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公开(公告)号：JP2019191420A
公开(公告)日：2019-10-31
申请号：JP2018085662
申请日：2018-04-26
Applicant: 大塚電子株式会社
IPC: G02B21/00
Abstract: 【課題】多焦点かつ共焦点の構成において、試料からの光の受光位置の精度を向上させる。 【解決手段】共焦点光学系測定装置は、光源と、投光ファイバ群と、受光ファイバ群と、分光器と、前記複数の投光ファイバからの複数の光束をそれぞれ集光して試料に照射し、前記試料における複数の集光点からの複数の光束を前記複数の受光ファイバにそれぞれ結像するための共焦点光学系とを備え、前記投光ファイバ群は、前記光源からの光を受ける複数の投光ファイバを含み、前記受光ファイバ群は、受けた光を前記分光器へ導くための複数の受光ファイバを含み、前記投光ファイバ群の端面の形状および前記受光ファイバ群の端面の形状が鏡面対称であり、前記投光ファイバ群および前記受光ファイバ群において、前記投光ファイバの端面の形状および対応の前記受光ファイバの端面の形状が鏡面対称である。 【選択図】図10
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公开(公告)号：JP2020038226A
公开(公告)日：2020-03-12
申请号：JP2019217885
申请日：2019-12-02
Applicant: 大塚電子株式会社
Abstract: 【課題】比較的短い時間でセットアップでき、かつ、検出感度をより高めることのできる光学特性測定システムを提供する。 【解決手段】第1の測定装置100は、筐体102内に配置された第1の検出素子108と、第1の検出素子に少なくとも部分的に接合し、検出素子を冷却する第1の冷却手段110、111、112、114と、筐体内の検出素子の周囲に生じる温度変化を抑制する抑制手段130、132、136、120とを含む。 【選択図】図4
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公开(公告)号：JP2019158892A
公开(公告)日：2019-09-19
申请号：JP2019096215
申请日：2019-05-22
Applicant: 大塚電子株式会社
Abstract: 【課題】比較的短い時間でセットアップでき、かつ、検出感度をより高めることのできる光学特性測定システムが提供される。第1の測定装置と、第1の測定装置より検出感度が低くなるように構成されている第2の測定装置とを含む光学特性測定システムの校正方法が提供される。 【解決手段】ある実施の形態に従えば、第1の測定装置を備える光学特性測定システムが提供される。第1の測定装置は、筐体内に配置された第1の検出素子と、第1の検出素子に少なくとも部分的に接合し、検出素子を冷却する第1の冷却手段と、筐体内の検出素子の周囲に生じる温度変化を抑制する抑制手段とを含む。 【選択図】図4
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：JP2017020792A
公开(公告)日：2017-01-26
申请号：JP2015136036
申请日：2015-07-07
Applicant: 大塚電子株式会社
CPC classification number: G01N21/64 , G01N2201/0826 , G01N2201/0833 , G01N2201/1211
Abstract: 【課題】比較的短い時間でセットアップでき、かつ、検出感度をより高めることのできる光学特性測定システムが提供される。第1の測定装置と、第1の測定装置より検出感度が低くなるように構成されている第2の測定装置とを含む光学特性測定システムの校正方法が提供される。 【解決手段】ある実施の形態に従えば、第1の測定装置を備える光学特性測定システムが提供される。第1の測定装置は、筐体内に配置された第1の検出素子と、第1の検出素子に少なくとも部分的に接合し、検出素子を冷却する第1の冷却手段と、筐体内の検出素子の周囲に生じる温度変化を抑制する抑制手段とを含む。 【選択図】図4
Abstract translation: 甲它可以在相对短的时间内建立，并且提供一种能够提高检测灵敏度的光学特性测量系统。 比所述第一测量装置的光学特性测量系统的灵敏度和第二测量装置的第一测量装置，校准方法被配置为低处。 根据一个实施方式，提供了包括第一测量装置的光学特性测量系统。 第一测量装置包括设置在所述壳体中的第一检测元件，至少部分地结合到所述第一检测元件，第一冷却装置，用于冷却所述检测器元件，所述检测装置的壳体 的以及抑制装置，用于抑制在周围发生的温度变化。 点域4
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公开(公告)号：JP2021067611A
公开(公告)日：2021-04-30
申请号：JP2019194654
申请日：2019-10-25
Applicant: 大塚電子株式会社
Abstract: 【課題】測定波長範囲が狭く、測定波長範囲に十分な数の基準輝線を含めることができない場合でも波長校正が可能な新たな手法を提供する。 【解決手段】光学測定装置は、測定光を発生する光源と回折格子により波長分離された光を受光する、整列配置された複数の受光素子からなる受光器と標準試料の既知の厚み、屈折率および消衰係数に基づいて数学的に算出される、標準試料の反射率または透過率の理論干渉スペクトル取得手段と、測定光を標準試料に照射して生じる反射光または透過光を回折格子を介して受光器で受光することで生成される反射率または透過率の実測干渉スペクトル取得手段と、理論干渉スペクトルと実測干渉スペクトルとの波長の対応付け情報取得手段と、複数の受光素子の波長値を規定する波長校正式を実測干渉スペクトルに適用した結果が理論干渉スペクトルと一致するように対応付け情報を参照して、波長校正式を決定する波長校正手段とを含む。 【選択図】図6
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公开(公告)号：JP5938155B1
公开(公告)日：2016-06-22
申请号：JP2016515156
申请日：2015-04-24
Applicant: 大塚電子株式会社
Inventor： 水口 勉
IPC: G01N21/27
CPC classification number: G01N21/27
Abstract: 光学測定装置の制御部は、回転体の回転速度が規定値となるように制御された状態で、光源で発生させた一定強度の光を、回転体の回転に伴ってサンプルが通過する領域である照射領域に照射するとともに、当該照射した光の反射光または透過光を第2の検出部で受光することで出力される強度の時間的変化に基づいて第1のタイミング情報を取得する。制御部は、回転体の回転速度が規定値となるように制御された状態で、第1のタイミング情報に従って光源で周期的に発生させたパルス状の光を、照射領域に照射するとともに、第1のタイミング情報に従って第1の検出部の測定を周期的に有効化することで出力される結果に基づいて第2のタイミング情報を取得する。
Abstract translation: 在旋转体的旋转速度被控制为预定值的光学测量装置，在一个状态的控制单元，它是由光源产生的恒定强度的光，在一个区域中与所述旋转体的旋转的样品通过 照射一定的照射区域时，其获得由接收反射光或透射光的光与所述第二检测器的照射基于所述强度输出的时间变化的第一定时信息。 控制单元，在所述旋转体的旋转速度被控制为预定值的状态下，根据所述第一定时信息生成的周期性脉冲光，并且光源照射的照射区域，所述 获得由基于所述结果输出的第二定时信息定期地使按照定时信息中的一个第一检测器的测量。
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