公开(公告)号：JPWO2016170972A1

公开(公告)日：2018-02-15

申请号：JP2017514053

申请日：2016-04-05

Applicant: ギガフォトン株式会社

Inventor： 佐藤 功一 ,  薮 隆之 ,  植野 能史 ,  細田 裕計

IPC: G03F7/20 ,  H05G2/00

CPC classification number: H05G2/008 ,  G21K2201/06 ,  H01S3/10 ,  H05G2/00 ,  H05G2/005 ,  H05G2/006

Abstract: EUV光生成装置の動作の安定性を向上させ得る。ドロップレット検出器は、チャンバ内に出力されレーザ光が照射されると極端紫外光が生成されるドロップレットに照明光を照射する光源部と、前記照明光を受光し光量の変化を検出する受光部と、1つの前記ドロップレットに照射された前記照明光の前記光量が低下する第1タイミングと前記照明光の前記光量が増加する第2タイミングとに基づいて、前記チャンバ内の所定位置で前記ドロップレットが検出されたことを示すドロップレット検出信号を出力するタイミング決定回路と、を備えてもよい。