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公开(公告)号：CN101393303A
公开(公告)日：2009-03-25
申请号：CN200810156771.4
申请日：2008-09-26
Applicant: 苏州大学
Abstract: 本发明公开了一种制作近红外波段三维光子晶体的方法，利用全息干涉形成一维光子晶体掩模，通过离子束刻蚀或反应离子束刻蚀把掩模转移到硅基底材料上的SiO2层上，在刻蚀过的沟槽里填入高折射率材料，用离子束刻蚀法抛光表面，接着再沉积上SiO2，涂布光刻胶、全息光刻、离子束刻蚀等形成第二层，重复以上步聚，层与层之间采用莫尔条纹法对准，最后使用酸洗法去除SiO2，获得所需的三维光子晶体。本发明充分利用了全息光刻的亚微米分辨率，可以制作大面积的三维光子晶体，之后可根据需要切割成小块，具有高效低成本的优势；同时，在干涉场中，通过改变两束相干光的波前，便于引入大面积、周期性的缺陷。
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公开(公告)号：CN100470405C
公开(公告)日：2009-03-18
申请号：CN200610039966.1
申请日：2006-04-24
Applicant: 苏州大学
Abstract: 一种全息光栅制作光路的莫尔条纹调节方法，利用球面平凸透镜作为准直器、用莫尔条纹调节方法检测平面全息光栅的制作光路。传统光路调节方法中轴向和离轴方向的调节误差均可以被有效消除。由此制取的脉冲压缩光栅波像差被降至最低。而且对其他常规光栅的制作也同样具有重要的实用价值。
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公开(公告)号：CN101315440A
公开(公告)日：2008-12-03
申请号：CN200810023116.1
申请日：2008-07-14
Applicant: 苏州大学
IPC: G02B6/02
Abstract: 本发明公开了一种248纳米波段的零级抑制相位掩模，主要由石英基片以及设置在石英基片一侧表面的槽形结构的光栅构成，其特征在于：所述相位掩模的光栅周期为1050nm～1090nm，槽形深度为240～260nm，所述光栅的每一凸起结构的截面形状为上窄下宽的梯形，梯形的顶部占宽比为0.40～0.46，梯形角为5～13度。本发明的相位掩模，实现了透射248纳米波段激光的零级抑制，相位掩模的零级透过率可以被抑制在2％以内；±1级透射衍射效率高于36％，且与入射光的偏振状态无关。
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公开(公告)号：CN220516597U
公开(公告)日：2024-02-23
申请号：CN202322103950.4
申请日：2023-08-07
Applicant: 苏州大学
IPC: B25B11/00
Abstract: 本实用新型公开了一种光学元件测量夹持装置，包括支撑柱、电动伸缩杆和光学元件本体，所述支撑柱的前侧面固定安装有固定板，所述安装槽的内部安装有螺纹丝杆，所述螺纹丝杆的左端固定安装有旋帽，所述电动伸缩杆安装在活动板的上端，所述电动伸缩杆的末端安装有滑动块，所述滑动块的外侧面固定安装有基座，所述光学元件本体安装在右夹持板和左夹持板中间，所述右夹持板和左夹持板的内侧面均安装有橡胶板。该光学元件测量夹持装置，夹持板便于对不同尺寸大小的光学零件进行限定夹持，设置橡胶板防止夹持板对光学元件表面造成磨损，电动伸缩杆方便调节光学元件的高度，设置螺纹丝杆调整光学元件左右位置，更便于使用。
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公开(公告)号：CN217800755U
公开(公告)日：2022-11-15
申请号：CN202222249238.0
申请日：2022-08-26
Applicant: 苏州大学
Abstract: 本实用新型公开了一种具有限位夹持功能的全息波导镜片打磨装置，包括工作台、箱体、夹持机构和连接轴，工作台的上端固定连接有连接罩；所述箱体一体化连接在工作台的底端，且工作台的横截面呈“回”字形结构，并且箱体的内部嵌套连接有收纳箱；所述夹持机构设置在工作台的上侧，且夹持机构包括连接框、安装板、电动伸缩杆、连接槽、调节杆、连接条、夹持块和防护垫，其中连接框放置在工作台的上侧；所述连接轴呈等间距的转动连接在连接罩的右上壁，且连接轴的右端固定连接有蜗轮。该具有限位夹持功能的全息波导镜片打磨装置，便于对全息波导镜片进行夹持，而且容易批量的对全息波导镜片进行打磨，同时方便收集粉尘。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN221123781U
公开(公告)日：2024-06-11
申请号：CN202323004248.9
申请日：2023-11-08
Applicant: 苏州大学
Abstract: 本实用新型公开了一种光学元件的检测定位装置，包括：桌面和第二转动杆，所述桌面的内侧滑动连接有第一支撑架，所述第一支撑架的内部固定连接有第一电动伸缩杆，所述第一电动伸缩杆的下端固定连接有检测器；所述桌面的上端转动连接有转动板，所述转动板的上端固定连接有前后两个第二支撑架，所述第二支撑架的内部固定连接有底板；所述第二转动杆的上端转动连接有第二调节杆，所述第二转动杆的下端和第一调节杆的下端转动连接。该光学元件的检测定位装置，实现了对光学元件的两边检测固定，避免了夹持力度过大造成元件破损的情况，操作简单，方便从不同角度对光学元件进行观测，增加了检测效率。
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公开(公告)号：CN220913409U
公开(公告)日：2024-05-07
申请号：CN202322664043.7
申请日：2023-10-07
Applicant: 苏州大学 , 苏州平海机电科技有限公司
IPC: G02B7/00
Abstract: 本实用新型公开了一种便于拆装的全息波导镜片防护机构，包括承载板、安装槽、连接轴和置物腔，承载板的上端前后对称的一体化连接有竖板；所述安装槽呈等间距的开设在承载板的底端，且安装槽的内部螺纹连接有连接杆；所述连接轴转动连接在竖板的上内端，且防护座前后两端的中间位置固定连接在连接轴上；所述置物腔开设在防护座的左端内部，且置物腔的内部卡合连接有全息波导镜片本体，并且防护座的右侧设置有限位机构，所述限位机构包括储气室、连接孔、连接管和抽气泵，同时储气室开设在防护座的右端内部。该便于拆装的全息波导镜片防护机构，便于拆装，而且容易对全息波导镜片的角度进行调整，同时方便稳定的放置。
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公开(公告)号：CN216434491U
公开(公告)日：2022-05-03
申请号：CN202123338335.9
申请日：2021-12-29
Applicant: 苏州大学
IPC: G02B7/00
Abstract: 本实用新型公开了一种拆卸便捷的全息波导镜片用连接结构，包括底板，所述底板直接置于地面，全息波导镜片本体，所述全息波导镜片本体的上下两端均设置有固定夹板，限位机构，所述限位机构用于对连接柱与连接板之间进行限位，安装板，所述安装板与固定夹板之间通过转动的方式相连接，且安装板贴合设置在全息波导镜片本体上下两端的前侧。该拆卸便捷的全息波导镜片用连接结构，能够非常快速便捷的对全息波导镜片本体进行安装，同时方便在使用结束后，对其进行拆卸，结构简单，使用方便，而且在使用过程中，通过连接柱的设置，能够带动全息波导镜片本体在底板的上方进行翻转，从而可对全息波导镜片本体的使用角度进行调节。
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公开(公告)号：CN210109553U
公开(公告)日：2020-02-21
申请号：CN201920855074.1
申请日：2018-12-24
Applicant: 苏州大学
IPC: G03F7/20
Abstract: 本实用新型属于信息光学技术领域，为解决全息光刻系统中条纹漂移问题，提出一种干涉条纹锁定控制装置，第一高速光电探测器采集参考光栅表面莫尔条纹光强度信号，并将光强信号同时传输到单片机和PID控制器；第二高速光电探测器通过光束取样光栅监控激光器的光强信号，该光强信号传输到单片机，PID控制器的信号输出端传输到第一超声波发生器的频率调制输入端；PID控制器输出反馈信号给第一超声波发生器，第一超声波发生器输出端连接至第一声光调制器。PID控制器实时探测参考光栅表面莫尔条纹光强度信号，将反馈信号传送给第一超声波发生器，驱动第一声光调制器的-1级衍射光的相位发生变化，从而锁定莫尔条纹的相位。
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公开(公告)号：CN209167579U
公开(公告)日：2019-07-26
申请号：CN201822172121.0
申请日：2018-12-24
Applicant: 苏州大学
Abstract: 本实用新型属于信息光学技术领域，为解决全息光刻系统中条纹漂移问题，提出一种条纹锁定式全息干涉光刻系统，第一高速光电探测器采集参考光栅表面莫尔条纹光强度信号，并将光强信号同时传输到单片机和PID控制器；第二高速光电探测器通过光束取样光栅监控激光器的光强信号，该光强信号传输到单片机，PID控制器的信号输出端传输到第一超声波发生器的频率调制输入端；PID控制器输出反馈信号给第一超声波发生器，第一超声波发生器输出端连接至第一声光调制器。PID控制器实时探测参考光栅表面莫尔条纹光强度信号，将反馈信号传送给第一超声波发生器，驱动第一声光调制器的-1级衍射光的相位发生变化，从而锁定莫尔条纹的相位。
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