圧電素子および液体吐出ヘッド
    9.
    发明专利

    公开(公告)号:JP2019134015A

    公开(公告)日:2019-08-08

    申请号:JP2018013580

    申请日:2018-01-30

    Abstract: 【課題】結晶粒の分極方向を揃えることができ、製造工程が複雑ではない圧電素子を提供する。 【解決手段】振動板の上方に設けられた第1電極と、前記第1電極の上方に設けられたチタン層と、前記チタン層の上方に設けられ、鉛、ジルコニウム、およびチタンを含む圧電体層と、前記圧電体層の上方に設けられた第2電極と、を含み、前記圧電体層は、膜厚方向に積層された複数の層を有し、前記圧電体層に0Vを跨いで電圧を印加した場合に、電圧に対する前記振動板の変位量を描いたバラフライカーブは、電圧0Vに関して非対称な形状であり、前記圧電体層に電圧が印加される前において、前記圧電体層を非線形誘電率顕微鏡で測定した場合に、測定領域の面積の84.6%以上が、所定の分極方向を示す、圧電素子。 【選択図】図10

    圧電素子及び液体吐出ヘッド
    10.
    发明专利

    公开(公告)号:JP2019133981A

    公开(公告)日:2019-08-08

    申请号:JP2018012584

    申请日:2018-01-29

    Abstract: 【課題】圧電特性の良好な圧電素子を提供すること。 【解決手段】基体の上方に設けられた第1電極と、自発分極の方向が、菱面体晶のペロブスカイト構造の自発分極の方向と類似する結晶を含み、前記第1電極の上方に設けられた圧電体層と、前記圧電体層上に設けられた第2電極と、を備え、前記結晶の結晶構造を擬立方晶とみなした場合の(100)に帰属されるX線回折信号のロッキングカーブの信号強度分布の、2σが7.0°以内である、圧電素子。 【選択図】図1

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