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公开(公告)号：JP2018166187A
公开(公告)日：2018-10-25
申请号：JP2017063761
申请日：2017-03-28
Applicant: セイコーエプソン株式会社
IPC: H01L41/09 , H01L41/113 , H01L41/29 , H01L41/319 , B41J2/14 , H01L21/316 , H04R17/00 , H01L41/187
CPC classification number: H01L41/1132 , B41J2/14233 , B41J2/161 , B41J2/1623 , B41J2/1628 , B41J2/1629 , B41J2/1632 , B41J2/1634 , B41J2/1642 , B41J2/1645 , B41J2/1646 , B41J2002/14241 , B41J2002/14419 , B41J2202/03 , H01L41/0471 , H01L41/0805 , H01L41/0973 , H01L41/1873 , H01L41/1878 , H01L41/27 , H01L41/318
Abstract: 【課題】(100)面に結晶配向させたKNNからなる圧電体層を有する圧電素子及び圧電素子応用デバイスを提供する。 【解決手段】基板と、基板上に形成された第1電極と、第1電極上に形成され、カリウム、ナトリウム、及びニオブを含む複数の圧電体膜が積層されてなる積層体である圧電体層と、圧電体層上に形成された第2電極とを有する圧電素子であって、圧電体層中のナトリウム濃度は、複数の圧電体膜のうち第1の圧電体膜の第1電極の近傍にナトリウム濃度の極大値であるNa極大値を有し、Na極大値から第2電極に近づくほどナトリウム濃度が減少する方向に傾斜し、第1の圧電体膜とその直上に形成された第2の圧電体膜との境界の近傍においてナトリウム濃度の極小値であるNa極小値を有する。 【選択図】図13
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公开(公告)号：JP2018101672A
公开(公告)日：2018-06-28
申请号：JP2016245876
申请日：2016-12-19
Applicant: セイコーエプソン株式会社
IPC: H01L41/09 , B41J2/14 , H01L41/319 , H01L41/187
CPC classification number: H01L41/0815 , B41J2/14201 , B41J2/14233 , B41J2/161 , B41J2/1628 , B41J2/1629 , B41J2/1632 , B41J2/1635 , B41J2/1642 , B41J2/1646 , B41J2002/14241 , B41J2002/14419 , B41J2002/14491 , H01L41/0805 , H01L41/0973 , H01L41/1873 , H01L41/318 , H01L41/319
Abstract: 【課題】Mn含有KNN系圧電材料において、添加物として結晶中に含まれるMnの価数の最適状態を明らかにすると共に、圧電体層の結晶配向性の向上を図り、優れた絶縁性を有する圧電素子及び圧電素子応用デバイスを提供する。 【解決手段】基板上に形成された第1電極と、第1電極上に形成され、カリウム(K)、ナトリウム(Na)、ニオブ(Nb)及びマンガン(Mn)を含むペロブスカイト構造の複合酸化物からなる圧電体層と、圧電体層上に形成された第2電極とを具備する圧電素子であって、マンガンは、2価のマンガン(Mn 2+ )と、3価のマンガン(Mn 3+ )と、4価のマンガン(Mn 4+ )とを含み、3価のマンガンと4価のマンガンとの和に対する2価のマンガンのモル比(Mn 2+ /(Mn 3+ +Mn 4+ ))が1以上10以下であり、且つ、ナトリウムに対するカリウムのモル比(K/Na)が1.1以下である。 【選択図】なし
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公开(公告)号：JP6168283B2
公开(公告)日：2017-07-26
申请号：JP2013065183
申请日：2013-03-26
Applicant: セイコーエプソン株式会社
Inventor： 酒井 朋裕
IPC: H01L41/047 , H01L41/09 , H01L41/187 , H01L41/23 , H01L41/43 , B41J2/045 , B41J2/14 , B41J2/145 , B41J2/16 , H01L41/319
CPC classification number: B41J2/14201 , B41J2/14233 , H01L41/0815 , H01L41/0973 , B41J2202/03
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公开(公告)号：JP2017050352A
公开(公告)日：2017-03-09
申请号：JP2015171296
申请日：2015-08-31
Applicant: セイコーエプソン株式会社
IPC: H01L41/317 , H01L41/09 , B41J2/14 , B41J2/16 , H01L41/187
Abstract: 【課題】圧電特性の向上した圧電素子、及び圧電素子応用デバイスを提供する。 【解決手段】第1電極60と、第1電極60上に溶液法によって形成され、カリウムと、ナトリウムと、ニオブと、を含むペロブスカイト型構造の複合酸化物からなる圧電体層70と、圧電体層70上に設けられた第2電極80と、を備えた圧電素子300であって、圧電体層70は、θ−2θ測定によるX線回折パターンにおいて、(200)面に由来するピークと(002)面に由来するピークとを有する。 【選択図】図3
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：JP2017037932A
公开(公告)日：2017-02-16
申请号：JP2015157626
申请日：2015-08-07
Applicant: セイコーエプソン株式会社
Inventor： 酒井 朋裕
IPC: H01L41/09 , H01L41/047 , H01L41/317 , H01L41/29 , H01L41/319 , B41J2/14 , B41J2/16 , H01L41/187
CPC classification number: H01L41/0805 , B41J2/14201 , H01L41/0478 , H01L41/1878 , H01L41/27 , H01L41/297
Abstract: 【課題】圧電体層の特性が向上し、変位効率の高い圧電素子、圧電素子応用デバイス、及び圧電素子の製造方法を提供する。 【解決手段】第1電極と、第1電極に設けられ、(100)面に優先配向したペロブスカイト型構造の複合酸化物の結晶からなる圧電体層70と、圧電体層70に設けられ、(100)面に優先配向した白金からなる第2電極80、81とを備えた圧電素子であって、圧電体層70は、第1電極側の結晶の面間隔L a より、第2電極側の結晶の面間隔L e の方が大きい。 【選択図】図9
Abstract translation: 在压电层的一个改进的特性，以提供高效的位移的压电元件，压电元件施加设备，以及用于制造压电元件的方法。 和设置在所述第一电极的第一电极，压电体层70，其包括优先取向的钙钛矿型结构（100）平面的复合氧化物的晶体，设置在压电层70上，（ 压电元件和其优选沿100）面取向的铂制的第2电极80，81，压电体层70是第一电极侧晶体的平面距离的La，所述第二电极侧晶体 表面间隔勒越大。 9系统技术领域
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公开(公告)号：JP6020784B2
公开(公告)日：2016-11-02
申请号：JP2011278861
申请日：2011-12-20
Applicant: セイコーエプソン株式会社
IPC: H01L41/09 , B41J2/14 , H01L41/39 , H01L41/187
CPC classification number: H01L27/20 , B41J2/14233 , C04B35/26 , C04B35/2683 , C04B35/2691 , C04B35/62218 , H01L41/0973 , H01L41/1871 , H01L41/1878 , H01L41/318 , H01L41/332 , C04B2235/3201 , C04B2235/3208 , C04B2235/3213 , C04B2235/3232 , C04B2235/3234 , C04B2235/3239 , C04B2235/3251 , C04B2235/3262 , C04B2235/3293 , C04B2235/3298 , C04B2235/80
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公开(公告)号：JP5884959B2
公开(公告)日：2016-03-15
申请号：JP2010256346
申请日：2010-11-16
Applicant: セイコーエプソン株式会社
Inventor： 酒井 朋裕
IPC: B41J2/16 , H01L41/09 , H01L41/187 , H01L41/22 , B41J2/045
CPC classification number: B41J2/161 , B41J2/1623 , B41J2/1628 , B41J2/1629 , B41J2/1632 , B41J2/1642 , B41J2/1645 , B41J2/1646 , H01L41/1871 , H01L41/1876 , H01L41/1878 , H01L41/318 , B41J2002/14241 , B41J2002/14419 , B41J2202/03 , C04B2235/768 , C04B35/4682 , Y10T29/42 , Y10T29/49401
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公开(公告)号：JP5776890B2
公开(公告)日：2015-09-09
申请号：JP2011124657
申请日：2011-06-02
Applicant: セイコーエプソン株式会社
CPC classification number: H01L41/0815 , B41J2/055 , B41J2/14233 , B41J2/161 , B41J2/1628 , B41J2/1629 , B41J2/1634 , B41J2/1642 , B41J2/1645 , B41J2/1646 , H01L41/1878 , H01L41/318 , B41J2002/14241 , B41J2002/14258 , B41J2002/14419
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公开(公告)号：JP6922326B2
公开(公告)日：2021-08-18
申请号：JP2017063761
申请日：2017-03-28
Applicant: セイコーエプソン株式会社
IPC: H01L41/09 , H01L41/113 , H01L41/29 , H01L41/319 , B41J2/14 , H01L21/316 , H04R17/00 , H01L41/187
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