公开(公告)号：JP2015131765A

公开(公告)日：2015-07-23

申请号：JP2015089367

申请日：2015-04-24

Applicant: 株式会社SUMCO

Inventor： 須藤 俊明 ,  佐藤 忠広 ,  北原 賢 ,  鈴木 江梨子

IPC: C30B15/20 ,  C30B29/06

Abstract: 【課題】シリカガラスルツボのコーナー部においてもシリコン単結晶の引き上げを適切に行うことを可能にするシリコン単結晶の製造方法を提供する。 【解決手段】シリコン融液の液面がコーナー部に到達した後のシリコン単結晶の引き上げ条件が、シリカガラスルツボの内表面の三次元形状に基づいて決定される。内表面の表面粗さの三次元分布は、シリカガラスルツボの内表面に沿って非接触で内部測距部を移動させ、移動経路上の複数の測定点において、内部測距部からシリカガラスルツボの内表面に対して斜め方向にレーザー光を照射し、レーザー光の反射光をレーザー変位計で測定して2つのピークが観測されるように内部測距部と内表面との距離やレーザー光の出射方向を変化させて、2つのピークのうちの内表面側のピークの位置によって、内部測距部と内表面の間の内表面距離を測定し、各測定点の三次元座標と、内表面距離を関連付けることによって求められる。 【選択図】図1

Abstract translation: 要解决的问题：提供一种制造硅单晶的方法，其中即使在石英玻璃坩埚的拐角处也可以适当地提升硅单晶。解决方案：硅单晶的升高条件在 基于石英玻璃坩埚的内表面的三维形状确定硅熔体到达角部。 内表面的表面粗糙度的三维分布通过以下方式来发现：沿着不接触的石英玻璃坩埚的内表面移动内部距离测量部分; 利用来自内部测距部的激光将运动路径上的多个测量点倾斜地照射到石英玻璃坩埚的内表面; 测量激光的反射光并改变内部距离测量部分和内表面之间的距离以及激光的发射方向，使得观察到两个峰值; 测量在两个峰之间的内表面侧上的峰的位置处的内部距离测量部分和内表面之间的内表面距离; 并将各测量点的三维坐标与内表面距离相关联。

公开(公告)号：JP5749150B2

公开(公告)日：2015-07-15

申请号：JP2011282406

申请日：2011-12-22

Applicant: 株式会社SUMCO

Inventor： 須藤 俊明 ,  佐藤 忠広 ,  北原 賢 ,  小玉 真喜子

IPC: C03B20/00 ,  C30B15/10 ,  C30B29/06 ,  G01C3/06 ,  G01B11/24

公开(公告)号：JP5749149B2

公开(公告)日：2015-07-15

申请号：JP2011282404

申请日：2011-12-22

Applicant: 株式会社SUMCO

Inventor： 須藤 俊明 ,  佐藤 忠広 ,  北原 賢 ,  鈴木 江梨子

IPC: G01B11/24 ,  C03B20/00 ,  C30B29/06

公开(公告)号：JP6936445B2

公开(公告)日：2021-09-15

申请号：JP2017253108

申请日：2017-12-28

Applicant: 株式会社SUMCO

Inventor： 佐藤 忠広 ,  北原 賢 ,  北原 江梨子 ,  須藤 俊明

IPC: C30B15/10 ,  C03B20/00 ,  C30B29/06

公开(公告)号：JP6692526B2

公开(公告)日：2020-05-13

申请号：JP2017558244

申请日：2016-12-22

Applicant: 株式会社SUMCO

Inventor： 須藤 俊明 ,  佐藤 忠広 ,  北原 賢 ,  北原 江梨子 ,  山崎 亨

IPC: C30B29/06 ,  C30B25/02 ,  C23C16/24 ,  C03B20/00 ,  G01N3/00 ,  C30B15/10

公开(公告)号：JP6598142B2

公开(公告)日：2019-10-30

申请号：JP2017558131

申请日：2016-12-20

Applicant: 株式会社SUMCO

Inventor： 佐藤 忠広 ,  北原 賢 ,  北原 江梨子 ,  須藤 俊明

IPC: C30B29/06 ,  C03B20/00 ,  C30B15/10

公开(公告)号：JP2019119618A

公开(公告)日：2019-07-22

申请号：JP2017253106

申请日：2017-12-28

Applicant: 株式会社SUMCO

Inventor： 佐藤 忠広 ,  北原 賢 ,  北原 江梨子 ,  須藤 俊明

IPC: C30B15/10 ,  C03B20/00 ,  G01N21/65 ,  C30B29/06

Abstract: 【課題】シリカガラスルツボのガラス構造を非破壊で測定して、シリコン単結晶の引き上げ時に転位の発生を抑制することができるシリカガラスルツボを高精度に見極めること。 【解決手段】本発明は、シリコン単結晶の引き上げを行った後、内表面側に設けられ、鉱化剤によってシリカガラスが結晶化された結晶層と、結晶層と接する非結晶層とが形成されるシリカガラスルツボの評価方法であって、記結晶層の表面のラマンスペクトルである第1ラマンスペクトルを取得する工程と、結晶層と非結晶層との界面における結晶層側のラマンスペクトルである第2ラマンスペクトルを取得する工程と、結晶層と非結晶層との界面における非結晶層側のラマンスペクトルである第3ラマンスペクトルを取得する工程と、第1ラマンスペクトル、第2ラマンスペクトルおよび第3ラマンスペクトルに基づきシリカガラスルツボの良否を判定する工程と、を備える。 【選択図】図9

公开(公告)号：JPWO2017110763A1

公开(公告)日：2018-06-28

申请号：JP2016087858

申请日：2016-12-20

Applicant: 株式会社SUMCO

Inventor： 佐藤 忠広 ,  北原 賢 ,  北原 江梨子 ,  須藤 俊明

IPC: C30B29/06 ,  C30B15/10 ,  G01B11/16 ,  C03B20/00

CPC classification number: C03B20/00 ,  C30B15/10 ,  C30B29/06 ,  Y02P40/57

Abstract: 内部残留応力が正確に測定されたシリカガラスルツボを提供すること。 本発明は、円筒状の側壁部と、湾曲した底部と、側壁部と底部との間に設けられ底部の曲率よりも高い曲率を有するコーナ部と、を備え、歪測定装置で測定されたシリカガラスルツボであって、歪測定装置は、側壁部の側方に配置され、偏光光を側壁部に向けて照射する発光部と、側壁部の上端面の偏光光に応じた映像を取り込む撮像部と、撮像部で取り込んだ映像に基づきシリカガラスルツボの歪の分布を出力する出力部と、を備える。

公开(公告)号：JPWO2017110967A1

公开(公告)日：2018-05-31

申请号：JP2017558244

申请日：2016-12-22

Applicant: 株式会社SUMCO

Inventor： 須藤 俊明 ,  佐藤 忠広 ,  北原 賢 ,  北原 江梨子 ,  山崎 亨

IPC: C30B15/10 ,  C03B20/00 ,  C23C16/24 ,  C30B25/02 ,  C30B29/06

CPC classification number: C03B20/00 ,  C30B15/10 ,  C30B29/06

Abstract: 割れの起点となるおそれのあるクラックの存在を検査することが出来ない、という問題を解決することを解決すること。シリカガラスルツボの割れやすさを検査するルツボ検査装置であって、シリカガラスルツボの表面に設置され、当該シリカガラスルツボに所定の外力を加えた際に生じるAE(Acoustic Emission)波を検出するAE波検出手段を有する。また、ルツボ検査装置は、AE波検出手段による検出結果に基づいて、シリカガラスルツボの割れやすさを評価する。

公开(公告)号：JP6265575B2

公开(公告)日：2018-01-24

申请号：JP2017039352

申请日：2017-03-02

Applicant: 株式会社SUMCO

Inventor： 須藤 俊明 ,  佐藤 忠広 ,  北原 賢 ,  北原 江梨子

IPC: C30B15/10 ,  C30B15/20 ,  G01B11/24 ,  C30B29/06