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公开(公告)号:JP2015152347A
公开(公告)日:2015-08-24
申请号:JP2014024326
申请日:2014-02-12
Applicant: 住友電気工業株式会社
IPC: G01N21/359 , G01J3/42
CPC classification number: G01J3/08 , G01J3/0232 , G01J3/42 , G01N21/276 , G01N21/31
Abstract: 【課題】装置が複雑化し難く、測定精度を向上できる分光分析装置および分光分析方法を提供する。 【解決手段】測定光Lを出射する広帯域光源1と、試料光束Lsが試料Sに入射されることにより試料Sから出射される試料出射光束Ls´および参照光束Lrを受光し、試料光光量スペクトルおよび参照光光量スペクトルを検出する光センサ7と、検出光を選択して光センサ7に受光させるセクタ鏡2と、試料光光量スペクトルを検出する前後において第1参照光光量スペクトルおよび第2参照光光量スペクトルを検出し、試料光光量スペクトルの検出時に試料Sに入射された試料光束Lsの推定光量に応じた推定光量スペクトルを第1参照光光量スペクトルおよび第2参照光光量スペクトルから算出し、試料光光量スペクトルおよび推定光量スペクトルから試料Sによる吸光度スペクトルを求める吸光演算部8と、を備える。 【選択図】図1
Abstract translation: 要解决的问题:提供一种难以使设备复杂化并且能够提高测量精度的光谱分析仪和光谱分析方法。解决方案:光谱分析仪包括:发射测量光L的宽带光源1; 光学传感器7,其接收由于样品S上的采样光束Ls的入射而从样本S发射的样本发射光束Ls'和参考光束Lr,以检测采样光量光谱和参考光量光谱; 选择检测光以使光学传感器7接收检测光的扇形镜2; 以及光检测光检测前后的第一基准光量光谱和第二基准光量光谱的光吸收运算部8,计算与样本光束Ls的估计光量对应的估计光量光谱 从第一基准光量光谱和第二参考光量光谱检测出样本光量,并从样本光量光谱和估计光量获得样品S的吸收光谱, 光谱。
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公开(公告)号:JP2016080429A
公开(公告)日:2016-05-16
申请号:JP2014209746
申请日:2014-10-14
Applicant: 住友電気工業株式会社
IPC: G01J3/40 , G01N21/359
CPC classification number: G01J3/50 , G01N21/359
Abstract: 【課題】高精度の分析を行うことが可能な分光測定装置を提供する。 【解決手段】分光測定装置100では、測定対象物3の同じ単位領域の撮像を複数回(2回以上)行うと共に、測定対象物3のスペクトルデータとして、測定対象物3を撮像した単位領域のそれぞれで得られた複数回のスペクトルデータを積算して平均化することで、算出することを特徴とする。複数の単位領域において複数回取得されたスペクトルデータを平均化して測定物のスペクトルデータを算出する構成とすることで、S/Nが改善され、より高精度の分析を行うことができる。 【選択図】図1
Abstract translation: 要解决的问题:提供能够进行高精度分析的光谱测量装置。解决方案:在光谱测量装置100中,多次(两次或更多次)执行测量对象3的相同单位面积的成像, 并且作为测量对象3的光谱数据,对在测量对象3成像的每个单位区域中获得的多次光谱数据进行积分并平均,从而计算测量对象的光谱数据。 通过具有将多个单位区域中多次获得的频谱数据平均化以便计算测量对象的频谱数据的配置,改善S / N并且可以执行更高精度的分析。图示:图 1
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