紫外線LED用石英ガラス部材の製造方法

    公开(公告)号:JP2018002548A

    公开(公告)日:2018-01-11

    申请号:JP2016131887

    申请日:2016-07-01

    Abstract: 【課題】酸素欠乏欠陥の修復を行い、波長約250nmの光吸収が改善され、波長200nmから400nmにおいて構造欠陥による吸収のない紫外線LED用石英ガラス部材の製造方法を提供する。 【解決手段】シリカ粉とバインダー成分を混合し、成形して所定形状の成形体を得る成形工程、前記成形体を各種ガスにより加熱処理を行う熱処理工程、及び前記熱処理工程後、熱処理された成形体を透明ガラス化するガラス化工程、を含む紫外線LED用石英ガラス部材の製造方法であって、前記熱処理工程が、酸素を含む雰囲気による1,000℃以下での有機物の脱脂工程、前記脱脂工程後、塩化水素を含む雰囲気による1,200℃以下での金属不純物の純化工程、及び前記純化工程後、酸化性雰囲気による1,150℃以下での波長約250nmの酸素欠乏欠陥の修復を促す工程、であるようにした。 【選択図】図1

    ガラスクロス光反射体を含む構造体

    公开(公告)号:JP6680939B1

    公开(公告)日:2020-04-15

    申请号:JP2019177490

    申请日:2019-09-27

    Abstract: 【課題】紫外線ランプや半導体製造装置に用いられる光の反射体に好適な、広範囲な波長領域において反射効率が良好でかつ再利用可能なガラスクロス光反射体を含む構造体を提供する。 【解決手段】Eガラス、Sガラス、Tガラス、UTガラス、Dガラス、Lガラス、NEガラス及びシリカガラスからなる群から選択される1種以上のガラスフィラメントを複数本束ね、撚糸したガラスヤーンを製織されてなるガラスクロスからなるガラスクロス光反射体と、反射面を構成するガラス体と、を含む構造体であって、前記ガラスクロス光反射体は、前記反射面を構成するガラス体に、所望の反射率を得られる層数で着脱可能に固定して用いられる、構造体であるようにした。 【選択図】図1

    ガラスクロス光反射体を含む構造体

    公开(公告)号:JP2020073970A

    公开(公告)日:2020-05-14

    申请号:JP2019177490

    申请日:2019-09-27

    Abstract: 【課題】紫外線ランプや半導体製造装置に用いられる光の反射体に好適な、広範囲な波長領域において反射効率が良好でかつ再利用可能なガラスクロス光反射体を含む構造体を提供する。 【解決手段】Eガラス、Sガラス、Tガラス、UTガラス、Dガラス、Lガラス、NEガラス及びシリカガラスからなる群から選択される1種以上のガラスフィラメントを複数本束ね、撚糸したガラスヤーンを製織されてなるガラスクロスからなるガラスクロス光反射体と、反射面を構成するガラス体と、を含む構造体であって、前記ガラスクロス光反射体は、前記反射面を構成するガラス体に、所望の反射率を得られる層数で着脱可能に固定して用いられる、構造体であるようにした。 【選択図】図1

    ガラスクロス光反射体
    9.
    发明专利

    公开(公告)号:JP2019011525A

    公开(公告)日:2019-01-24

    申请号:JP2017127784

    申请日:2017-06-29

    Abstract: 【課題】紫外線ランプや半導体製造装置に用いられる光の反射体に好適な、広範囲な波長領域において反射効率が良好でかつ再利用可能なガラスクロス光反射体を提供する。 【解決手段】Eガラス、Sガラス、Tガラス、UTガラス、Dガラス、Lガラス、NEガラス及びシリカガラスからなる群から選択される1種以上のガラスフィラメントを複数本束ね、撚糸したガラスヤーンを製織されてなるガラスクロスからなるガラスクロス光反射体であるようにした。 【選択図】図1

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