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公开(公告)号:TW202031090A
公开(公告)日:2020-08-16
申请号:TW108136073
申请日:2019-10-04
Applicant: 日商日本發條股份有限公司 , NHK SPRING CO., LTD.
Inventor: 花待年彥 , HANAMACHI, TOSHIHIKO , 巽新 , TATSUMI, ARATA , 關谷健二 , SEKIYA, KENJI , 相川尚哉 , AIKAWA, NAOYA , 高梨雅也 , TAKANASHI, MASAYA
Abstract: 載台具備第1支撐板、第1支撐板下的第2支撐板、位於第2支撐板之下且與第1支撐板及第2支撐板重疊的軸體,以及貫通第2支撐板的至少一個護套加熱器。至少一個護套加熱器係平行於第2支撐板的上側面,且配置成延伸於離第1支撐板之距離相異的第1面上與第2面上。
Abstract in simplified Chinese: 载台具备第1支撑板、第1支撑板下的第2支撑板、位于第2支撑板之下且与第1支撑板及第2支撑板重叠的轴体,以及贯通第2支撑板的至少一个护套加热器。至少一个护套加热器系平行于第2支撑板的上侧面,且配置成延伸于离第1支撑板之距离相异的第1面上与第2面上。
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公开(公告)号:TWI680302B
公开(公告)日:2019-12-21
申请号:TW107124290
申请日:2018-07-13
Applicant: 日商日本發條股份有限公司 , NHK SPRING CO., LTD.
Inventor: 広中浩平 , HIRONAKA, KOHEI , 井沼毅 , INUMA, TSUYOSHI , 高橋秀志 , TAKAHASHI, SHUJI
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公开(公告)号:TWI666452B
公开(公告)日:2019-07-21
申请号:TW107111290
申请日:2018-03-30
Applicant: 日商日本發條股份有限公司 , NHK SPRING CO., LTD.
Inventor: 相馬一也 , SOUMA, KAZUYA , 坂口司 , SAKAGUCHI, TSUKASA
IPC: G01R1/067
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公开(公告)号:TW201910782A
公开(公告)日:2019-03-16
申请号:TW107126160
申请日:2018-07-27
Applicant: 日商日本發條股份有限公司 , NHK SPRING CO., LTD.
Inventor: 広中浩平 , HIRONAKA, KOHEI , 相馬一也 , SOMA, KAZUYA
Abstract: 本發明之接觸探針係具有:圓筒狀之管構件;軸環,係具有中空部,且固定在管構件之長邊方向之至少一方之端部的內周側;以及內部導體,係具有抵接在由管構件與軸環所形成之段部的凸緣部,且沿著長邊方向伸縮自如,而貫通管構件。
Abstract in simplified Chinese: 本发明之接触探针系具有:圆筒状之管构件;轴环,系具有中空部,且固定在管构件之长边方向之至少一方之端部的内周侧;以及内部导体,系具有抵接在由管构件与轴环所形成之段部的凸缘部,且沿着长边方向伸缩自如,而贯通管构件。
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公开(公告)号:TW201837476A
公开(公告)日:2018-10-16
申请号:TW107110725
申请日:2018-03-28
Applicant: 日商日本發條股份有限公司 , NHK SPRING CO.,LTD.
Inventor: 相馬一也 , SOMA, KAZUYA , 高橋雅宏 , TAKAHASHI, MASAHIRO
Abstract: 關於本發明之一實施型態之探針,其具備第一柱塞及第一管體。第一管體具有第一端部、第一螺旋部及第一圓筒部。第一端部具有嵌合第一柱塞之第一缺口。第一螺旋部具有第一螺旋狀溝。
Abstract in simplified Chinese: 关于本发明之一实施型态之探针,其具备第一柱塞及第一管体。第一管体具有第一端部、第一螺旋部及第一圆筒部。第一端部具有嵌合第一柱塞之第一缺口。第一螺旋部具有第一螺旋状沟。
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公开(公告)号:TW201826437A
公开(公告)日:2018-07-16
申请号:TW106123347
申请日:2017-07-12
Applicant: 日本發條股份有限公司 , NHK SPRING CO.,LTD.
Inventor: 立川俊洋 , TACHIKAWA, TOSHIHIRO , 相川尚哉 , AIKAWA, NAOYA , 高原剛 , TAKAHARA, GO , 鈴木恒平 , SUZUKI, KOHEI , 光田拓史 , MITSUDA, HIROSHI
IPC: H01L21/683 , H01L21/3065 , H01L21/31 , H05H1/46
Abstract: 提供一種用以精密控制基板溫度之工作台及其製作方法。或者提供一種具有此工作台之膜體形成裝置或膜體加工裝置。所提供之用以載置基板之工作台包含基材及基材上之加熱層。加熱層包含第一絕緣膜、第一絕緣膜上之加熱線及加熱線上第二絕緣膜。加熱線之材質包含一種以上之金屬,此一種以上之金屬選自鎢、鎳、鉻、鈷及鉬。
Abstract in simplified Chinese: 提供一种用以精密控制基板温度之工作台及其制作方法。或者提供一种具有此工作台之膜体形成设备或膜体加工设备。所提供之用以载置基板之工作台包含基材及基材上之加热层。加热层包含第一绝缘膜、第一绝缘膜上之加热线及加热在线第二绝缘膜。加热线之材质包含一种以上之金属,此一种以上之金属选自钨、镍、铬、钴及钼。
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公开(公告)号:TW201802479A
公开(公告)日:2018-01-16
申请号:TW106104521
申请日:2017-02-10
Applicant: 日本發條股份有限公司 , NHK SPRING CO.,LTD.
Inventor: 廣中浩平 , HIRONAKA, KOHEI , 相馬一也 , SOUMA, KAZUYA , 莊司哲 , SHOJI, SATOSHI , 山口諒輔 , YAMAGUCHI, RYOSUKE
IPC: G01R1/067
CPC classification number: G01R1/067
Abstract: 提供一種包含第一端部及相對於第一端部之第二端部之導電性接觸件。第一端部具有第一線狀脊、第二線狀脊、第三線狀脊、第四線狀脊、第一頂點、第二頂點、第三頂點、第四頂點及第五頂點。第一線狀脊、第二線狀脊、第三線狀脊及第四線狀脊彼此間隔且以形成十字形之方式配置。第一頂點、第二頂點、第三頂點及第四頂點位於第一端部之外周,且分別設置於第一線狀脊與第二線狀脊之間、第二線狀脊與第三件線狀脊之間、第三件狀脊與第四線狀脊之間以及第四線狀脊與第一線狀脊之間。
Abstract in simplified Chinese: 提供一种包含第一端部及相对于第一端部之第二端部之导电性接触件。第一端部具有第一线状嵴、第二线状嵴、第三线状嵴、第四线状嵴、第一顶点、第二顶点、第三顶点、第四顶点及第五顶点。第一线状嵴、第二线状嵴、第三线状嵴及第四线状嵴彼此间隔且以形成十字形之方式配置。第一顶点、第二顶点、第三顶点及第四顶点位于第一端部之外周,且分别设置于第一线状嵴与第二线状嵴之间、第二线状嵴与第三件线状嵴之间、第三件状嵴与第四线状嵴之间以及第四线状嵴与第一线状嵴之间。
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公开(公告)号:TWI607117B
公开(公告)日:2017-12-01
申请号:TW104118723
申请日:2015-06-10
Applicant: 日本發條股份有限公司 , NHK SPRING CO., LTD.
Inventor: 平野智資 , HIRANO, SATOSHI , 二口谷淳 , FUTAKUCHIYA, JUN , 石岡泰明 , ISHIOKA, YASUAKI , 伊藤直希 , ITO, NAOKI , 伊丹洋平 , ITAMI, YOHEI
CPC classification number: C23C4/123 , B32B15/043 , B32B38/00 , B32B2255/06 , C23C4/02 , C23C4/11 , C23C24/04 , C23C28/02 , C23C28/321 , C23C28/345
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公开(公告)号:TWI554762B
公开(公告)日:2016-10-21
申请号:TW104104991
申请日:2015-02-13
Applicant: 日本發條股份有限公司 , NHK SPRING CO., LTD.
Inventor: 山田佳男 , YAMADA, YOSHIO , 広中浩平 , HIRONAKA, KOHEI , 相馬一也 , SOUMA, KAZUYA , 高橋雅宏 , TAKAHASHI, MASAHIRO
CPC classification number: G01R1/06738 , G01R1/0466 , G01R1/06722 , G01R1/07314
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公开(公告)号:TW201544193A
公开(公告)日:2015-12-01
申请号:TW104106797
申请日:2015-03-04
Applicant: 日本發條股份有限公司 , NHK SPRING CO., LTD.
Inventor: 平野智資 , HIRANO, SATOSHI , 川崎公一 , KAWASAKI, KOICHI
Abstract: 本發明提供一種可於利用冷噴塗法之成膜裝置中,使附著於粉末通過之通路的內壁之粉末量均勻化之成膜裝置。成膜裝置係具備:氣體粉末混合部10,係將氣體與粉末予以混合並供給至噴嘴5;氣體室11,係透過至少1個氣體通過口13a與氣體粉末混合部10連通,將氣體導入至氣體粉末混合部10;粉末供給管12,係將粉末供給至氣體粉末混合部10,且係貫通氣體室11,使粉末的射出口12a突出於氣體粉末混合部10並且朝向噴嘴5的前端方向配置;以及整流部14,係設於氣體室11內之粉末供給管12之周圍,對被導入至氣體室11之氣體予以整流,使之通過氣體通過口13a。
Abstract in simplified Chinese: 本发明提供一种可于利用冷喷涂法之成膜设备中,使附着于粉末通过之通路的内壁之粉末量均匀化之成膜设备。成膜设备系具备:气体粉末混合部10,系将气体与粉末予以混合并供给至喷嘴5;气体室11,系透过至少1个气体通过口13a与气体粉末混合部10连通,将气体导入至气体粉末混合部10;粉末供给管12,系将粉末供给至气体粉末混合部10,且系贯通气体室11,使粉末的射出口12a突出于气体粉末混合部10并且朝向喷嘴5的前端方向配置;以及整流部14,系设于气体室11内之粉末供给管12之周围,对被导入至气体室11之气体予以整流,使之通过气体通过口13a。
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