一种氮掺杂介孔金属氧化物薄膜及其制备方法

    公开(公告)号:CN114369846B

    公开(公告)日:2023-11-24

    申请号:CN202111609462.X

    申请日:2021-12-24

    Applicant: 复旦大学

    Abstract: 本发明涉及功能材料制备技术领域,尤其是涉及一种氮掺杂介孔金属氧化物薄膜及其制备方法;该制备方法具体为首先将前驱体、表面活性剂、氮源和催化剂溶解在有机溶剂中,得到混合液;将混合液通过旋转涂膜的方式涂在基底上后干燥挥发有机溶剂;最后高温焙烧去除表面活性剂,得到所述氮掺杂介孔金属氧化物薄膜。本发明制得的氮掺杂介孔金属氧化物薄膜厚度为50‑5000nm,介孔孔径为5‑40nm,比表面积为100‑2800m/g。本制备方法普适性强,可以合成一系列氮掺杂金属氧化物薄膜。本发明方法简单,原料易得,适于放大生产。

    一种超高粘度光刻胶旋涂方法
    83.
    发明公开

    公开(公告)号:CN117092887A

    公开(公告)日:2023-11-21

    申请号:CN202311066729.4

    申请日:2023-08-23

    Abstract: 本发明提供一种超高粘度光刻胶旋涂方法,涉及半导体制造技术领域,尤其涉及一种超高粘度光刻胶旋涂方法。真空吸盘带动所述晶圆旋转;滴胶装置移动至晶圆的中心处进行滴胶,接着所述滴胶装置沿着所述晶圆的中心朝所述晶圆的径向移动;使光刻胶涂满整个晶圆时再次滴胶。本发明从晶圆中心开始的滴胶方法,使得高粘度光刻胶的涂敷更加均匀;且可以节省光刻胶用量。

    一种照明灯灯罩辅助安装装置与灯罩安装工艺

    公开(公告)号:CN116638291B

    公开(公告)日:2023-11-03

    申请号:CN202310486397.9

    申请日:2023-04-28

    Abstract: 本发明公开了一种照明灯灯罩辅助安装装置与灯罩安装工艺,包括定位套,定位套内滑动连接安装有驱动盘,驱动盘内设有气道孔二,气道孔二外接负压发生装置,气道孔二延伸至驱动盘下端,驱动盘包括位于上端的延伸部,延伸部通过旋转气缸带动旋转,旋转气缸包括凸柱,凸柱插入延伸部,凸柱可带动延伸部转动,并且延伸部可沿凸柱上下移动。本发明提供一种照明灯灯罩辅助安装装置与灯罩安装工艺,可自动定位灯罩与灯体,生产效率高。

    一种C型聚对二甲苯二聚体的成膜速率匹配方法

    公开(公告)号:CN116913400A

    公开(公告)日:2023-10-20

    申请号:CN202310783417.9

    申请日:2023-06-29

    Inventor: 仝晓刚 刘强强

    Abstract: 本发明提供一种C型聚对二甲苯二聚体的成膜速率匹配方法,包括如下步骤:S100,分别构建升华速率计算公式、裂解速率计算公式和成膜速率计算公式;S200,利用所述升华速率计算公式、裂解速率计算公式和成膜速率计算公式分别计算升华速率、裂解速率和成膜速率,通过调整相应的升华温度、裂解温度以及成膜温度,实现升华速率、裂解速率和成膜速率相等,从而达到C型对二甲苯二聚体成膜过程的速度匹配。利用本发明,可显著提高C型聚对二甲苯二聚体的成膜效率,缩短产品加工时间40%以上,提高C型聚对二甲苯二聚体的原料利用率,同时提高了C型聚对二甲苯二聚体的成膜质量,大幅减少了成膜过程中的C残留物质。

    一种化学气相沉积装置以及高厚度Parylene-N膜的制备方法

    公开(公告)号:CN115463803B

    公开(公告)日:2023-09-22

    申请号:CN202111532888.X

    申请日:2021-12-15

    Abstract: 本发明提供一种化学气相沉积装置以及高厚度Parylene‑N膜的制备方法,该装置包括通过管道依次相连的蒸发室、裂解炉、沉积室和冷阱;所述冷阱通过真空泵与所述沉积室连通;所述沉积室的底部设有用于与所述冷阱连通的连通口,所述连通口处设有节流片,所述节流片用于调节所述连通口的大小;所述沉积室内还设有降温平台,所述降温平台位于所述沉积室的腔室底部,所述降温平台用于降低衬底的温度。本发明的高厚度Parylene‑N膜的制备方法,使用该装置,并通过控制裂解温度和沉积压力等参数,可以实现微米级别的Parylene‑N膜的快速沉积,且只需要在常见的Parylene沉积设备上进行改进和调节参数即可实现,有利于减少制造成本。

    一种大分子沉积方法
    90.
    发明授权

    公开(公告)号:CN109046817B

    公开(公告)日:2023-09-05

    申请号:CN201810830620.6

    申请日:2018-07-13

    Inventor: 张向平 赵永建

    Abstract: 本发明涉及材料制备领域,一种大分子沉积方法,泵组抽真空;将溶液通入;缓冲气体通入缓冲气体腔,通过出气口进入喷雾腔,最终从缓冲气出口排出;在外管和内管之间施加电压,使得溶液中的部分待沉积分子成为离子形式,并且溶液在电喷雾装置出口形成雾化的液滴,调节电压,调整电喷雾装置位置;部分电喷雾装置出口形成雾化的液滴依次通过出气口II、缓冲气体腔进入真空腔,液滴中剩下待沉积分子的离子、溶剂分子及杂质组成的离子束流;当离子束流通过分流器I时,溶剂分子由于与分流器I壁碰撞而受热并被蒸发从而偏离离子束流;杂质由于与分流器II壁碰撞而受热并被散射从而偏离离子束流;离子束流中部分离子沉积在挡板上;待沉积分子沉积在样品上。

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