光源装置
    3.
    发明申请
    光源装置 审中-公开
    光源设备

    公开(公告)号:WO2014104014A1

    公开(公告)日:2014-07-03

    申请号:PCT/JP2013/084479

    申请日:2013-12-24

    Inventor: 芦田 克己

    CPC classification number: F21V11/18 F21V14/08

    Abstract:  光源装置が、放電ランプと、放電ランプから放射される光を反射する楕円ミラーと、放電ランプと楕円ミラーとを収容し、前面パネルに光を出射する出射口が設けられる箱形の筐体と、光の光量を制御する絞り機構と絞り機構を通過する光の出射と遮断とを制御するシャッタ機構と、シャッタ機構と絞り機構とを支持する略箱形のケース部材と、を有する光量調整ユニットと、を備え、筐体の一側面パネルは、光量調整ユニットを挿入可能な取付開口部を有し、ケース部材は、光量調整ユニットの挿入方向後端に、取付開口部を覆蓋可能な蓋体を有し、光量調整ユニットは、取付開口部から筐体内に挿入され、蓋体が取付開口部を覆うように、筐体の一側面パネルに取付けられることを特徴とする。

    Abstract translation: 一种光源装置,包括:放电灯; 反射从放电灯辐射的光的椭圆镜; 容纳放电灯和椭圆镜的盒形壳体,并且在前表面板上设置有发光发射孔; 以及光量调节单元,其包括用于控制光量的节流机构,用于控制通过节流机构的光的发射和遮挡的快门机构,以及用于 支撑快门机构和节流机构。 所述光源装置的特征在于,所述壳体的一个侧面面板包括可插入光量调节单元的安装孔, 所述壳体构件在所述光量调节单元的插入方向的远端包括能够覆盖所述安装开口的盖; 并且光量调节单元当从安装开口插入到壳体中时,可以将壳体附接到壳体的一个侧面板,使得盖覆盖安装开口。

    ウエハ支持ガラス
    4.
    发明申请
    ウエハ支持ガラス 审中-公开
    WAFER支持玻璃

    公开(公告)号:WO2008149506A1

    公开(公告)日:2008-12-11

    申请号:PCT/JP2008/001313

    申请日:2008-05-27

    Inventor: 西井由和

    CPC classification number: H01L21/67132 H01L21/67092

    Abstract: 【課題】  半導体ウエハ(SW)を接着して支持するとともに半導体ウエハから剥離できるように可撓性を備えたガラスプレート(GP)からなるウエハ支持ガラスを提供する。 【解決手段】  ガラスプレート(GP)は、半導体ウエハ(SW)に接着してこの半導体ウエハを支持するウエハ支持ガラスである。そして、半導体ウエハ(SW)に接着されたウエハ支持ガラスを剥離するため、ウエハ支持ガラスは所定角度以上曲がる。ウエハ支持ガラスは30度以上曲がると半導体ウエハに大きな力を与えないで剥離することができる。

    Abstract translation: 提供一种由玻璃板(GP)组成的晶片支撑玻璃,其具有柔性,使得其可以通过结合支撑半导体晶片(SW)并且可以从其剥离。 解决问题的手段玻璃板(GP)是用于通过与其结合来支撑半导体晶片(SW)的晶片支撑玻璃。 为了剥离接合到半导体晶片(SW)的晶片支撑玻璃,晶片支撑玻璃弯曲预定角度或更大。 当晶片支撑玻璃弯曲30度以上时,可以剥离而不对半导体晶片施加大的力。

    可変スリット装置およびレーザー加工装置
    5.
    发明申请
    可変スリット装置およびレーザー加工装置 审中-公开
    可变切片设备和激光治疗设备

    公开(公告)号:WO2007086132A1

    公开(公告)日:2007-08-02

    申请号:PCT/JP2006/301302

    申请日:2006-01-27

    Inventor: 大石 淳

    CPC classification number: B23K26/066

    Abstract: A variable slit apparatus capable of easily forming a rectangular aperture of a desired shape and size is provided. The variable slit apparatus comprises a first slit mechanism (12) for forming a first slit (S) with a variable width along a plane perpendicular to the optical axis (L) of a laser beam, a first drive mechanism (14) for rotating the first slit mechanism around the optical axis of the laser beam, a second slit mechanism (18) for forming a second slit (S) with a variable width along the plane perpendicular to the optical axis (L) of the laser beam and intersecting the first slit (S), a second drive mechanism (20) for rotating the second slit mechanism around the optical axis of the laser beam, a region setter for setting a predetermined region on the plane perpendicular to the optical axis of the laser beam, and a controller (80) for controlling the first slit mechanism, the first drive mechanism, the second slit mechanism, and the second drive mechanism in such a way that the overlap between the first and second slits does not extend beyond the region set by the region setter.

    Abstract translation: 提供一种能够容易地形成所需形状和尺寸的矩形孔的可变狭缝装置。 可变狭缝装置包括:第一狭缝机构(12),用于沿垂直于激光束的光轴(L)的平面形成具有可变宽度的第一狭缝(S);第一驱动机构(14),用于使 围绕所述激光束的光轴的第一狭缝机构,用于沿垂直于所述激光束的光轴(L)的平面形成具有可变宽度的第二狭缝(S)的第二狭缝机构(18),并且与所述第一狭缝机构 狭缝(S),用于使第二狭缝机构围绕激光束的光轴旋转的第二驱动机构(20),用于在与激光束的光轴垂直的平面上设定规定区域的区域设定器,以及 控制器(80),用于控制第一狭缝机构,第一驱动机构,第二狭缝机构和第二驱动机构,使得第一和第二狭缝之间的重叠不延伸超过由区域设定器设置的区域 。

    エキシマランプ
    6.
    发明申请
    エキシマランプ 审中-公开
    EXCIMER灯

    公开(公告)号:WO2006114988A1

    公开(公告)日:2006-11-02

    申请号:PCT/JP2006/307025

    申请日:2006-03-28

    CPC classification number: H01J65/046 H01J61/12

    Abstract: It is possible to provide an excimer lamp in which excimer light emission output is increased. The excimer lamp includes at least a light emission window (3) arranged in the light emission direction and a plurality of excimer discharge electrodes (2) arranged to oppose each other. An excimer discharge gas existing in a discharge space (5) formed between the opposing electrodes causes discharge to emit excimer light. The excimer discharge electrodes (2) are flat electrodes. A plurality of the discharge spaces (5) are arranged between the flat electrodes. The light emission window (3) is arranged in parallel to a discharge path of the discharge space (5).

    Abstract translation: 可以提供准分子发光输出增加的准分子灯。 准分子灯至少包括以发光方向排列的发光窗(3)和配置成彼此相对的多个准分子放电电极(2)。 存在于形成在相对电极之间的放电空间(5)中的准分子放电气体引起放电以发出准分子光。 准分子放电电极(2)是扁平电极。 多个放电空间(5)布置在平面电极之间。 发光窗(3)与放电空间(5)的放电路径平行布置。

    光照射装置
    7.
    发明申请
    光照射装置 审中-公开
    照相装置

    公开(公告)号:WO2014171317A1

    公开(公告)日:2014-10-23

    申请号:PCT/JP2014/059461

    申请日:2014-03-31

    CPC classification number: B41F23/0409 B41F23/0406 B41F23/045 B41F23/0453

    Abstract:  照射面上の所定の照射位置に、第1方向に延び、かつ第1方向と直交する第2方向に所定の線幅を有するライン状の光を照射する光照射装置が、基板上に第1方向に沿って第1の間隔をおいて並べられ、所定の方向に光軸の向きを揃えて配置されたN個(Nは2以上の整数)の光源モジュールと、各光源モジュールの光路上に配置され、各光源モジュールからの光を所定の光路に導くN個の光学素子とを有し、照射面に対して第1方向に平行なライン状の光を出射する光学ユニットを備え、各光源モジュールは、第1方向に沿って延びる発光部を有し、各光学素子は、発光部から出射される光を第1方向に所定の倍率で拡大し、第1の間隔をa、発光部の第1方向の長さをb、所定の倍率をαとしたときに、次の条件式(1)を満足する。 α×b≧a ・・・(1)

    Abstract translation: 一种光照射装置,用于在与第一方向垂直的第二方向上沿第一方向延伸并且具有规定线宽的线状光照射在照射表面上的规定照射位置的光照射装置配备有用于将照射表面照射的光学单元 并且具有:在基板上沿第一方向排列的第一方向的光源模块的N号(N为2以上的整数),其间插入有第一间隔,并且以这样的方式 使得其光轴沿规定方向取向; 以及N个用于将来自每个光源模块的光引导到规定光路的光学元件,并且沿着每个光源模块的光路定位。 其中,每个光源模块具有沿第一方向延伸的发光部分; 并且每个光学元件以第一方向以规定的倍率放大从发光部发出的光,并且满足条件式(1),在第一间隔为a的情况下,发光部的长度 在第一方向为b,规定的倍率为α。 α×b≥a...(1)

    光源装置
    8.
    发明申请
    光源装置 审中-公开

    公开(公告)号:WO2014104013A1

    公开(公告)日:2014-07-03

    申请号:PCT/JP2013/084478

    申请日:2013-12-24

    Inventor: 芦田 克己

    CPC classification number: F21V19/04

    Abstract:  光源装置が、発光管と、発光管の基端部に設けられ陰極と電気的に接続された固定用口金とを有する放電ランプと、固定用口金を着脱可能に支持することにより放電ランプを交換可能に収容するランプユニットと、ランプユニットを収容する箱形の筐体とを備え、固定用口金は、基端部を収容する第1胴部と、第1胴部の外周面に形成されたフランジ部とを有し、ランプユニットは、固定用口金が挿入され、第1の回動方向に回動されたときに、フランジ部をクランプし、第1の回動方向とは反対の第2の回動方向に回動されたときに、フランジ部のクランプを解除するクランプ部を有し、筐体の側面は、前面の近傍に設けられた回動軸を中心に回動する開閉扉を有し、開閉扉が外側に回動したときにランプユニットが引き出されてクランプ部が露出する。

    Abstract translation: 光源装置包括具有发光管和固定基座的放电灯,固定基座设置在电弧管的基端部并电连接到阴极, 的灯单元,用于通过支撑可更换地容纳放电灯,和一个箱形的壳体,容装所述灯单元,所述固定模包括用于容纳的基端部,该第一气缸的第一筒部 以及形成在所述灯单元的外周表面上的凸缘部,其中,当所述固定基座插入并沿所述第一旋转方向旋转时,所述灯单元夹紧所述凸缘部, 当它在第二转动方向转动时相反的移动方向具有用于释放凸缘部的夹持,在壳体的侧表面,前部附近设置一个转动轴的夹持部 门具有朝向中央的开闭门,当开闭门向外侧转动时,灯单元被拉出 夹紧部露出碲。

    光照射装置
    9.
    发明申请
    光照射装置 审中-公开
    光辐射装置

    公开(公告)号:WO2014065081A1

    公开(公告)日:2014-05-01

    申请号:PCT/JP2013/076514

    申请日:2013-09-30

    Inventor: 岸根 努

    CPC classification number: B41F23/0409 B41F23/04

    Abstract:  照射面上の所定の照射位置に、第1方向に延び、且つ、第2方向に所定の線幅を有するライン状の光を照射する光照射装置が、基板と、基板上に第1方向に沿って並べられた光源と、各光源からの光を平行光となるように整形する光学素子とを有する複数の光学ユニットを備え、複数の光学ユニットは、照射面に対して第1方向に平行なライン状の光を出射する複数の第1光学ユニット及び第2光学ユニットから成り、各第1光学ユニットは、出射光が所定の集光位置を通り、且つ、照射面上において線幅内に収まるように配置され、各第2光学ユニットは、出射光が照射面上において線幅内に収まるように配置され、照射位置から鉛直上方の所定の範囲内において、各光学ユニットからの出射光のエネルギーの総和が略一定となる。

    Abstract translation: 一种用于辐射在第一方向上延伸并且在照射表面上的预定照射位置处具有在第二方向上的预定线宽的线性光的光辐射装置设置有多个具有基板的光学单元, 沿着第一方向的基板,以及用于使来自每个光源的光成形为平行光的光学元件。 光学单元包括用于将平行于第一方向的线性光发射到照射表面上的多个第一光学单元和第二光学单元。 每个第一光学单元布置成使得发射的光通过预定的聚焦位置并且配合在照射表面上的线宽中。 每个第二光学单元布置成使得发射的光适合在照射表面上的线宽度内。 从每个光学单元发射的光的能量的总和在垂直于照射位置的垂直的预定范围内基本上是均匀的。

    偏光ガラスおよび光アイソレーター
    10.
    发明申请
    偏光ガラスおよび光アイソレーター 审中-公开
    偏光玻璃和光学隔离器

    公开(公告)号:WO2010044472A1

    公开(公告)日:2010-04-22

    申请号:PCT/JP2009/067938

    申请日:2009-10-16

    Inventor: 米田 嘉隆

    Abstract:  偏光ガラスの近距離測定消光比を改善する。ガラス基体中に配向分散された形状異方性金属粒子を含む偏光ガラスであって、前記ガラス基体全体に対してwt%で換算したときに、前記ガラス基体中に含まれるClを0.40~0.85wt%とする。ビッカース硬さが360以上420以下、ヌープ硬さが400以上495以下、または、前記ガラス基体中にY 2 O 3 、La 2 O 3 、V 2 O 3 、Ta 2 O 3 、WO 3 、およびNb 2 O 5 から成る群から選ばれる少なくとも1種の添加成分を含ませる。なお、前記選ばれる添加成分1種あたりの含有量はモル%換算で0.05~4%の範囲であり、前記添加成分が複数選ばれた場合の合計含有量はモル%換算で6%以下である。

    Abstract translation: 其中改善了在短距离处测量的消光比的偏振玻璃。 具体公开了含有取向分散在玻璃基体中的形状 - 各向异性金属粒子的偏光玻璃。 相对于整个玻璃基质的重量百分比,玻璃基质中含有0.40-0.85重量%的Cl。 偏光玻璃的维氏硬度为360〜420,维氏硬度为400〜495以下,或至少一种选自Y 2 O 3,La 2 O 3,V 2 O 3, 玻璃基质中含有Ta 2 O 3,WO 3,Nb 2 O 5。 其中所含的每种附加组分的量在0.05-4摩尔%的范围内,如果选择两种或多种另外的组分,则附加组分的总量不超过6摩尔%。

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