記録媒体用の原盤の製造方法及びスタンパの製造方法
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    发明申请
    記録媒体用の原盤の製造方法及びスタンパの製造方法 审中-公开
    用于制造用于记录介质的原始磁盘的方法和冲压器制造方法

    公开(公告)号:WO2003023775A1

    公开(公告)日:2003-03-20

    申请号:PCT/JP2002/008942

    申请日:2002-09-03

    CPC classification number: G11B7/261 G11B7/263

    Abstract: A method for manufacturing an original disk used for manufacturing an optical disk. Uneven pattern is formed on a photoresist layer by exposing and developing the photoresist layer provided on a substrate, the photoresist layer with the uneven pattern formed thereon is irradiated with ultraviolet rays, and then, irradiated with infrared rays after irradiation of ultraviolet rays on the photoresist layer.

    Abstract translation: 一种用于制造用于制造光盘的原盘的方法。 通过曝光和显影设置在基板上的光致抗蚀剂层,在光致抗蚀剂层上形成不均匀图案,在其上形成有不均匀图案的光致抗蚀剂层用紫外线照射,然后在紫外线照射后在光致抗蚀剂上照射红外线 层。

    検出光学系、検出装置、フローサイトメータ及びイメージングサイトメータ

    公开(公告)号:JP2021076451A

    公开(公告)日:2021-05-20

    申请号:JP2019202585

    申请日:2019-11-07

    Abstract: 【課題】被検物から対物レンズまでの光路で発生する球面収差を補正する。 【解決手段】検出光学系は、光源によって照らされる被検物からの光の光路に沿って、被検物側から順に配置される、対物レンズと、第1リレーレンズと、第2リレーレンズと、結像レンズと、を備える。第1リレーレンズと第2リレーレンズとの間の光路上には一次結像面が設けられる。第2リレーレンズと結像レンズとの間に位置する、対物レンズの瞳位置と略共役となる位置には、球面収差を補正する非球面補正板が配置される。 【選択図】図2

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