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公开(公告)号：JP2021099330A
公开(公告)日：2021-07-01
申请号：JP2020209541
申请日：2020-12-17
Applicant: 国立大学法人北陸先端科学技術大学院大学 , 三菱マテリアル株式会社
IPC: G01N33/53 , G01N33/483 , G01N33/552 , G01N27/414
Abstract: 【課題】高感度で検出限界値が低く、検出の高安定性を実現し、更には低コストで迅速且つ簡便に生体物質の検出を行うことができるトランジスタセンサを提供する。 【解決手段】基板と、前記基板の一方の面の上に設けられたチャネル層と、前記基板と前記チャネル層の間又は前記チャネル層の前記基板側と反対側の面の上に設けられた固体電解質層と、を有し、前記チャネル層は無機半導体を含み、前記固体電解質層は無機固体電解質を含み、前記チャネル層及び前記固体電解質層のうちいずれか一方又はその双方の少なくとも一部が外部に露出している露出部を備える、トランジスタセンサ。 【選択図】図1
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公开(公告)号：JP2020165769A
公开(公告)日：2020-10-08
申请号：JP2019065760
申请日：2019-03-29
Applicant: 三菱マテリアル株式会社
IPC: G01J1/02
Abstract: 【課題】 MEMS構造を採用しても下方からの赤外線の入射を防止でき、感度の向上を図ることができる赤外線センサを提供すること。 【解決手段】 空洞部2aを内側に有した枠状のフレーム部2と、フレーム部上から空洞部上にわたって形成された絶縁性支持膜3と、空洞部直上の絶縁性支持膜上に設けられ第1の感熱素子4Aと、感熱素子の上に形成された第1の絶縁性保護膜5Aと、感熱素子と絶縁性支持膜との間に形成された第1の下部赤外線反射膜16Aとを備えている。 【選択図】図1
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公开(公告)号：JP2020148469A
公开(公告)日：2020-09-17
申请号：JP2019043370
申请日：2019-03-11
Applicant: 三菱マテリアル株式会社
IPC: G01J1/02
Abstract: 【課題】 熱バランスの収束を早め、熱応答性を向上させることができる赤外線センサを提供すること。 【解決手段】 絶縁性フィルム2と、第1〜第3の感熱素子3A,3B,3Cと、接続配線4と、第1〜第4の端子電極5A〜5Dと、第1の受光領域及び第2の受光領域と、第2の感熱素子の直上を覆う赤外線遮蔽部とを備え、第1の感熱素子,第2の感熱素子,第3の感熱素子の順に並んで配され、接続配線が、第1の感熱素子と第1の端子電極とを接続する第1の配線部8Aと、第1の感熱素子と第2の端子電極とを接続する第2の配線部8Bと、第2の感熱素子と第3の端子電極とを接続する第3の配線部8Cと、第3の感熱素子と第4の端子電極とを接続する第4の配線部8Dと、第1の感熱素子と第2の感熱素子とを接続する第5の配線部8Eと、第3の感熱素子と第2の感熱素子とを接続する第6の配線部8Fとを備えている。 【選択図】図1
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公开(公告)号：JP2019168347A
公开(公告)日：2019-10-03
申请号：JP2018056652
申请日：2018-03-23
Applicant: 三菱マテリアル株式会社
Abstract: 【課題】 ベース部材からの熱放射による感熱素子の温度変化を抑制し、感度及び精度を向上させることができる赤外線センサ装置を提供すること。 【解決手段】 赤外線センサ本体1と、赤外線センサ本体を上部に搭載したベース部材11とを備え、赤外線センサ本体が、絶縁性基板2と、絶縁性基板に設けられた検出用感熱素子3A及び補償用感熱素子3Bと、絶縁性基板に設けられ検出用感熱素子に接続された一対の検出側配線及び補償用感熱素子に接続された一対の補償側配線とを備え、ベース部材が、上部に溝部12dを有し、溝部が、ベース部材の一方の側面から検出用感熱素子の直下と補償用感熱素子の直下とを介してベース部材の他方の側面まで貫通して延在している。 【選択図】図3
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公开(公告)号：JP2016051816A
公开(公告)日：2016-04-11
申请号：JP2014176326
申请日：2014-08-29
Applicant: 三菱マテリアル株式会社
Abstract: 【課題】 薄膜サーミスタ部を上面側に配したまま表面実装が可能であると共に、上下面いずれの面でも表面実装が可能な温度センサ及びその製造方法を提供すること。 【解決手段】 絶縁性フィルム2と、絶縁性フィルムの上面にサーミスタ材料でパターン形成された薄膜サーミスタ部3と、薄膜サーミスタ部の上及び下の少なくとも一方に複数の櫛部4aを有して互いに対向してパターン形成された一対の櫛型電極4と、一端が一対の櫛型電極に接続されていると共に絶縁性フィルムにパターン形成された一対のパターン電極5とを備え、一対のパターン電極が、絶縁性フィルムの端部まで延在して形成され、絶縁性フィルムの端部が、下面側に折り重ねられている。 【選択図】図1
Abstract translation: 要解决的问题：提供一种温度传感器，其可以表面安装有保持设置在顶面侧的膜热敏电阻部分，并且可以表面安装在顶面和底面中的任何一个; 以及制造这种温度传感器的方法。解决方案：温度传感器包括：绝缘膜2; 在热敏电阻材料的绝缘膜的顶面上形成图形化的薄膜热敏电阻部3; 通过图案化至少在薄膜热敏电阻部分的顶部或底部上形成具有彼此相对的果胶部分4a形成的一对果胶型电极4; 以及通过图案化形成在绝缘膜上并且一端连接到一对果胶型电极的一对图形电极5。 一对图案电极形成为延伸到绝缘膜的端部; 并且绝缘膜的端部折回到其底面侧。选择图：图1
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公开(公告)号：JP2020153667A
公开(公告)日：2020-09-24
申请号：JP2019049359
申请日：2019-03-18
Applicant: 三菱マテリアル株式会社
Abstract: 【課題】 簡易な工程かつ低コストで製造可能な導光路部材及びその製造方法を提供すること。 【解決手段】 感熱部である第1のセンサ部及び第2のセンサ部とを備えた赤外線センサ用の導光路部材1であって、第1のセンサ部及び第2のセンサ部の上方に開口部を有して第1のセンサ部及び第2のセンサ部の感熱面の周囲を覆う筒状に構成され、第1のセンサ部の感熱面と第2のセンサ部の感熱面との間の上方に設けられる仕切り板部4と、仕切り板部と共に第1のセンサ部の感熱面を囲む平面視コ字状の第1側壁部5Aと、仕切り板部と共に第2のセンサ部の感熱面を囲む平面視コ字状の第2側壁部5Bとを備え、仕切り板部と第1側壁部と第2側壁部とが、1枚の帯状の金属板を折り曲げて構成されている。 【選択図】図1
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公开(公告)号：JP2020067348A
公开(公告)日：2020-04-30
申请号：JP2018199681
申请日：2018-10-24
Applicant: 三菱マテリアル株式会社
Abstract: 【課題】 導光路部材内の検出用感熱素子と補償用感熱素子との温度差をつき易くして、感度を向上させることが可能な赤外線センサを提供すること。 【解決手段】 実装基板21と、実装基板に設けられた赤外線センサ本体1と、実装基板上に設置され赤外線センサ本体の上方に開口部22bを有した導光路部材22とを備え、赤外線センサ本体が、絶縁性基板と、絶縁性基板に設けられた検出用感熱素子及び補償用感熱素子と、絶縁性基板の上面に設けられた赤外線遮蔽部5と、絶縁性基板上の赤外線の受光領域6とを備え、導光路部材が、長方形状の開口部を有した角筒状であり、受光領域が導光路部材の中央に配されていると共に、赤外線遮蔽部が開口部の長辺方向で一方の側に配され、実装基板の上面が、導光路部材内において開口部の長辺方向で一方の側よりも他方の側に広く露出している。 【選択図】図1
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