焼成原料の焼成方法、それに用いる円筒状炉芯管、およびその円筒状炉芯管を備える焼成炉
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    发明专利
    焼成原料の焼成方法、それに用いる円筒状炉芯管、およびその円筒状炉芯管を備える焼成炉 审中-公开
    燃烧原料的燃烧方法,用于燃烧和燃烧炉的圆柱形炉芯管与圆柱形炉芯管

    公开(公告)号:JP2016099086A

    公开(公告)日:2016-05-30

    申请号:JP2014238241

    申请日:2014-11-25

    Abstract: 【課題】無機材料製の円筒状炉芯管を備える外熱式の連続式焼成炉を用いた焼成原料の焼成方法において、円筒状炉芯管を破損させることなく、品質が安定した焼成物を得ることができる焼成原料の焼成方法、及びそれに用いる円筒状炉芯管の提供。 【解決手段】無機材料製の円筒状炉芯管1の両端部の中間にヒータ加熱領域4がある外熱式の連続式焼成炉を用いて、円筒状炉芯管1の一端に備わる焼成原料供給口3から円筒状炉芯管1の内部に供給した焼成原料を前記ヒータ加熱領域4内で焼成し、焼成物を円筒状炉芯管1の他端に備わる焼成物送出口5より送出する、焼成原料の焼成方法であって、円筒状炉芯管1は、前記焼成物が円筒状炉芯管1の内壁に付着する領域6における円筒状炉芯管1の厚みの最小値が、前記焼成時の温度勾配の変化率の絶対値が最大になる箇所における円筒状炉芯管1の厚みの最大値より大きい焼成原料の焼成方法。 【選択図】図1

    Abstract translation: 要解决的问题:提供一种使用外部热式连续式焙烧炉进行燃烧原料的烧成方法,所述外部热式连续焙烧炉包括能够获得质量稳定的燃烧产物的无机材料的圆柱形炉芯管,而不会损坏圆筒形炉芯管,以及 提供用于其的圆柱形炉芯管。本发明涉及一种使用外部热式连续焙烧炉燃烧原材料的焙烧方法,该烧结炉包括在圆筒形炉芯管道两端之间的中间部分处的加热器加热区域4 1由无机材料制成,其中将从安装在圆筒形炉芯管1的一端的燃烧原料出口3供给到圆筒形炉芯管1的内部的燃烧原料在加热器加热区域4中燃烧并进料 从用于安装在圆筒形炉芯管1的另一端的燃烧产物的输送口5出来 炉心芯管1表示烧结物附着在筒状炉芯管1的内壁的区域6中的筒状炉芯管1的最小厚度大于圆筒炉的最大厚度值 核燃烧管1在燃烧状态下的热梯度的变化率绝对值成为最大值的位置。图1

    板状の窒化ケイ素質焼結体およびその製造方法

    公开(公告)号:JPWO2019235594A1

    公开(公告)日:2021-02-12

    申请号:JP2019022623

    申请日:2019-06-06

    Abstract: 焼結時の雰囲気圧力をより低くできた上で、高い熱伝導率と優れた機械的特性を併せ持つ板状の窒化ケイ素質焼結体を提供することを目的とする。 焼結助剤として、アルカリ土類金属酸化物と希土類金属酸化物との重量比が0.40≦アルカリ土類金属酸化物/希土類金属酸化物≦2.0を満足するような配合比で、アルカリ土類金属酸化物および希土類金属酸化物を3.2〜7.0wt%添加し、シート成形プロセスにより作製された板状の成形体を雰囲気ガス圧力3MPa以下で焼結することによって得られた板状の窒化ケイ素質焼結体であって、焼結体としての実測アルカリ土類金属含有量と実測希土類金属含有量の比率が0.26≦実測アルカリ土類金属含有量/実測希土類金属含有量≦1.30であり、実測アルミニウム含有量が50ppm未満であり、実測酸素含有量が1.4重量%以上2.9重量%以下であり、相対密度が98%以上であり、窒化ケイ素質焼結体のβ型窒化ケイ素粒子のうち、長軸の長さが10μmを超えるものが、1mm 2 当たりに500個以上10000個以下であり、Raが0.05μm以上0.5μm以下に研磨された表面のβ型窒化ケイ素粒子の配向割合を示す配向度faが0.08以上0.25以下であることを特徴とする板状の窒化ケイ素質焼結体を提供する。

    窒化ケイ素基板の製造方法および窒化ケイ素基板

    公开(公告)号:JPWO2020090832A1

    公开(公告)日:2021-09-16

    申请号:JP2019042413

    申请日:2019-10-29

    Abstract: 窒化ケイ素粉末および焼結助剤を含む複数枚のグリーンシートをそれらの間に分離材を介在させて積層し、焼結した後に、分離することによって複数枚の窒化ケイ素焼結体を得て、窒化ケイ素焼結体から窒化ケイ素基板を得る、窒化ケイ素基板の製造方法であって、分離材が窒化ケイ素粉を含むことを特徴とする。得られる窒化ケイ素基板は表面に窒化ホウ素粉を含まないので、銅と接合した際のヒートサイクル性に優れる。分離材は、BET法により測定される比表面積が1m 2 /g以上20m 2 /g以下であり、レーザ回折散乱法により測定される体積基準の50%粒子径D50が20μm以下であり、かつ、酸素量が0.3重量%以上2重量%未満であり、分離材を0.1mg/cm 2 以上3mg/cm 2 以下の塗布量でグリーンシート表面に塗布することで、熱伝導率が室温において80W/(m・K)以上であり、4点曲げ強度が室温において800MPa以上である窒化ケイ素基板を得ることができる。

    高純度窒化ケイ素粉末の製造方法

    公开(公告)号:JP2020023406A

    公开(公告)日:2020-02-13

    申请号:JP2016240761

    申请日:2016-12-12

    Abstract: 【課題】 結晶性が良好で、かつ鉄、アルミニウムなどの不純物含有量の少ない高純度の窒化ケイ素微粉末を燃焼合成法によって効率的かつ安価に製造する技術を提供する。 【解決手段】 シリコン粉末と希釈剤の窒化ケイ素とを混合し、混合粉末をルツボに充填して、燃焼合成法により窒化ケイ素から構成される凝結塊を製造し、前記凝結塊を粉砕する窒化ケイ素粉末の製造方法であって、前記シリコン粉末および前記希釈剤は、鉄およびアルミニウムの含有量がそれぞれ100ppm以下であり、鉄およびアルミニウム以外の金属不純物の合計含有量が100ppm以下であり、前記シリコン粉末と前記希釈剤との配合比は、質量比で9:1〜5:5であり、前記混合粉末の粉体層の嵩密度は0.3〜0.65g/cm 3 であり、前記凝結塊を、窒化ケイ素を含む粉砕媒体を装填または装着した粉砕装置を使用して粉砕する高純度窒化ケイ素粉末の製造方法。 【選択図】 図1

    板状の窒化ケイ素質焼結体およびその製造方法

    公开(公告)号:JPWO2019235593A1

    公开(公告)日:2021-02-12

    申请号:JP2019022621

    申请日:2019-06-06

    Abstract: 焼結時の雰囲気圧力をより低くできた上で、高い熱伝導率と優れた機械的特性を併せ持つ板状の窒化ケイ素質焼結体を提供することを目的とする。 焼結助剤として、アルカリ土類金属酸化物と希土類金属酸化物との重量比が0.40≦アルカリ土類金属酸化物/希土類金属酸化物≦2.0を満足するような配合比で、アルカリ土類金属酸化物および希土類金属酸化物を3.2〜7.0wt%添加し、シート成形プロセスにより作製された板状の成形体を雰囲気ガス圧力3MPa以下で焼結することによって得られた板状の窒化ケイ素質焼結体であって、焼結体としての実測アルカリ土類金属含有量と実測希土類金属含有量の比率が0.26≦実測アルカリ土類金属含有量/実測希土類金属含有量≦1.30であり、実測アルミニウム含有量が50ppm未満であり、実測酸素含有量が1.4重量%以上2.9重量%以下であり、相対密度が98%以上であり、Raが0.05μm以上0.5μm以下に研磨された表面のβ型窒化ケイ素の(101)面の回折強度と(210)面の回折強度I(210)の比が0.62以上0.95以下であって、窒化ケイ素質焼結体のβ型窒化ケイ素粒子のうち、長軸の長さが10μmを超えるものが、1mm 2 当たりに500個以上10000個以下であることを特徴とする板状の窒化ケイ素質焼結体を提供する。

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