微細構造測定用プローブおよび微細構造測定装置
    1.
    发明专利
    微細構造測定用プローブおよび微細構造測定装置 有权
    精细结构测量探头和精细结构测量装置

    公开(公告)号:JP2016080493A

    公开(公告)日:2016-05-16

    申请号:JP2014211573

    申请日:2014-10-16

    Abstract: 【課題】光学部材の共振周期の把握や、正確な共振制御の調整を行う必要のない、加振式の微細構造測定用プローブを提供すること、およびその微細構造測定用プローブを利用する微細構造測定装置を提供すること。 【解決手段】本発明の微細構造測定用プローブ10は、光ファイバー等の光学部材12と、基体16および該基体から延出する二本の振動腕18a,18bからなる音叉型振動部材14と、を備え、光学部材12は、二本の振動腕のうち、どちらか一方の振動腕18aの先端部分に保持され、光学部材12と該振動腕18aとは一体になって振動することを特徴とする。 【選択図】 図1

    Abstract translation: 要解决的问题:提供一种不需要掌握光学构件的共振周期并进行精确谐振控制的振动式精细结构测量探头,并且提供使用精细结构测量的精细结构测量装置 探针。解决方案:本发明的精细结构测量探针10包括:诸如光纤的光学构件12; 以及包括基板16和从基板延伸的两个振动臂18a和18b的音叉型振动件14。 光学构件12保持在两个振动臂的任何一个振动臂18a的尖端处。 光学构件12和振动臂18a整体振动。图1:

    顕微分光装置
    2.
    发明专利
    顕微分光装置 有权
    显微光谱仪

    公开(公告)号:JP5905140B1

    公开(公告)日:2016-04-20

    申请号:JP2015062308

    申请日:2015-03-25

    CPC classification number: G01N21/65

    Abstract: 【課題】顕微分光装置の面分析の測定時間の短縮とクロストークの回避とを両立させる。 【解決手段】ラマン分光装置10は、一方向に同ピッチで並んだ複数のアパーチャー30を有するマルチスリット28を使って、レーザー光をマルチビームに整形するビーム整形手段と、マルチビームを集光して直線状に並んだ複数のビームスポットI C を試料Sに形成する対物レンズ12と、複数のビームスポットI C からの光の中間像I A を整形する結像レンズ18と、中間像I A の位置に設けられた分光器前スリット22と、このスリット22の通過光を分光してビームスポットI C のスペクトル像を検出する分光器50およびCCD検出器60とを備える。さらに、複数のアパーチャー30を、当該アパーチャーの配列方向に半ピッチだけ進退させる移動装置32と、この移動装置32の動作およびCCD検出器60の検出サイクルを連動させる制御装置70とを備える。 【選択図】 図2

    Abstract translation: 甲同时满足避免的微观光谱仪的表面分析的缩短和串扰测量时间。 具有多个与在一个方向上相同的间距对准的孔30的拉曼光谱装置10中,使用多狭缝28,光束整形装置,用于整形激光束分成多个光束,多个光束聚焦 在一条直线上排列的多个束斑IC以形成试样S碲一个物镜12,用于从所述多个束斑IC的整形的光的中间图像IA的成像透镜18,在中间图像IA的位置上设置 狭缝22之前的分光仪,其被提供有一个分光器50和用于检测束斑IC频谱通过狭缝22的光的光谱图像的CCD检测器60。 还包括多个孔30,在排列方向上的移动装置32向前和向后移动通过所述孔的一半节距,以及控制单元70,用于连动操作的检测周期和移动装置32的CCD检测器60。 .The

    共焦点ラマン顕微鏡
    3.
    发明专利

    公开(公告)号:JP2018054682A

    公开(公告)日:2018-04-05

    申请号:JP2016186816

    申请日:2016-09-26

    Abstract: 【課題】 本発明の課題は、良好なラマン散乱光を検出し、分析精度の良い共焦点ラマン顕微鏡を提供することである。 【解決手段】 励起光を放射する光源11と、前記励起光を試料18に照射する励起光照射手段1と、試料18によって散乱された光から、共焦点アパーチャー20を用いてラマン散乱光を集光する集光手段3と、集光したラマン散乱光を検出する検出手段26と、を備えた共焦点ラマン顕微鏡10であって、 前記励起光照射手段1は、励起光の断面形状を略環状に形成する励起光形成手段13を備え、 前記集光手段3は、前記共焦点アパーチャー20を通過した光のうち断面略中央部の光を集光し、断面略中央部外側の光を遮蔽する遮蔽手段22を備えたことを特徴とする共焦点ラマン顕微鏡10。 【選択図】 図1

    近接場測定方法および近接場光学顕微鏡
    4.
    发明专利
    近接場測定方法および近接場光学顕微鏡 有权
    近场测量方法和近场光学显微镜

    公开(公告)号:JP2016080494A

    公开(公告)日:2016-05-16

    申请号:JP2014211574

    申请日:2014-10-16

    Abstract: 【課題】近接場測定予定領域と近接場測定領域の間に生じ得る位置のずれを未然に防止し、正しい位置での近接場測定を可能にする近接場測定方法およびその顕微鏡の提供。 【解決手段】本発明の近接場測定方法(S10)は、対物レンズの光軸に近接場プローブを挿入する工程(S12)と、対物レンズの焦点に、光ファイバーの上端の中心を整合する工程(S14)と、光ファイバーの下端の高さの位置に対物レンズのピントを整合する工程(S16)と、光ファイバーの下端の高さ位置に対物レンズのピントを整合した状態で、顕微測定画像上の光ファイバー下端の中心の位置を判断する工程(S18)と、対物レンズの焦点と印の位置のずれ量を演算する工程(S20)と、を備え、光ファイバーの取付け方に応じた光ファイバーの上端の中心から下端の中心に至るずれ量を求めることを特徴とする。 【選択図】 図4

    Abstract translation: 要解决的问题:提供一种近场测量方法和近场显微镜,其预先防止在近场测量计划区域和近场测量区域之间产生的位置的偏差,并且使得能够在适当的场地测量 位置。解决方案:根据本发明的近场测量方法(S10)包括以下处理:将近场探针插入物镜的光轴(S12); 将光纤的顶端的中心与物镜的焦点对准(S14); 将物镜的焦点与光纤的底端的高度位置对准(S16); 在物镜的焦点与光纤的底端的高度位置对准的状态下,在微观测量图像上确定光纤的底端的中心位置(S18); 并计算物镜的焦点与标记位置之间的偏差量(S20)。 近场测量方法根据光纤的连接方式获得从光纤的顶端的中心到底端的中心的偏移量。图4:

    共焦点ラマン顕微鏡
    6.
    发明专利

    公开(公告)号:JP6203355B1

    公开(公告)日:2017-09-27

    申请号:JP2016186816

    申请日:2016-09-26

    CPC classification number: G02B21/0032 G02B21/0064

    Abstract: 【課題】 本発明の課題は、良好なラマン散乱光を検出し、分析精度の良い共焦点ラマン顕微鏡を提供することである。 【解決手段】 励起光を放射する光源11と、前記励起光を試料18に照射する励起光照射手段1と、試料18によって散乱された光から、共焦点アパーチャー20を用いてラマン散乱光を集光する集光手段3と、集光したラマン散乱光を検出する検出手段26と、を備えた共焦点ラマン顕微鏡10であって、 前記励起光照射手段1は、励起光の断面形状を略環状に形成する励起光形成手段13を備え、 前記集光手段3は、前記共焦点アパーチャー20を通過した光のうち断面略中央部の光を集光し、断面略中央部外側の光を遮蔽する遮蔽手段22を備えたことを特徴とする共焦点ラマン顕微鏡10。 【選択図】 図1

    顕微分光装置
    7.
    发明专利
    顕微分光装置 有权
    显微光谱仪

    公开(公告)号:JP5901814B1

    公开(公告)日:2016-04-13

    申请号:JP2015062307

    申请日:2015-03-25

    CPC classification number: G01N21/65

    Abstract: 【課題】広範囲のマッピング測定を、高検出感度・高速・高波長分解能で実行することができる顕微分光装置を提供すること。 【解決手段】ラマン分光装置は、励起光をライン状に照射する手段と、試料用の可動ステージと、ライン状照射領域からのラマン光を集光する対物レンズと、ラマン光の結像位置に設けた入射スリットと、その通過光を分散させる分光器と、ラマンスペクトル像を検出するCCD検出器と、可動ステージおよびCCD検出器を同期させてマッピング測定を制御する制御装置とを備える。制御手段は、可動ステージを制御してライン状照射領域を長手方向に直交する方向へ移動させるとともに、一回の光検出サイクルでライン状照射領域の移動範囲の平均的なスペクトルを一つ取得するように、ステージ移動中にCCD検出器のサイクルを実行するように構成する。 【選択図】 図1

    Abstract translation: 宽范围的映射测定的,提供一种能够进行高灵敏度,高速和高波长分辨率的显微光谱仪。 拉曼分光装置中,以线状照射激励光的装置,以及用于样品可移动台,从一个线状照射区域的拉曼光,并用于聚焦物镜,拉曼光的成像位置 包括:用于透射光的分散提供了一种分光计的入口狭缝,以及用于检测的拉曼分光图像的CCD检测器,并且该同步可移动台和一个CCD检测器来控制映射测量的控制单元。 控制装置,在纵向方向上控制可移动台正交线性照射区域的方向移动时,获取线性照射区域中的一个的一个运动平均光谱范围中的光检测周期 因此,它被配置阶段运动期间执行CCD检测器的一个周期。 点域1

    近接場顕微鏡
    8.
    发明专利
    近接場顕微鏡 审中-公开

    公开(公告)号:JP2018054353A

    公开(公告)日:2018-04-05

    申请号:JP2016187922

    申请日:2016-09-27

    Abstract: 【課題】 迷光が少なく分析精度の良い近接場顕微鏡を提供する。 【解決手段】 励起光を放射する第1の光源11と、励起光で近接場光を発生させ試料18との相互作用で試料近傍にラマン散乱光を発生させるプローブ17と、励起光をプローブに照射する励起光照射手段1と、プローブ光を放射する第2の光源31と、試料近傍で発生したラマン散乱光を集光する集光手段2と、集光したラマン散乱光を検出する検出手段23を備えた近接場顕微鏡10であって、 励起光照射手段1はプローブ17の先端に励起光を照射するため励起光の照射断面プローブ側の半分以上を遮蔽する入射光遮蔽手段13を備え、 集光手段2は試料18の位置が焦点となるレンズ16を備え、レンズでプローブ17に励起光を照射して試料近傍で発生したラマン散乱光を集光し、 集光手段2は入射光遮蔽手段13と断面形状が逆パターンの検出光遮蔽手段19を備える。 【選択図】 図1

    顕微分光装置
    10.
    发明专利
    顕微分光装置 有权
    微波器件

    公开(公告)号:JP2016180733A

    公开(公告)日:2016-10-13

    申请号:JP2015062308

    申请日:2015-03-25

    CPC classification number: G01N21/65

    Abstract: 【課題】顕微分光装置の面分析の測定時間の短縮とクロストークの回避とを両立させる。 【解決手段】ラマン分光装置10は、一方向に同ピッチで並んだ複数のアパーチャー30を有するマルチスリット28を使って、レーザー光をマルチビームに整形するビーム整形手段と、マルチビームを集光して直線状に並んだ複数のビームスポットI C を試料Sに形成する対物レンズ12と、複数のビームスポットI C からの光の中間像I A を整形する結像レンズ18と、中間像I A の位置に設けられた分光器前スリット22と、このスリット22の通過光を分光してビームスポットI C のスペクトル像を検出する分光器50およびCCD検出器60とを備える。さらに、複数のアパーチャー30を、当該アパーチャーの配列方向に半ピッチだけ進退させる移動装置32と、この移動装置32の動作およびCCD検出器60の検出サイクルを連動させる制御装置70とを備える。 【選択図】 図2

    Abstract translation: 要解决的问题:缩短表面分析的测量时间并避免微观光学装置的串扰。解决方案:拉曼光谱装置10包括:光束成形装置,其使用多狭缝将激光束成形为多光束 28具有沿一个方向以相同间距布置的多个孔30; 物镜12会聚多束并形成多个线性排列的光束点离子样品S; 成像透镜18,其对来自多个光束点I的光进行中间图像I的成形; 光谱仪之前的狭缝22,其位于中间图像I的位置处; 以及光谱仪50和CCD检测器60,其通过对通过狭缝22的光进行光谱分散来检测束斑I的光谱图像。另外设置有移动装置32,其将多个孔30前后移动一半 在设置孔的方向上的间距,以及连接移动装置32的移动和CCD检测器60的检测周期的控制装置70.图2

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