感光性樹脂組成物、硬化膜、積層体、硬化膜の製造方法、半導体デバイス、および熱塩基発生剤

    公开(公告)号:JPWO2020066244A1

    公开(公告)日:2021-08-30

    申请号:JP2019028671

    申请日:2019-07-22

    Inventor: 野崎 敦靖

    Abstract: 硬化性および保存安定性に優れた感光性樹脂組成物を提供する。また、上記感光性樹脂組成物を利用した硬化膜、積層体、硬化膜の製造方法および半導体デバイスを提供する。感光性樹脂組成物は、式(N1)で表される熱塩基発生剤と、ポリイミド前駆体およびポリベンゾオキサゾール前駆体の少なくとも1種の前駆体化合物とを含む。式(N1)において、X N は、水酸基、カルボキシル基およびスルホン酸基のいずれか1種を表し、Z N は酸素原子または硫黄原子を表し、L N は、隣接する窒素原子からX N までを連結する炭化水素基であって、連結鎖を構成する原子の数が2〜6である炭化水素基を表す。

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