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公开(公告)号：WO2008032543A1
公开(公告)日：2008-03-20
申请号：PCT/JP2007/066425
申请日：2007-08-24
CPC classification number: H03H9/173 , H03H3/02 , H03H9/02086 , H03H9/02149 , H03H9/132 , H03H9/174 , H03H2003/021
Abstract: 反共振周波数におけるインピーダンスの低下が抑制され高いＱ値を有する薄膜圧電共振器は、半導体基板（８）と、その表面上に半導体基板（８）に接するように形成された絶縁層（６）と、その上方に形成され絶縁層側から順に下部電極（１０）と圧電層（２）と上部電極（１２）とを有する圧電共振器スタック（１４）とを有する。圧電共振器スタック１４の下部電極１０と上部電極１２とが厚み方向で重なる振動領域に対応して振動空間４が形成されている。絶縁層（６）中の固定電荷密度は１×１０ １１ ｃｍ －２ 以下である。薄膜圧電共振器を製造する際には、半導体基板に接して絶縁層を形成した後、非酸化性ガス雰囲気下、３００°C以上の熱処理をする。
Abstract translation: 薄膜压电谐振器抑制反谐振频率下的阻抗恶化并具有高Q值。 薄膜压电谐振器设置有半导体衬底（8）; 形成在与所述表面接触的所述半导体基板（8）的表面上的绝缘层（6） 以及通过从绝缘层侧依次具有下电极（10），压电层（2）和上电极（12）而形成在绝缘层上方的压电谐振器叠层（14）。 对应于压电谐振器叠层（14）的下电极（10）和上电极（12）在厚度方向上彼此重叠的振荡区域形成振荡空间（4）。 绝缘层（6）中的固定电荷密度为1×10 11 cm -2以下。 在制造薄膜压电谐振器时，绝缘层形成为与半导体衬底接触，然后在非氧化气体气氛下进行300℃以上的热处理。
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公开(公告)号：WO2009025266A1
公开(公告)日：2009-02-26
申请号：PCT/JP2008/064732
申请日：2008-08-19
CPC classification number: H03H9/132 , H01L41/316 , H01L41/332 , H03H9/173 , H03H9/174
Abstract: 圧電層２と上部電極１０及び下部電極８とを有する圧電共振器スタック１２と、その下に形成された空隙部４と、それを形成するように圧電共振器スタック１２を支持する基板６とを含む。圧電共振器スタック１２は、上部電極１０と下部電極８とが厚み方向に見て互いに重なる振動領域と、基板６に接する支持領域と、振動領域と支持領域との間の緩衝領域とを有する。振動領域は厚み方向に見て空隙部４の内側に存在する。下部電極８は、支持領域内においてそれと緩衝領域との境界に沿って延びる支持部分を有する。下部電極支持部分の幅ｗ１と振動領域の圧電共振器スタック１２の厚みｔとが０．２５≦ｗ１／ｔ≦１０の関係を満たし、緩衝領域の幅ｗ２と圧電共振器スタックの厚みｔとが０．２５≦ｗ２／ｔ≦２の関係を満たす。
Abstract translation: 提供一种薄膜压电谐振器，其包括具有压电层（2），上电极（10）和下电极（8）的压电谐振器叠层（12）。 还包括形成在压电谐振器叠层（12）下方的空腔部分（4）和支撑用于形成空腔部分的压电谐振器叠层（12）的衬底（6）。 压电谐振器堆叠（12）包括其中上电极（10）和下电极（8）在厚度方向上彼此重叠的振动区域，与基板（6）接触的支撑区域和 振动区域和支撑区域。 从厚度方向看，振动区域存在于空腔部分（4）的内侧。 下电极（8）具有沿着支撑区域和吸收区域之间的边界在支撑区域中延伸的支撑部分。 下部电极支撑部的宽度（w1）和振动区域的压电谐振器叠层（12）的厚度（t）满足0.25 = w1 / t = 10的关系，吸收区域的宽度（w2） 并且压电谐振器叠层的厚度（t）满足0.25 = w2 / t = 2的关系。
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公开(公告)号：WO2008088010A1
公开(公告)日：2008-07-24
申请号：PCT/JP2008/050519
申请日：2008-01-17
Abstract: 圧電層２と上部電極１０及び下部電極８とを有する圧電共振スタック１２と、それを支持する基板６とを含んでなる薄膜圧電共振器。圧電共振スタック１２は、上部電極１０と下部電極８とが圧電層２を介して互いに対向し且つ１次厚み縦振動が可能な振動領域１８と、基板６により支持される支持領域１９とを有する。振動領域１８は、長径ａと短径ｂとの比ａ／ｂが１.１以上且つ１．７以下の楕円形状をなしている。圧電共振スタック１２は、更に上部電極１０上に形成された上部誘電体層２０を有する。振動領域１８における上部電極１０の厚みおよび上部誘電体層２０の厚みの合計ｃと振動領域１８における圧電層２の厚みｄとの比ｃ／ｄが０．２５以上０．４５以下である。
Abstract translation: 提供一种薄膜压电谐振器，其包括具有压电层（2），上电极（10）和下电极（8）的压电谐振器叠层（12）。 以及支撑压电谐振器叠层的衬底（6）。 压电谐振器叠层（12）设置有振动区域（18），其中上电极（10）和下电极（8）通过压电层（2）彼此面对，并且可以执行初级厚度垂直振动; 以及由所述基板（6）支撑的支撑区域（19）。 振动区域（18）具有比率a / b为1.1以上但不超过1.7的椭圆形状，其中（a）为长径，（b）为短径。 压电谐振器堆叠（12）还设置有形成在上电极（10）上的上电介质层（20）。 当振动区域（18）中的上电极（10）和上电介质层（20）的厚度的总和表示为（c）时，压电层（2）的振动厚度 区域（18）表示为（d），比率c / d为0.25以上且不大于0.45。
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公开(公告)号：JP2015178579A
公开(公告)日：2015-10-08
申请号：JP2014057374
申请日：2014-03-20
Applicant: 宇部興産株式会社
Abstract: 【課題】緑色発光する酸窒化物蛍光体について、紫色から青色の励起光による励起が可能であり、緑色を発光する酸窒化物蛍光体を提供すること、特に、従来の発光波長よりも短波長の緑色発光を示すTbを賦活された酸窒化物蛍光体粉末を提供する。 【解決手段】本発明は、組成式: Ca x1 Tb x2 Ce x3 Si 12−(y+z) Al (y+z) O z N 16−z (ただし、式中、0.0
【選択図】図1Abstract translation: 要解决的问题：为了提供发出绿光的氧氮化物荧光体，能够通过紫色至蓝色的激发光激发并发出绿光的氧氮化物荧光体，特别提供由Tb激发的氧氮化物荧光体粉末，显示较短的绿色发光 波长比常规发光波长。解决方案：本发明涉及由组成式：CaTbCeSiAlON（其中0.0
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公开(公告)号：JPWO2017030030A1
公开(公告)日：2018-05-31
申请号：JP2017535492
申请日：2016-08-08
Applicant: 宇部興産株式会社
Abstract: 下記式(1)の組成で表される結晶相を含む蛍光体であって、さらに、ホウ素を100〜2500ppm含有することを特徴とする蛍光体である。SraM1bAlcSidNeOf:Eux1Cey1・・・(1)(ここで、M1はCa,Ba及びMgからなる群より選ばれる1種以上の金属元素であり、2≦a≦8、0≦b≦3、2≦c≦7、10≦d≦25、15≦e≦37、0≦f≦3、0
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公开(公告)号：JP2017186459A
公开(公告)日：2017-10-12
申请号：JP2016076646
申请日：2016-04-06
Applicant: 宇部興産株式会社
Abstract: 【課題】 蛍光ピーク波長が630〜660nmの広い発光ピーク波長において、実用に値する高効率な窒化物蛍光体を提供する。 【解決手段】 Liを含有し、Li含有量が30ppm以下であり、一般式M 1−x Eu x AlSi 4 N 7 (MはCa、Sr、Baから選択される少なくとも一種の元素であり、0
5.6Al
1.4 O
0.4 N
9.6 型結晶と同一構造の酸窒化物結晶層が存在する窒化物蛍光体。
【選択図】 図1
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