-
公开(公告)号:JP6606866B2
公开(公告)日:2019-11-20
申请号:JP2015109530
申请日:2015-05-29
Applicant: セイコーエプソン株式会社
IPC: H04R17/00 , H01L41/047 , H01L41/187 , H01L41/113 , H01L41/09 , H01L41/319 , A61B8/14
-
-
公开(公告)号:JP6455669B2
公开(公告)日:2019-01-23
申请号:JP2015112680
申请日:2015-06-02
Applicant: セイコーエプソン株式会社
IPC: H01L41/187 , H01L41/317 , H01L41/43 , B41J2/14 , H01L41/09
-
公开(公告)号:JP6098830B2
公开(公告)日:2017-03-22
申请号:JP2014062392
申请日:2014-03-25
Applicant: セイコーエプソン株式会社
IPC: B41J2/14
-
公开(公告)号:JP5958719B2
公开(公告)日:2016-08-02
申请号:JP2014266704
申请日:2014-12-26
Applicant: セイコーエプソン株式会社
IPC: H01L41/09 , H01L41/113 , C04B35/475 , C04B35/468 , C01G33/00 , C01G23/00 , C01G29/00 , B41J2/14 , H01L41/187
-
公开(公告)号:JP2015229620A
公开(公告)日:2015-12-21
申请号:JP2014117103
申请日:2014-06-05
Applicant: セイコーエプソン株式会社
Inventor: 一色 鉄也
IPC: H01L41/187 , H01L41/09 , B41J2/14 , C04B35/462
CPC classification number: H01L41/1878 , B41J2/14233 , B41J2/161 , B41J2/1623 , B41J2/1628 , B41J2/1629 , B41J2/1631 , B41J2/1632 , B41J2/1635 , B41J2/1642 , B41J2/1646 , H01L41/0815 , H01L41/0973 , B41J2002/14241 , B41J2002/14419 , B41J2002/14491 , H01L41/318
Abstract: 【課題】信頼性の向上を図ることができる圧電材料を提供する。 【解決手段】ペロブスカイト構造を有していて菱面体晶構造を有する複合酸化物と、ペロブスカイト構造を有していて正方晶構造を有する複合酸化物と、を含む混晶として表され、菱面体晶構造を有する複合酸化物と正方晶構造を有する複合酸化物とのモル比(菱面体晶/正方晶)は、0.54以上1.20未満である。 【選択図】図2
Abstract translation: 要解决的问题:提供一种实现可靠性提高的压电材料。解决方案:压电材料由包含具有钙钛矿结构和菱面体结构的复合氧化物和具有钙钛矿结构和四方晶系的复合氧化物的混合晶体表示 结构,其中具有菱方结构的复合氧化物与具有四方结构的复合氧化物的摩尔比(菱方/四方)为0.54以上且小于1.20。
-
公开(公告)号:JP6805801B2
公开(公告)日:2020-12-23
申请号:JP2016245876
申请日:2016-12-19
Applicant: セイコーエプソン株式会社
IPC: H01L41/09 , B41J2/14 , H01L41/319 , H01L41/187
-
公开(公告)号:JP6790749B2
公开(公告)日:2020-11-25
申请号:JP2016223532
申请日:2016-11-16
Applicant: セイコーエプソン株式会社
IPC: H01L41/09 , H01L41/187 , H01L41/047 , B41J2/14 , H01L41/319
-
公开(公告)号:JP2019134015A
公开(公告)日:2019-08-08
申请号:JP2018013580
申请日:2018-01-30
Applicant: セイコーエプソン株式会社
IPC: H01L41/09 , H01L41/083 , H01L41/047 , H01L41/29 , B41J2/14 , H01L41/257
Abstract: 【課題】結晶粒の分極方向を揃えることができ、製造工程が複雑ではない圧電素子を提供する。 【解決手段】振動板の上方に設けられた第1電極と、前記第1電極の上方に設けられたチタン層と、前記チタン層の上方に設けられ、鉛、ジルコニウム、およびチタンを含む圧電体層と、前記圧電体層の上方に設けられた第2電極と、を含み、前記圧電体層は、膜厚方向に積層された複数の層を有し、前記圧電体層に0Vを跨いで電圧を印加した場合に、電圧に対する前記振動板の変位量を描いたバラフライカーブは、電圧0Vに関して非対称な形状であり、前記圧電体層に電圧が印加される前において、前記圧電体層を非線形誘電率顕微鏡で測定した場合に、測定領域の面積の84.6%以上が、所定の分極方向を示す、圧電素子。 【選択図】図10
-
公开(公告)号:JP2019133981A
公开(公告)日:2019-08-08
申请号:JP2018012584
申请日:2018-01-29
Applicant: セイコーエプソン株式会社
IPC: H01L41/257 , H01L41/09 , H01L41/083 , H01L41/293 , C04B35/475 , B41J2/14 , H01L41/187
Abstract: 【課題】圧電特性の良好な圧電素子を提供すること。 【解決手段】基体の上方に設けられた第1電極と、自発分極の方向が、菱面体晶のペロブスカイト構造の自発分極の方向と類似する結晶を含み、前記第1電極の上方に設けられた圧電体層と、前記圧電体層上に設けられた第2電極と、を備え、前記結晶の結晶構造を擬立方晶とみなした場合の(100)に帰属されるX線回折信号のロッキングカーブの信号強度分布の、2σが7.0°以内である、圧電素子。 【選択図】図1
-
-
-
-
-
-
-
-
-