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公开(公告)号:JP6095613B2
公开(公告)日:2017-03-15
申请号:JP2014142208
申请日:2014-07-10
Applicant: 信越化学工業株式会社
IPC: C01B33/107
CPC classification number: C01B33/10794 , B01D3/14 , C01B33/107 , C01B33/1071 , C01B33/10789
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2.シラン化合物またはクロロシラン化合物の精製方法、多結晶シリコンの製造方法、および、弱塩基性イオン交換樹脂の再生処理方法 有权
Title translation: 硅烷化合物的纯化方法或氯硅烷化合物,用于制造结晶硅多方法和过程的弱碱性离子交换树脂的再生公开(公告)号:JP5886234B2
公开(公告)日:2016-03-16
申请号:JP2013083307
申请日:2013-04-11
Applicant: 信越化学工業株式会社
IPC: B01J20/26 , B01J20/34 , C01B33/107
CPC classification number: B01J41/046 , B01J41/07 , B01J41/09 , B01J49/57 , C01B33/046 , C01B33/1071 , C01B33/10778 , C01B33/10784
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公开(公告)号:JP2016017023A
公开(公告)日:2016-02-01
申请号:JP2014142208
申请日:2014-07-10
Applicant: 信越化学工業株式会社
IPC: C01B33/107
CPC classification number: C01B33/107
Abstract: 【課題】クロロシランの精製において、低コストで且つ高効率にボロン不純物および金属不純物を分離除去するための、新たな技術を提供すること。 【解決手段】先ず、クロロシラン中にシラノールおよびシロキサン化合物の少なくとも一方を生成させる(S101)。この工程では、例えば、0.5〜2.5ppmの水分濃度の不活性ガスをクロロシランに接液させて水分を溶け込ませ、該クロロシランの一部の加水反応によりシラノールおよびシロキサン化合物の少なくとも一方を生成させる。次に、クロロシランに含まれるボロン含有化合物とシラノール若しくはシロキサン化合物を反応させて、ボロン含有化合物をボロン酸化物とする(S102)。この工程(S102)により、低沸点化合物であるボロン含有化合物が高沸点化合物であるボロン酸化物となり、クロロシランとの沸点差が大きくなり、後の分離が容易なものとなる。 【選択図】図1
Abstract translation: 要解决的问题:提供一种用于在氯代硅烷纯化中以低成本有效地分离除去硼杂质和金属杂质的新技术。解决方案:首先,在氯硅烷中产生至少一种硅烷醇和硅氧烷化合物(S101 )。 在该方法中,通过将具有例如0.5-2.5ppm的水分浓度的惰性气体与氯代硅烷液体接触以溶解水分而制备硅烷醇和硅氧烷化合物中的至少一种。 接着,使氯硅烷中含有的含硼化合物与硅烷醇或硅氧烷化合物反应,将含硼化合物转化为氧化硼(S102)。 通过该方法(S102),将具有低沸点的含硼化合物转化为具有高沸点的氧化硼,使得氧化硼和氯代硅烷之间的沸点差增加,以促进硼的分离 氧化后。选择图:图1
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