公开(公告)号：KR1019960043851A

公开(公告)日：1996-12-23

申请号：KR1019950013359

申请日：1995-05-26

Applicant: 대우전자주식회사

Inventor： 민용기

IPC: H04N5/74

Abstract: 본 발명은 광로 조절 장치에 관한 것으로서, 구동기판의 동일한 트랜지스터에 전기적으로 연결된 패드와 플러그를 통해제1 및 제2하부전극에 동일한 화상신호가 인가되고, 제1상부전극은 접촉된 제1하부전극에 의해 화상신호를 인가받는다.그러므로, 제1 및 제2하부전극과 제1 및 제2상부전극 사이에 개재되어 있는 제1 및 제2변형부에 전계가 발생되어, 제1 및제2변형부가 전계와 수직방향으로 수축하게 되어 액츄에이터가 휘어져 경사진다. 따라서, 본 발명은 레그의 일측에 형성된 변형부를 제거하고 상부전극을 하부전극과 접촉하므로 1라인의 상부전극중 한개 또는 일부가 손상되어도 손상된 상부전극만 구동하지 않고 손상되지 않은 상부전극은 구동된다.

公开(公告)号：KR1019960028119A

公开(公告)日：1996-07-22

申请号：KR1019940034973

申请日：1994-12-19

Applicant: 대우전자주식회사

Inventor： 민용기

IPC: G02F1/015

Abstract: 본 발명은 투사형 화상표시장치에 채용되는 광로조절장치로서의 AMA를 제조하는 방법에서 변형부의 손상을 최소화할 수있는 광로조절장치의 제조방법을 제공한다. 본 발명의 제조방법은, 트랜지스터가 매트릭스 형태로 내장되고 상기 트랜지스터와 전기적으로 접속된 패드(33)가 표면에 형성된 구동기판(31)의 상부에 상기 패드와 접촉되지 않도록 희생막(35)을형성하고, 상기 기판(31)상의 희생막(35)이 형성되지 않은 부분에 상기 패드(33)를 에워싸는 지지부(37)를 형성하는 제1공정과, 상기 희생막(35)과 상기 지지부(37)의 상부에 멤브레인(39)을 퇴적하고 상기 멤브레인(39)과 상기 지지부(37)의소정부분에 상기 패드(33)가 노출되도록 접촉홈을 형성하는 제2공정, 상기 접촉홈의 내부에 상기 패드(33)와 접촉되도록 플러그(41)를 형성하고 상기 멤브레인(39)의 상부에 신호전극(43)을 상기 플러그(41)와 접촉되도록 도포하는 제3공정, 상기 신호전극(43)의 표면에 변형부(45)를 퇴적하고 상기 신호전극(43)과 변형부(45)를 지지부(37)와 대응하는 부분만이 잔존하도록 패터닝하는 제4공정, 전표면에 절연막(47)을 퇴적형성하고 상기 절연막(47)과 상기 멤브레인(39)을 패터닝하여 상기 희생막(35)이 노출되도록 하여 액츄에이터를 분리하는 제5공정 및, 상기 절연막(47)을 마스크로 이용하여 상기 희생막(35)을 제거한 후 상기 희생막(35)이 제거된 공간에 폴리머층(49)을 채우고, 상기 변형부(45)상의 절연막(47)을 제거한 다음에 전표면에 반사막(51)을 형성하고 나서 상기 폴리머층(49)을 제거하는 제6공정을 포함하여 이루어진다.

公开(公告)号：KR1019960003359A

公开(公告)日：1996-01-26

申请号：KR1019940014155

申请日：1994-06-22

Applicant: 대우전자주식회사

Inventor： 지정범 ,  민용기

IPC: G02F1/015

Abstract: 본 발명은 광로조절장치에 관한 것으로서, 트랜지스터가 매트릭스 형태로 내장되고 표면에 각각의 트랜지스터에 전기적으로 연결된 패드를 2개씩 갖는 구동기판과; 상기 구동기판에 상기 패드를 각각 에워싸며 분리되게 형성된 지지부와, 상기 지지부의 상부에 접촉되며 중앙부와 요(凹)자의 형태를 이루는 2개의 레그와, 상기 레그의 반대쪽에 공간에 노출되게 위치하며 중앙부와 철(凸)자의 형태를 이루는 돌출부를 갖는 멤브레인과, 상기 멤브레인의 레그 상부의 소정 부분에 형성된 신호전극과, 상기 팬드와 신호전극을 전기적으로 연결하도록 지지부와 멤브레인을 관통하여 형성된 플러그와, 상기 신호전극의 상부에 형성된 변형부와, 상기 변형부 및 멤브레인의 노출된 부분의 상부에 부분에 형성되며 상기 변형부 상부에 형성된 것이 바이어스전극이 되는 반사막으로 이루어진 액츄에이터를 구비한다. 따라서, 중앙부가 일측 끝단이 레그의 타측 끝과 일치되므로 경사시에도 일측 끝단이 지지부 보다 항상 높게 되므로 구동기판과 접촉되는 것을 방지할 수 있고, 크랙의 발생을 억제할 수 있어 수명을 연장시킬 수 있고 광효율을 향상시킬 수 있으며, 또한, 변형부의 측부에 형성된 스페이서에 의해 희생막을 제거할 때 변형부와 에칭용액이 접촉되지 않도록하여 변형부가 손상되는 것을 방지할 수 있다.

公开(公告)号：KR1019950029829A

公开(公告)日：1995-11-24

申请号：KR1019940009521

申请日：1994-04-30

Applicant: 대우전자주식회사

Inventor： 민용기

IPC: G02F1/015

Abstract: 본 발명은 투사형 화상표시장치의 광로조절장치(500)의 제조방법에 관한 것으로, 종래의 광로조절장치의 제조과정 중 열처리를 수행하고 나서 희생층을 제거하는 것과는 달리 본 발명에서는 희생층을 제거하고 나서 급속 열처리를 수행하여 광로조절장치(500)을 제조한다. 따라서, 본 발명은 종래의 제조과정에 발생하는 힐록의 문제점과 희생층의 재질 및 두께에 대한 제약을 해결할 수 있어, 희생층의 재질의 선택이 다양하고 희생층의 제거에도 용이한 이점이 있다.

公开(公告)号：KR1019950027467A

公开(公告)日：1995-10-18

申请号：KR1019940004519

申请日：1994-03-09

Applicant: 대우전자주식회사

Inventor： 민용기

IPC: G02F1/015

Abstract: 본 발명은 광로조절장치 및 그 제조방법에 관한 것으로서, 트랜지스터가 매트릭스 형태로 내장되고 표면에 각각의 트랜지스터에 전기적으로 연결된 접속단자를 2개씩 갖는 구동기판과, 상기 구동기판에 상기 접속단자를 각각 에워싸여 분리되게 형성된 지지부와, 상기 지지부의 상부에 일측의 소정부분이 접촉되도록 실장되며 상기 지지부의 대향하는 면과 일치되도록 타측으로 소정길이 만큼 절단된 멤브레인과, 상기 멤브레인의 상부에 지지부와 중첩되며 타측으로 소정길이 만큼 신장되게 형성된 신호전극과, 상기 지지부와 멤브레인을 관통하도록 형성되어 접속단자와 신호전극을 전기적으로 연결하는 플러그와, 상기 신호전극의 상부에 형성된 변형부와, 상기 변형부를 포함하는 멤브레인의 상부에 형성된 반사막으로 이루어진 액츄에이터를 구 한다. 따라서, 변형부가 신호전극의 상부에만 형성되므로 변형부와 멤브레인의 열팽창계수차에 의한 스트레스와 상호작용에 의한 힐록을 방지하여 반사막이 평탄하고 크랙의 발생을 억제할 수 있다.

公开(公告)号：KR1019950022926A

公开(公告)日：1995-07-28

申请号：KR1019930031716

申请日：1993-12-30

Applicant: 대우전자주식회사

Inventor： 민용기

IPC: H04N5/74

Abstract: 본 발명은 안정한 구동을 하도록 하기에 적합한 투사형 화상 표시 장치의 광로 조절 장치의 구조 및 그 제조방법에 관한 것으로, 종래에는 변형부와 멤브레인의 열팽창 계수가 많이 틀리기 때문에 변형부와 신호 전극 사이 또는 신호 전극과 멤브레인 사이에서 박리가 발생하므로써 구동이 불안정하게 되는 결점이 있었으나, 본 발명에서는 멤브레인(5)으로 유전 상수가 큰 유전체를 사용하므로써 그 멤브레인(5)과 변형부(6)의 접착력이 커지므로 멤브레인(5)과 변형부(6) 사이에 박리가 발생하지 않기 때문에 안정된 구동을 할 수 있으며, 신호 전극(4)으로 사용할 재료의 선택이 용이하게 되므로 상기 결점을 개선시킬 수 있는 것이다.

公开(公告)号：KR1019950022913A

公开(公告)日：1995-07-28

申请号：KR1019930027985

申请日：1993-12-16

Applicant: 대우전자주식회사

Inventor： 민용기

IPC: H04N5/74

Abstract: 본 발명의 투사형 화상 표시 장치의 광로 조절 장치의 신뢰성을 향상하기에 적합한 투사형 화상 표시 장치의 광로 조절 장치 제조 방법에 관한 것으로, 종래에는 감광막 제거 공정시 또는 장시간 사용시, 에폭시가 약화되어 광로 조절 장치의 신뢰성이 저하하며 에폭시의 새로 방향 부분의 폭이 얇기 때문에 거울을 지탱하기에는 부적절하였으나, 본 발명에서는 티타늄(23)위에 거울(24)을 형성하여 티타늄(23)이 거울(24)을 지탱하도록 하므로써 그 거울(24)의 부착력이 좋아지며 장시간 구동에도 안정된 동작이 이루어지며, 평탄도면에서도 에폭시 경우보다 유리하므로 상기 결점을 개선시킬 수 있는 것이다.

公开(公告)号：KR1019950016308A

公开(公告)日：1995-06-17

申请号：KR1019930025877

申请日：1993-11-30

Applicant: 대우전자주식회사

Inventor： 민용기

IPC: H04N5/74

Abstract: 본 발명은 광로조절장치의 제조방법에 관한 것으로서, 구동기판표면의 소정부분에 지지부들을, 나머지 부분에 희생막을 형성하고 지지부들과 희생막의 상부에 탄성부를 형성한 후 접속단자들의 상부가 노출되도록 홈들을 형성하고 플러그를 형성한다. 그리고, 상술한 구조의 전표면에 신호전극, 변형부, 바이어스 전극 및 거울면을 박막 공정으로 형성한 후 희생막들이 노출되도록 거울면부터 탄성부까지 제거하여 액츄에이터들을 분리하고 희생막을 제거한다. 따라서, 변형부를 구동기판의 상부에 별도의 정렬없이 손상되지 않고 박막 공정으로 쉽게 형성할 수 있고 또한 변형부를 압전세라믹으로 형성하여도 박막을 이루므로 분극 공정을 하지 않아도 되며, 또한, 액츄에이터들을 분리하므로 상호 간섭을 방지할 수 있다.

公开(公告)号：KR1019950010590A

公开(公告)日：1995-04-28

申请号：KR1019930019454

申请日：1993-09-23

Applicant: 대우전자주식회사

Inventor： 지정범 ,  민용기

IPC: H04N5/74

Abstract: 본 발명은 광로조절장치의 제조방법에 관한 것으로서, 세라믹판들의 일측 표면에 홈들을 형성하고 접착제에 의해 서로 맞물리게 한 후 타측 표면들을 연마하여 웨이퍼를 형성한다. 그리고, 웨이퍼를 구동기판에 설정하고 상기 접착제를 제거하여 구동전달부의 하부를 끼워 지지하는 홈들을 형성한다. 따라서, 구동전달부의 하부를 끼우기 위한 홈들을 식각 또는 절단방법이 아닌 접착제의 제거에 의해 형성하므로 제조가 쉽다.

公开(公告)号：KR1019950005005A

公开(公告)日：1995-02-18

申请号：KR1019930013844

申请日：1993-07-21

Applicant: 대우전자주식회사

Inventor： 민용기

IPC: H04N5/74

Abstract: 본 발명은 투사형화상표시장치용 거울의 제조방법에 관한 것으로, 기판상에 분리층과 거울의 크기로 한정된 금속층을 형성하고, 상기 금속층의 상부에 폴리머층을 형성한 후 액츄에이터어레이를 접착시키고 분리층을 제거하여 기판을 분리시킨 다음 금속층들 사이의 폴리머층을 제거하여 거울을 만든다. 따라서, 폴리머층에 의해 거울의 두께를 조절할 수 있어 반사면으로 이용되는 하나의 금속층을 형성하므로 제조가 간단하며, 가벼운 폴리머 재질을 사용하므로써 구동특성을 향상시킬 수 있다.