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公开(公告)号：JP6402726B2
公开(公告)日：2018-10-10
申请号：JP2015562816
申请日：2015-02-09
Applicant: 宇部興産株式会社
IPC: C01B33/02 , C01B33/021 , C01B21/068
CPC classification number: C01B21/068 , B22C3/00 , B22C9/02 , B22C9/061 , B22D7/005 , C01B21/0685 , C01P2002/02 , C01P2004/04 , C01P2006/12 , C01P2006/80 , C09D1/00 , C10M103/00 , C10M2201/1006 , C10N2240/58 , C10N2270/00
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公开(公告)号：JPWO2020090832A1
公开(公告)日：2021-09-16
申请号：JP2019042413
申请日：2019-10-29
Applicant: 宇部興産株式会社
IPC: H05K1/03 , C04B35/593
Abstract: 窒化ケイ素粉末および焼結助剤を含む複数枚のグリーンシートをそれらの間に分離材を介在させて積層し、焼結した後に、分離することによって複数枚の窒化ケイ素焼結体を得て、窒化ケイ素焼結体から窒化ケイ素基板を得る、窒化ケイ素基板の製造方法であって、分離材が窒化ケイ素粉を含むことを特徴とする。得られる窒化ケイ素基板は表面に窒化ホウ素粉を含まないので、銅と接合した際のヒートサイクル性に優れる。分離材は、BET法により測定される比表面積が1m 2 /g以上20m 2 /g以下であり、レーザ回折散乱法により測定される体積基準の50%粒子径D50が20μm以下であり、かつ、酸素量が0.3重量%以上2重量%未満であり、分離材を0.1mg/cm 2 以上3mg/cm 2 以下の塗布量でグリーンシート表面に塗布することで、熱伝導率が室温において80W/(m・K)以上であり、4点曲げ強度が室温において800MPa以上である窒化ケイ素基板を得ることができる。
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公开(公告)号：JP5862765B2
公开(公告)日：2016-02-16
申请号：JP2014507881
申请日：2013-03-25
Applicant: 宇部興産株式会社
IPC: C01B21/068
CPC classification number: C01B21/0687 , C01B21/068 , C04B35/5935 , C01P2006/12 , C01P2006/80 , C04B2235/3206 , C04B2235/3225 , C04B2235/5409 , C04B2235/723 , C04B2235/77 , C04B2235/96 , Y10T428/2982
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公开(公告)号：JPWO2019235593A1
公开(公告)日：2021-02-12
申请号：JP2019022621
申请日：2019-06-06
Applicant: 宇部興産株式会社
IPC: H05K1/03 , C04B35/587
Abstract: 焼結時の雰囲気圧力をより低くできた上で、高い熱伝導率と優れた機械的特性を併せ持つ板状の窒化ケイ素質焼結体を提供することを目的とする。 焼結助剤として、アルカリ土類金属酸化物と希土類金属酸化物との重量比が0.40≦アルカリ土類金属酸化物/希土類金属酸化物≦2.0を満足するような配合比で、アルカリ土類金属酸化物および希土類金属酸化物を3.2〜7.0wt%添加し、シート成形プロセスにより作製された板状の成形体を雰囲気ガス圧力3MPa以下で焼結することによって得られた板状の窒化ケイ素質焼結体であって、焼結体としての実測アルカリ土類金属含有量と実測希土類金属含有量の比率が0.26≦実測アルカリ土類金属含有量/実測希土類金属含有量≦1.30であり、実測アルミニウム含有量が50ppm未満であり、実測酸素含有量が1.4重量%以上2.9重量%以下であり、相対密度が98%以上であり、Raが0.05μm以上0.5μm以下に研磨された表面のβ型窒化ケイ素の(101)面の回折強度と(210)面の回折強度I(210)の比が0.62以上0.95以下であって、窒化ケイ素質焼結体のβ型窒化ケイ素粒子のうち、長軸の長さが10μmを超えるものが、1mm 2 当たりに500個以上10000個以下であることを特徴とする板状の窒化ケイ素質焼結体を提供する。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：JP6354367B2
公开(公告)日：2018-07-11
申请号：JP2014123342
申请日：2014-06-16
Applicant: 宇部興産株式会社
IPC: C01B21/087 , C01B33/02 , B22C3/00 , B22C9/06 , C01B21/068
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7.发明专利多結晶シリコンインゴット鋳造用鋳型の離型剤用窒化珪素粉末およびその製造法、その窒化珪素粉末を含有したスラリー、多結晶シリコンインゴット鋳造用鋳型およびその製造方法、ならびにその鋳型を用いた多結晶シリコンインゴット鋳の製造方法 有权脱模剂用于使用所述模具内的氮化硅粉末及其制造多晶硅锭铸模，将含有氮化硅粉末，多晶硅铸锭铸造模具及其制造相同的方法淤浆法，和多晶硅 铸锭的制造方法
公开(公告)号：JP5975176B2
公开(公告)日：2016-08-23
申请号：JP2015526376
申请日：2014-07-09
Applicant: 宇部興産株式会社
IPC: C30B11/00 , B22C3/00 , C01B33/02 , C01B21/068
CPC classification number: C01B21/068 , B05D3/0413 , C01B21/0687 , C01B33/021 , C01P2004/03 , C01P2004/51 , C01P2006/12 , C01P2006/80
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公开(公告)号：JPWO2019235594A1
公开(公告)日：2021-02-12
申请号：JP2019022623
申请日：2019-06-06
Applicant: 宇部興産株式会社
IPC: H05K1/03 , C04B35/587
Abstract: 焼結時の雰囲気圧力をより低くできた上で、高い熱伝導率と優れた機械的特性を併せ持つ板状の窒化ケイ素質焼結体を提供することを目的とする。 焼結助剤として、アルカリ土類金属酸化物と希土類金属酸化物との重量比が0.40≦アルカリ土類金属酸化物/希土類金属酸化物≦2.0を満足するような配合比で、アルカリ土類金属酸化物および希土類金属酸化物を3.2〜7.0wt%添加し、シート成形プロセスにより作製された板状の成形体を雰囲気ガス圧力3MPa以下で焼結することによって得られた板状の窒化ケイ素質焼結体であって、焼結体としての実測アルカリ土類金属含有量と実測希土類金属含有量の比率が0.26≦実測アルカリ土類金属含有量/実測希土類金属含有量≦1.30であり、実測アルミニウム含有量が50ppm未満であり、実測酸素含有量が1.4重量%以上2.9重量%以下であり、相対密度が98%以上であり、窒化ケイ素質焼結体のβ型窒化ケイ素粒子のうち、長軸の長さが10μmを超えるものが、1mm 2 当たりに500個以上10000個以下であり、Raが0.05μm以上0.5μm以下に研磨された表面のβ型窒化ケイ素粒子の配向割合を示す配向度faが0.08以上0.25以下であることを特徴とする板状の窒化ケイ素質焼結体を提供する。
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公开(公告)号：JP6292306B2
公开(公告)日：2018-03-14
申请号：JP2016529373
申请日：2015-06-16
Applicant: 宇部興産株式会社
IPC: C04B35/587 , H05K1/03 , C01B21/068
CPC classification number: C01B21/068 , C01P2004/61 , C01P2004/62 , C01P2006/12 , C04B35/584 , C04B35/626 , C04B2235/3882 , H05K1/0201 , H05K1/0306
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10.发明专利多結晶シリコンインゴット鋳造用鋳型、並びにその離型材用窒化珪素粉末、その離型層用窒化珪素粉末含有スラリー及びその鋳造用離型材 有权多晶硅铸锭的铸模，并且对氮化硅粉末脱模材料，含有浆料和铸造剥离材料的氮化硅粉末的释放层
公开(公告)号：JP5700052B2
公开(公告)日：2015-04-15
申请号：JP2012550749
申请日：2011-07-27
Applicant: 宇部興産株式会社
IPC: C01B21/068
CPC classification number: B28B7/36 , B22C3/00 , B22D18/02 , B22D21/00 , C01B21/068 , C01B33/02 , C30B11/002 , C30B29/06 , C01P2004/03 , C01P2004/52 , C01P2004/61 , C01P2004/62 , C01P2006/12 , C01P2006/80 , Y10T428/2982
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