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公开(公告)号：JP6292297B2
公开(公告)日：2018-03-14
申请号：JP2016513642
申请日：2015-04-15
Applicant: 日本電気株式会社
IPC: G01J1/02
CPC classification number: G01J5/10 , G01J5/0225 , G01J5/024 , G01J5/0803 , G01J5/0809 , G01J5/20 , G01J2005/103
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公开(公告)号：JPWO2017077996A1
公开(公告)日：2018-08-23
申请号：JP2016082382
申请日：2016-11-01
Applicant: 日本電気株式会社
Inventor： 倉科 晴次
IPC: G01J1/02
CPC classification number: G01J1/02
Abstract: テラヘルツ波の周波数帯域でのテラヘルツ吸収率の均一性を向上することができるよう、ボロメータ型テラヘルツ波検出器1は、テラヘルツ波を反射する反射膜11と、テラヘルツ波を吸収し、反射膜11に平行に配置された第1の吸収膜12及び第2の吸収膜13と、第1の吸収膜12及び第2の吸収膜13の温度変化を検出するボロメータ薄膜201と、を有し、第1の吸収膜12及び第2の吸収膜13の間隔は、反射膜11と第1の吸収膜12又は第2の吸収膜13の光学的共振効果のあるテラヘルツ波と異なる周波数のテラヘルツ波について光学的な共振構造を形成する間隔である。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：JPWO2017094280A1
公开(公告)日：2018-09-13
申请号：JP2016069020
申请日：2016-06-27
Applicant: 国立大学法人 東京大学 , 日本電気株式会社
CPC classification number: G01J1/02
Abstract: ボロメータ薄膜36と反射膜26との間の誘電体層48内の金属配線接続部60を構成する平部材61と同一平面の金属配線接続部60が形成されていない辺にダミー部材70を設けることにより、ダミー部材70を設けない比較例に比して、ボロメータ薄膜36と反射膜26との間における垂直方向から見た平面における構成部材の中心からの対称性を高くして、テラヘルツ波に対するX偏光とY偏光の吸収スペクトルの乖離を小さくすることができる。この結果、テラヘルツ波の検出における偏光依存を抑制することができる。
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公开(公告)号：JP5964543B2
公开(公告)日：2016-08-03
申请号：JP2010136499
申请日：2010-06-15
Applicant: 日本電気株式会社
IPC: G01J1/02
CPC classification number: G01J5/20 , G01J5/02 , G01J5/023 , G01J5/024 , G01J5/08 , G01J5/0853 , H01L27/14669 , H01L31/085
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