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    狭帯域化レーザ装置
    1.
    发明专利
    狭帯域化レーザ装置 审中-公开

    公开(公告)号：JPWO2017026000A1

    公开(公告)日：2018-05-31

    申请号：JP2017534030

    申请日：2015-08-07

    Applicant: ギガフォトン株式会社

    Inventor： 古里 博志 ,  石田 啓介 ,  太田 毅 ,  熊▲崎▼ 貴仁 ,  若林 理

    IPC: H01S3/137 ,  H01S3/104

    CPC classification number: H01S3/11 ,  H01S3/0078 ,  H01S3/134 ,  H01S3/137 ,  H01S2301/04

    Abstract: 狭帯域化レーザ装置は、第1のバースト発振と、第1のバースト発振の次に行われる第2のバースト発振と、を含む複数回のバースト発振を行ってパルスレーザ光を出力する狭帯域化レーザ装置であって、レーザ共振器と、レーザ共振器の間に配置されたチャンバと、チャンバに配置された一対の電極と、一対の電極にパルス電圧を印加する電源と、レーザ共振器に配置された波長選択素子と、レーザ共振器に配置されたスペクトル幅可変部と、第2のバースト発振が開始される時より前の所定期間におけるデューティーと、第1のバースト発振が終了した時から第2のバースト発振が開始される時までの休止時間と、を計測し、デューティーと休止時間とに基づいて、スペクトル幅可変部を制御する制御部と、を備えてもよい。

    狭帯域化レーザ装置
    3.
    发明专利
    狭帯域化レーザ装置 审中-公开

    公开(公告)号：JPWO2017134745A1

    公开(公告)日：2018-11-22

    申请号：JP2016053068

    申请日：2016-02-02

    Applicant: ギガフォトン株式会社

    Inventor： 古里 博志 ,  太田 毅 ,  河野 夏彦 ,  若林 理 ,  熊▲崎▼ 貴仁

    IPC: H01S3/137

    CPC classification number: H01S3/11 ,  H01S3/034 ,  H01S3/038 ,  H01S3/08009 ,  H01S3/134 ,  H01S3/137 ,  H01S3/2207 ,  H01S3/2222

    Abstract: 狭帯域化レーザ装置は、第1のバースト発振と、第1のバースト発振の次に行われる第2のバースト発振と、を含む複数回のバースト発振を行ってパルスレーザ光を出力する狭帯域化レーザ装置であって、レーザ共振器と、レーザ共振器の間に配置されたチャンバと、チャンバに配置された一対の電極と、一対の電極にパルス電圧を印加する電源と、レーザ共振器に配置された波長選択素子と、レーザ共振器に配置されたスペクトル幅可変部と、波長選択素子の選択波長を変更する波長可変部と、第1のバースト発振が終了した時から第2のバースト発振が開始される時までの間のスペクトル幅可変部の制御量に基づいて、波長可変部を制御する制御部と、を備えてもよい。

    レーザ装置管理システム
    4.
    发明专利
    レーザ装置管理システム 审中-公开

    公开(公告)号：JPWO2017068619A1

    公开(公告)日：2018-08-16

    申请号：JP2015079421

    申请日：2015-10-19

    Applicant: ギガフォトン株式会社

    Inventor： 峰岸 裕司 ,  五十嵐 豊 ,  太田 毅

    IPC: G03F7/20 ,  G06F21/62 ,  H01S3/00

    CPC classification number: G03F7/2002 ,  G03F7/70025 ,  G03F7/70575 ,  G03F7/70725 ,  G03F7/70775 ,  G06F21/62 ,  H01S3/00 ,  H01S3/036 ,  H01S3/08009 ,  H01S3/137 ,  H01S3/225

    Abstract: 本開示によるレーザ装置管理システムは、第1のアクセス権限によってアクセス可能となるようにアクセス制限された第1の情報と、第2のアクセス権限によってアクセス可能となるようにアクセス制限された第2の情報と、第1のアクセス権限及び第2のアクセス権限の双方によってアクセス可能となるようにアクセス制限された第3の情報とを格納するように構成されたサーバと、ウエハ露光を行う露光装置に向けてパルスレーザ光を出力するレーザ出力部と、第1の情報、第2の情報、及び第3の情報をサーバに保存する制御を行う制御部とを含むレーザ装置とを備え、第2の情報は、互いに対応付けられた、露光装置におけるウエハ露光関連情報とレーザ装置におけるレーザ制御関連情報とを含んでもよい。

    レーザ装置及び非一過性のコンピュータ読み取り可能な記録媒体
    7.
    发明专利
    レーザ装置及び非一過性のコンピュータ読み取り可能な記録媒体 审中-公开

    公开(公告)号：JP2018093211A

    公开(公告)日：2018-06-14

    申请号：JP2018002024

    申请日：2018-01-10

    Applicant: ギガフォトン株式会社

    Inventor： 黒須 昭彦 ,  松永 隆 ,  増田 浩幸 ,  若林 理 ,  對馬 弘朗 ,  八代 将徳 ,  太田 毅

    IPC: H01S3/036 ,  H01S3/134 ,  H01S3/00

    Abstract: 【課題】省エネルギ又は省資源のためのシステムを備えたレーザ装置を構成する。 【解決手段】レーザ装置1010は、一対の電極と、前記一対の電極の間に供給されるガスを流動させるように構成されたファンと、前記ファンを動かすように構成されたモータと、前記レーザ装置1010によって消費される電力及び前記レーザ装置1010によって消費される電力量の少なくとも一つを表示するように構成されたディスプレイとを含み、前記レーザ装置1010によって消費される電力は、前記モータによって消費される電力を含むと共に、前記レーザ装置1010によって消費される電力量は、前記モータによって消費される電力量を含み、前記モータによって消費される電力は、前記一対の電極の間に供給されるガスの圧力に基づいて算出されると共に、前記モータによって消費される電力量は、前記一対の電極の間に供給されるガスの圧力に基づいて算出される。 【選択図】図3

    エキシマレーザ装置及びエキシマレーザシステム
    9.
    发明专利
    エキシマレーザ装置及びエキシマレーザシステム 有权
    准分子激光设备和受激准分子激光器系统

    公开(公告)号：JP2016225667A

    公开(公告)日：2016-12-28

    申请号：JP2016198548

    申请日：2016-10-06

    Applicant: ギガフォトン株式会社

    Inventor： 阿部 徹 ,  太田 毅 ,  對馬 弘朗 ,  若林 理

    IPC: H01S3/00 ,  H01S3/036

    Abstract: 【課題】レーザチャンバ内の全ガス交換の回数を抑制する。 【解決手段】このエキシマレーザ装置は、ハロゲンガスを含む第1レーザガスを収容した第1容器と、第1レーザガスよりもハロゲンガス濃度の低い第2レーザガスを収容した第2容器と、に接続され、第1レーザガス及び第2レーザガスのレーザチャンバの内部への供給を行うガス供給部を含んでもよい。そして、ガス供給部による第2レーザガスのレーザチャンバの内部への供給、及び、ガス排気部によるレーザチャンバの内部のガスの部分的な排気のいずれかを行うガス圧制御と、ガス供給部による第1レーザガス及び第2レーザガスのレーザチャンバの内部への供給、及び、ガス排気部によるレーザチャンバの内部のガスの部分的な排気の両者を行う部分ガス交換制御と、を選択的に行ってもよい。 【選択図】図3

    Abstract translation: 本发明涉及抑制在激光室中的总气体交换的次数。 受激准分子激光器设备被连接到包含含有卤素气体的第一激光气体的第一容器，包含第二激光气体低卤素气体的浓度比第一激光气体，第二容器， 它可以包括一个气体供应单元，用于提供给第一激光气体的激光腔室和第二激光气体的内部。 供应由气体供应单元中的第二激光气体的激光腔室的内部，和一个气体压力控制通过排气装置由气体供给单元进行的气体的任一内部部分抽空在激光室，第一 1种激光气体和供应到第二激光气体的激光腔室的内部，并且用于激光腔的内部气体部分抽空由于排气装置的局部气体交换控制可以选择性地执行 。 点域

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