示屏,在TFT真彩液晶显示屏上显示;另外,本发明还提供了湿度传感器的温漂修正方法。

    基于巨压电效应的氧化锌纳米阵列应变传感器及其测量电路、标定系统和制备方法

    公开(公告)号:CN105762272A

    公开(公告)日:2016-07-13

    申请号:CN201610283834.7

    申请日:2016-04-29

    Abstract: 本发明公开了一种基于巨压电效应的氧化锌纳米阵列应变传感器、测量电路、标定系统及制备方法,包括受力底座和压电式传感单元,压电式传感单元包括两个水平方向平行且间隔设置的传感器芯片;传感器芯片包括依次层叠设置的基底层、粘合层、氧化锌种子层、PR窗口层、PDMS保护层、金属电极层;氧化锌种子层设有一个下电极;PR窗口层设有深槽,深槽中垂直生长着氧化锌纳米阵列,氧化锌纳米阵列与金属电极层之间接触形成应变敏感的肖特基势垒;金属电极层设有两个电极。本发明采用了垂直结构的氧化锌纳米阵列,利用氧化锌纳米阵列与金电极形成的肖特基异质结的巨压电效应极大地提升了传感器的灵敏度,实现了更高灵敏度与精确度的应变检测。

    一种多量程阵列式压力传感芯片及其检测方法

    公开(公告)号:CN105424236A

    公开(公告)日:2016-03-23

    申请号:CN201510814955.5

    申请日:2015-11-19

    Abstract: 本发明公开了一种多量程阵列式压力传感芯片,其特征在于,包括在同一衬底上的压力传感器组和温度传感器组,所述压力传感器组为M×N压力传感器阵列,压力传感器组具有M种量程压力传感器,同时M种量程的压力传感器各具有N个,其M,N为任意数,所述温度传感器组为2×M个温度传感器阵列,温度传感器阵列位于压力传感器阵列两侧,相应的每一量程的压力传感器左右两侧均有一个温度传感器;本发明所述的一种多量程阵列式压力传感芯片及其检测方法实现了压力测量的高可靠性与高稳定性,可应用于各种恶劣的环境。

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