公开(公告)号：JP2021534280A

公开(公告)日：2021-12-09

申请号：JP2021507498

申请日：2019-08-08

Applicant: サン−ゴバン セラミックス アンド プラスティクス,インコーポレイティド ,  SAINT−GOBAIN CERAMICS AND PLASTICS, INC.

Inventor： ブイチチ、ステファン ,  バウアー、ラルフ

IPC: B82B1/00 ,  B24D3/00 ,  B24B37/00 ,  H01L21/304 ,  C09K3/14

Abstract: 本体に含有されるドーパントを含む本体を有する研磨微粒子であって、ドーパントが、本体全体にわたって不均質に分布され、本体が、少なくとも35%の最大正規化ドーパント含有量の差を有する、研磨微粒子。

公开(公告)号：JP6971278B2

公开(公告)日：2021-11-24

申请号：JP2019118842

申请日：2019-06-26

Applicant: サン−ゴバン セラミックス アンド プラスティクス,インコーポレイティド ,  SAINT−GOBAIN CERAMICS AND PLASTICS, INC.

Inventor： オリヴィエ・チッティ ,  ジュリアン・ピー・フォアケイド ,  アンドレア・カズマークザック

IPC: F27D1/00 ,  C04B35/101

公开(公告)号：JP6965448B2

公开(公告)日：2021-11-10

申请号：JP2020526308

申请日：2018-11-07

Applicant: サン−ゴバン セラミックス アンド プラスティクス,インコーポレイティド ,  SAINT−GOBAIN CERAMICS AND PLASTICS, INC.

Inventor： マクラフリン ザ セコンド、マイケル テランス

IPC: H01L31/08 ,  H01L31/107 ,  H01L31/10 ,  H01J43/06

公开(公告)号：JP6952793B2

公开(公告)日：2021-10-20

申请号：JP2019556550

申请日：2017-12-28

Applicant: サン−ゴバン セラミックス アンド プラスティクス,インコーポレイティド ,  SAINT−GOBAIN CERAMICS AND PLASTICS, INC.

Inventor： ニエ、ピンシュ ,  リャン、シューチョン

IPC: B24D3/00 ,  C04B35/111 ,  C09K3/14

公开(公告)号：JP2020536992A

公开(公告)日：2020-12-17

申请号：JP2020519688

申请日：2018-11-15

Applicant: サン−ゴバン セラミックス アンド プラスティクス,インコーポレイティド ,  SAINT−GOBAIN CERAMICS AND PLASTICS, INC.

Inventor： ボッティリエーリ、スティーブン ,  ナハス、ナビル ,  ワード、ダグラス イー. ,  クアン、チュン − ルン

IPC: H01L21/304 ,  B24B37/00 ,  C09G1/02 ,  C01G25/00 ,  C01F17/235 ,  C09K3/14

Abstract: 組成物は、液体を含む担体及び担体に含有される研磨剤を含むことができ、研磨微粒子は、研磨微粒子中に平均で少なくとも10重量%の酸化セリウムを有し、少なくとも0.1のセリウム3+比(Ce3+/総セリウム)を有する。別の実施形態において、スラリー組成物は、水を含む液体担体、酸化セリウム粒子及び遊離シリカートイオンを含むことができ、酸化シリコンウェーハを研磨するときの材料除去速度が、遊離シリカートイオンを含まないスラリー組成物と比較して少なくとも3%上昇することができる。

公开(公告)号：JP6761440B2

公开(公告)日：2020-09-23

申请号：JP2018072633

申请日：2018-04-04

Applicant: サン−ゴバン セラミックス アンド プラスティクス,インコーポレイティド ,  SAINT−GOBAIN CERAMICS AND PLASTICS, INC.

Inventor： クリストファー・アルコナ ,  デイヴィット・ルアプル ,  サミュエル・エス・マーリン ,  ドールク・オメル・エネル ,  ジェニファー・エイチ・チェルビンスキー ,  クリスティン・ブレダー ,  フラヴィエン・フレミー

IPC: C09K3/14 ,  B24D3/00

公开(公告)号：JP6740528B2

公开(公告)日：2020-08-19

申请号：JP2018561690

申请日：2017-05-25

Applicant: サン−ゴバン セラミックス アンド プラスティクス,インコーポレイティド ,  SAINT−GOBAIN CERAMICS AND PLASTICS, INC. ,  トラスティーズ オブ ボストン ユニバーシティ

Inventor： ソフィー・マリー・クレアー・ポワゾー ,  デニス・セチン ,  スリカンス・ゴーパーラン

IPC: H01M8/12 ,  H01M4/86 ,  H01M4/88 ,  H01M8/1253 ,  H01M8/126 ,  H01M8/1213 ,  C01G53/00 ,  C04B35/50 ,  C04B35/486 ,  C25B11/03 ,  G01N27/409 ,  C25B11/06

公开(公告)号：JP2021534317A

公开(公告)日：2021-12-09

申请号：JP2021531616

申请日：2019-08-09

Applicant: サン−ゴバン セラミックス アンド プラスティクス,インコーポレイティド ,  SAINT−GOBAIN CERAMICS AND PLASTICS, INC.

Inventor： ボッティグリエリ、スティーブン ,  サルバトーレ、ジェイムズ エイ. ,  シネス、イアン ティー.

IPC: C09G1/02 ,  C09K3/14

Abstract: アルミナを含む複数の研削粒子を有する組成物であって、複数の研削粒子が、少なくとも55接合点/ミクロン 2 の平均メソ分岐指数および少なくとも5ミクロンのメジアン粒子径(D50)を有するメソ多孔性を有する、組成物。

公开(公告)号：JP2021104928A

公开(公告)日：2021-07-26

申请号：JP2021055740

申请日：2021-03-29

Applicant: サン−ゴバン セラミックス アンド プラスティクス,インコーポレイティド ,  SAINT−GOBAIN CERAMICS AND PLASTICS, INC.

Inventor： スティーブン・ボッティリエーリ ,  ビダル・ヨハネセン ,  ナビル・ナハス ,  スティーブン・ディー・ハートライン

IPC: C04B35/577

Abstract: 【課題】炭化ケイ素を含む基体、かかる基体を形成するために使用される粉末材料のブレンド、およびかかる基体を形成する方法を提供する。 【解決手段】炭化ケイ素を含む第1の相と、金属酸化物を含む第2の相であって、第2の相が、第1の相の粒境界に位置する離散粒間相である、第2の相と、を含み、基体が、少なくとも700MPaの平均強度を含み、基体が、少なくとも1000/100ミクロンの画像幅の第2の相の計数指数、少なくとも2000ピクセル/100ミクロンの画像幅の第2の相の平均面積指数、少なくとも3.00ピクセル 2 の第2の相の平均サイズ指数、またはそれらの任意の組み合わせ、のうちの少なくとも1つを含む、基体である。 【選択図】図1

公开(公告)号：JP6905018B2

公开(公告)日：2021-07-21

申请号：JP2019169510

申请日：2019-09-18

Applicant: サン−ゴバン セラミックス アンド プラスティクス,インコーポレイティド ,  SAINT−GOBAIN CERAMICS AND PLASTICS, INC.

Inventor： トレイシー・エイチ・パンザレラ ,  ドールク・オー・エネル ,  マイケル・ディー・カヴァナフ ,  アラン・ジェイ・ブランデス

IPC: B24D3/00 ,  C04B35/111