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    レーザ装置及び狭帯域化光学系
    1.
    发明专利
    レーザ装置及び狭帯域化光学系 审中-公开

    公开(公告)号：JPWO2016189968A1

    公开(公告)日：2018-03-15

    申请号：JP2017520279

    申请日：2016-04-01

    Applicant: ギガフォトン株式会社

    Inventor： 宮本 浩孝

    IPC: H01S3/106 ,  H01S3/02

    CPC classification number: H01S3/005 ,  G02B7/1805 ,  G02B17/004 ,  G02B27/0944 ,  G02B27/0972 ,  G02B27/28 ,  H01S3/038 ,  H01S3/1055 ,  H01S3/225

    Abstract: レーザ装置は、一対の放電電極が内部に配置されたチャンバと、チャンバの外に配置されたグレーティングと、チャンバから出力されたビームを、少なくとも第1の方向であって一対の放電電極の間における放電方向と垂直な第1の方向に拡大させるように、チャンバとグレーティングとの間に配置された第1のビームエキスパンダ光学系と、チャンバから出力されたビームを、少なくとも第2の方向であって一対の放電電極の間における放電方向と平行な第2の方向に拡大させるように、チャンバとグレーティングとの間に配置された複数のプリズムを含む第2のビームエキスパンダ光学系と、を備えてもよい。

    狭帯域化エキシマレーザ装置
    2.
    发明专利
    狭帯域化エキシマレーザ装置 审中-公开

    公开(公告)号：JPWO2017072879A1

    公开(公告)日：2018-08-16

    申请号：JP2015080386

    申请日：2015-10-28

    Applicant: ギガフォトン株式会社

    Inventor： 宮本 浩孝 ,  若林 理

    IPC: H01S3/137 ,  H01S3/225 ,  H01S3/02

    CPC classification number: H01S3/137 ,  H01S3/02 ,  H01S3/036 ,  H01S3/08004 ,  H01S3/08009 ,  H01S3/13 ,  H01S3/134 ,  H01S3/225

    Abstract: 【課題】狭帯域化エキシマレーザ装置において、狭帯域化モジュール内の不純物ガスを除去する。 【解決手段】狭帯域化エキシマレーザ装置は、レーザ光のスペクトル線幅を狭帯域化する狭帯域化モジュールと、窒素ガス供給装置と、窒素ガス供給装置から供給された窒素ガスを狭帯域化モジュールの筐体内に流入させる窒素ガス導入部と、窒素ガス導入部から筐体内への窒素ガスの流入を制御する第1のバルブと、筐体内のガスを筐体外に流出させる排気部と、筐体内のガスを筐体外に排出させる排気ポンプと、排気部からのガスの排出を制御する第2のバルブと、筐体内のガスを大気中に放出させる大気放出部と、大気中へのガス放出を制御する第3のバルブと、第2のバルブを閉じる一方第1、第3のバルブを開いて、窒素ガスを所定時間筐体内に供給させ、次いで第3のバルブを閉じる一方第1、第2のバルブを開くと共に、排気ポンプを駆動させて筐体内を排気させ、その後レーザ発振させる制御部とを備えてもよい。 【選択図】図6

    レーザ装置
    3.
    发明专利
    レーザ装置 审中-公开

    公开(公告)号：JPWO2017183210A1

    公开(公告)日：2019-02-28

    申请号：JP2016062858

    申请日：2016-04-22

    Applicant: ギガフォトン株式会社

    Inventor： 宮本 浩孝

    IPC: H01S3/1055

    Abstract: レーザ装置は、一対の放電電極が内部に配置されたチャンバと、チャンバから出力されたビームのビーム幅を、少なくとも第1の方向であって一対の放電電極の間における放電方向と略平行な第1の方向に拡大するように配置された、第1のビームエキスパンダと、狭帯域化光学系であって、チャンバから出力されたビームのビーム幅を、少なくとも第2の方向であって第1の方向と略垂直な第2の方向に拡大するように配置された、少なくとも1つの光学素子を含む第2のビームエキスパンダと、第1及び第2のビームエキスパンダによってビーム幅が拡大されたビームを、第2の方向と略平行な面内に波長分散させるように配置された、グレーティングと、を有し、少なくとも1つの光学素子とグレーティングとの内の少なくとも1つが、第1のビームエキスパンダによる波長分散を補償するように配置されている狭帯域化光学系と、を備える。

    レーザ装置の波長制御方法及び電子デバイスの製造方法
    5.
    发明专利
    レーザ装置の波長制御方法及び電子デバイスの製造方法 审中-公开

    公开(公告)号：JPWO2020157839A1

    公开(公告)日：2021-11-25

    申请号：JP2019003041

    申请日：2019-01-29

    Applicant: ギガフォトン株式会社

    Inventor： 山中 琢磨 ,  宮本 浩孝

    IPC: H01S3/137

    Abstract: レーザ装置の波長制御方法は、パルスレーザ光の目標波長データを順次取得し、目標波長データを順次保存し、パルスレーザ光の波長を順次計測して計測波長を取得し、計測波長と、計測波長を取得した時刻よりも前の時刻における目標波長データと、を用いて波長偏差を算出し、波長偏差を用いてパルスレーザ光の波長をフィードバック制御することを含む。

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