公开(公告)号：CN108873600A

公开(公告)日：2018-11-23

申请号：CN201810462327.9

申请日：2018-05-15

Applicant: IMEC 非营利协会 ,  IMEC美国纳米电子设计中心

Inventor： R·琼科赫瑞 ,  C·惠耿巴尔特 ,  E·加拉赫

IPC: G03F1/62 ,  G03F7/20

CPC classification number: G03F1/64 ,  G03F1/62 ,  G03F7/70825 ,  G03F7/70975 ,  G03F7/70983 ,  G03F7/70733

Abstract: 根据本发明概念的一个方面，提供一种光刻掩模板系统，其包括：掩模板，安装在掩模板前的第一防尘薄膜，以及安装在第一防尘薄膜前的第二防尘薄膜，其中，第一防尘薄膜设置在掩模板和第二防尘薄膜之间，并且其中，第二防尘薄膜相对于第一防尘薄膜和掩模板可拆卸地安装。

公开(公告)号：CN108873596A

公开(公告)日：2018-11-23

申请号：CN201810461607.8

申请日：2018-05-15

Applicant: IMEC 非营利协会 ,  IMEC美国纳米电子设计中心

Inventor： E·加拉赫 ,  C·惠耿巴尔特 ,  I·波兰迪亚 ,  H·C·阿德尔曼 ,  M·蒂默曼斯 ,  J·U·李

IPC: G03F1/48

CPC classification number: G03F1/64 ,  B82Y30/00 ,  B82Y40/00 ,  C01B32/159 ,  G03F1/22 ,  G03F1/62 ,  G03F1/48

Abstract: 本发明构思涉及形成用于极紫外线光刻掩模板(410)的碳纳米管防护件薄膜(102、202)的方法，所述方法包括：通过将至少一个碳纳米管薄膜(104、204a、204b)压制在第一按压表面(106、206)和第二按压表面(108、208)之间来将至少一个碳纳米管薄膜(104、204a、204b)的重叠碳纳米管(110、210)结合在一起(502)，由此形成自立式碳纳米管防护件薄膜(102、202)。本发明构思还分别涉及形成用于极紫外线光刻的防护件(400)的方法和形成用于极紫外线光刻的掩模板系统(412)的方法。

公开(公告)号：CN119225044A

公开(公告)日：2024-12-31

申请号：CN202411482088.5

申请日：2020-05-19

Applicant: IMEC非营利协会 ,  史帝金IMEC荷兰公司

Inventor： 安德烈斯·费利佩·巴斯克斯金特罗 ,  克里斯·范连普德 ,  赫伯特·德斯梅特

IPC: G02C7/04 ,  G02C11/00 ,  G01J1/44

Abstract: 提供了一种用于检测入射光(126)强度的比例变化的智能接触镜片(400)，包括一个或多个液晶显示器(LCD)类型的优选为同心的环(410‑1，410‑2，......，410‑N)，每个环可在具有较低光衰减的状态和具有较高光衰减的状态之间操作；电路(420，100，101)，用于检测入射光强度的比例变化；以及控制器(430)，被配置为基于入射光的强度操作该一个或多个环，并作为对电路(420，100，10101)检测到该入射光强度从较高强度状态到较低强度状态的比例变化指示至少用户的眨眼动作已经开始的响应，启动该一个或多个环的重新极化。还提供了一种操作智能接触镜片的方法以及该电路的各种用途。

公开(公告)号：CN108878259A

公开(公告)日：2018-11-23

申请号：CN201810461722.5

申请日：2018-05-15

Applicant: IMEC 非营利协会 ,  IMEC美国纳米电子设计中心

Inventor： M·蒂默曼斯 ,  E·加拉赫 ,  I·波兰迪亚 ,  H·C·阿德尔曼 ,  C·惠耿巴尔特 ,  J·U·李

IPC: H01L21/02

CPC classification number: G03F1/64 ,  G03F1/62 ,  H01L21/02104

Abstract: 本发明构思涉及一种形成用于极紫外光刻的防尘薄膜的方法，所述方法包括：在碳纳米管防尘薄膜膜片的主表面的外周区域上形成第一材料的涂层，所述防尘薄膜片包括碳纳米管膜，将所述碳纳米管防尘薄膜膜片置于防尘薄膜框架上，并且所述外周区域面向所述防尘薄膜框架的支撑表面，其中所述防尘薄膜框架的支撑表面由第二材料形成，和通过将碳纳米管防尘薄膜片和防尘薄膜支撑表面相互压靠而将碳纳米管防尘薄膜片的涂层和防尘薄膜支撑表面结合在一起。本发明构思还涉及一种形成用于极紫外光刻的掩模板的方法。

公开(公告)号：CN120019437A

公开(公告)日：2025-05-16

申请号：CN202380057386.7

申请日：2023-07-24

Applicant: IMEC 非营利协会 ,  IMEC美国纳米电子设计中心

Inventor： H·罗 ,  A·赫尔 ,  Q·赫尔

IPC: G11C11/44

Abstract: 本文描述了基于约瑟夫森结的存储器器件及其使用方法。基于约瑟夫森结的存储器器件的示例包括多个超导回路。每个超导回路包括至少一个约瑟夫森结。该多个超导回路是电耦合的。该多个超导回路包括多个输入回路、多个读出回路以及至少一个共享回路。该多个超导回路被配置成响应于控制信号和单通量量子(SFQ)脉冲的组合而存储或消除一个或多个超导回路中的磁通量量子。

公开(公告)号：CN114207509B

公开(公告)日：2024-11-12

申请号：CN202080052627.5

申请日：2020-05-19

Applicant: IMEC非营利协会 ,  史帝金IMEC荷兰公司

Inventor： 克里斯·范连普德 ,  安德烈斯·费利佩·巴斯克斯金特罗 ,  赫伯特·德斯梅特

IPC: G02C7/04 ,  G02C11/00 ,  G01J1/44

Abstract: 提供了一种用于检测入射光(126)强度的比例变化的智能接触镜片(400)，包括一个或多个液晶显示器(LCD)类型的优选为同心的环(410‑1，410‑2，……，410‑N)，每个环可在具有较低光衰减的状态和具有较高光衰减的状态之间操作；电路(420，100，101)，用于检测入射光强度的比例变化；以及控制器(430)，被配置为基于入射光的强度操作该一个或多个环，并作为对电路(420，100，10101)检测到该入射光强度从较高强度状态到较低强度状态的比例变化指示至少用户的眨眼动作已经开始的响应，启动该一个或多个环的重新极化。还提供了一种操作智能接触镜片的方法以及该电路的各种用途。

公开(公告)号：CN108878259B

公开(公告)日：2023-06-23

申请号：CN201810461722.5

申请日：2018-05-15

Applicant: IMEC 非营利协会 ,  IMEC美国纳米电子设计中心

Inventor： M·蒂默曼斯 ,  E·加拉赫 ,  I·波兰迪亚 ,  H·C·阿德尔曼 ,  C·惠耿巴尔特 ,  J·U·李

IPC: H01L21/02

Abstract: 本发明构思涉及一种形成用于极紫外光刻的防尘薄膜的方法，所述方法包括：在碳纳米管防尘薄膜膜片的主表面的外周区域上形成第一材料的涂层，所述防尘薄膜片包括碳纳米管膜，将所述碳纳米管防尘薄膜膜片置于防尘薄膜框架上，并且所述外周区域面向所述防尘薄膜框架的支撑表面，其中所述防尘薄膜框架的支撑表面由第二材料形成，和通过将碳纳米管防尘薄膜片和防尘薄膜支撑表面相互压靠而将碳纳米管防尘薄膜片的涂层和防尘薄膜支撑表面结合在一起。本发明构思还涉及一种形成用于极紫外光刻的掩模板的方法。

公开(公告)号：CN114207509A

公开(公告)日：2022-03-18

申请号：CN202080052627.5

申请日：2020-05-19

Applicant: IMEC非营利协会 ,  史帝金IMEC荷兰公司

Inventor： 克里斯·范连普德 ,  安德烈斯·费利佩·巴斯克斯金特罗 ,  赫伯特·德斯梅特

IPC: G02C7/04 ,  G02C11/00 ,  G01J1/44

Abstract: 提供了一种用于检测入射光(126)强度的比例变化的智能接触镜片(400)，包括一个或多个液晶显示器(LCD)类型的优选为同心的环(410‑1，410‑2，……，410‑N)，每个环可在具有较低光衰减的状态和具有较高光衰减的状态之间操作；电路(420，100，101)，用于检测入射光强度的比例变化；以及控制器(430)，被配置为基于入射光的强度操作该一个或多个环，并作为对电路(420，100，10101)检测到该入射光强度从较高强度状态到较低强度状态的比例变化指示至少用户的眨眼动作已经开始的响应，启动该一个或多个环的重新极化。还提供了一种操作智能接触镜片的方法以及该电路的各种用途。

公开(公告)号：CN108873596B

公开(公告)日：2021-05-18

申请号：CN201810461607.8

申请日：2018-05-15

Applicant: IMEC 非营利协会 ,  IMEC美国纳米电子设计中心

Inventor： E·加拉赫 ,  C·惠耿巴尔特 ,  I·波兰迪亚 ,  H·C·阿德尔曼 ,  M·蒂默曼斯 ,  J·U·李

IPC: G03F1/48

Abstract: 本发明构思涉及形成用于极紫外线光刻掩模板(410)的碳纳米管防护件薄膜(102、202)的方法，所述方法包括：通过将至少一个碳纳米管薄膜(104、204a、204b)压制在第一按压表面(106、206)和第二按压表面(108、208)之间来将至少一个碳纳米管薄膜(104、204a、204b)的重叠碳纳米管(110、210)结合在一起(502)，由此形成自立式碳纳米管防护件薄膜(102、202)。本发明构思还分别涉及形成用于极紫外线光刻的防护件(400)的方法和形成用于极紫外线光刻的掩模板系统(412)的方法。

公开(公告)号：CN109900762A

公开(公告)日：2019-06-18

申请号：CN201811492171.5

申请日：2018-12-07

Applicant: IMEC ,  非营利协会 ,  非盈利IMEC荷兰

Inventor： S·波利托 ,  K·明尼

IPC: G01N27/414 ,  G01N27/327 ,  A61B5/04

Abstract: 一种用于感测生物的参数的系统，该系统包括：薄膜晶体管TFT单元(110；310)，该TFT单元(110；310)被配置用于附连到生物的身体部位，并且所述TFT单元(110；310)包括至少一个传感器(112)以及相关联的传感器电路系统(114)以用于感测生物的参数；以及电子单元(120；320)，其中电子单元(120)和TFT单元(110)被配置用于将电子单元(120)可分离地物理连接到TFT单元(110)或者将电子单元(320)与TFT单元(310)处于物理接触地布置在身体部位上，其中TFT单元(110；310)和电子单元(120；320)形成物理接触以用于由电子单元(120；320)对TFT单元(110；310)供电并将感测结果从TFT单元(110；310)传达给电子单元(120；320)。