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    研磨パッド
    5.
    发明专利
    研磨パッド 审中-公开

    公开(公告)号：JP2018107301A

    公开(公告)日：2018-07-05

    申请号：JP2016252761

    申请日：2016-12-27

    Applicant: 東レコーテックス株式会社 ,  東レ株式会社

    Inventor： 城 邦恭 ,  寺田 幸平 ,  杉村 正宏 ,  徳永 淳人 ,  柳澤 智 ,  田辺 昭大 ,  吉水 邦典

    IPC: B24B37/22 ,  B24B37/24 ,  H01L21/304

    Abstract: 【課題】シリコンなど半導体基板上に形成される絶縁層の表面や金属配線の表面を機械的に平坦化する工程で使用される研磨パッドにおいて、凹凸を平坦化する平坦性と半導体ウェハのウェハ面内均一性を両立することが可能な好適な研磨パッドを提供する。 【解決手段】マイクロゴムA硬度が70度以上の独立気泡を有する発泡ポリウレタンシートを含む研磨層と、20質量%以上30質量%以下のポリウレタン系エラストマーを含有し平均単繊維径が3.0μm以上8.0μm以下の極細繊維束の不織布からなるクッション基材層との間に、弾性率が5.0MPa以上17.0MPa以下の材料からなる厚み70μm以上150μm以下の接着剤層が介在する構造を有することを特徴とする研磨パッド。 【選択図】なし

    シート状物およびその製造方法
    7.
    发明专利
    シート状物およびその製造方法 有权
    薄板材料及其制造方法

    公开(公告)号：JP2015161040A

    公开(公告)日：2015-09-07

    申请号：JP2014036515

    申请日：2014-02-27

    Applicant: 東レ株式会社

    Inventor： 柳澤 智 ,  上野 勝 ,  遠藤 雅紀 ,  松崎 行博 ,  西村 誠

    IPC: D06N3/00

    Abstract: 【課題】 本発明は、特に長期的に良好な表面タッチと発色性と外観品位に優れた皮革様シート状物およびその製造方法を提供する。 【解決手段】 本発明のシート状物は、平均単繊維直径が0.3〜7μmの極細繊維を含んでなる繊維質基材の内部に高分子弾性体を含有し、表面に立毛を有するシート状物であり、前記シート状物の表面から厚み方向に0.2μm以内に存在する立毛繊維について、無作為に抽出した100本のうちの1本と最も近接した立毛繊維との最短の繊維間距離の、当該100本の平均値が10〜30μmであり、無作為に抽出した100本のうちの1本との距離が近い順に選ばれる周辺の20本の立毛繊維との繊維間距離の当該100本分の標準偏差が10以下であることを特徴とするシート状物である。 【選択図】 なし

    Abstract translation: 要解决的问题：提供长时间特别具有优异表面接触性并且显色性和外观质量优异的皮革状片状材料; 并提供其制造方法。解决方案：根据本发明的片状材料在纤维基材中含有聚合物弹性体，其包含平均单纤维直径为0.3〜7μm的超细纤维，并且在 表面。 在片状材料中，从片状材料的表面在厚度方向上存在于0.2μm以内的起毛纤维中随机提取100根纤维。 当随机提取的100根纤维的一根纤维与最接近一根纤维的起绒纤维之间的距离被测量为纤维之间的最短距离时，100根纤维的纤维之间的最短距离的平均值为10〜30μm。 当随机提取的100根纤维的一根纤维与按照与一根纤维接近的顺序选择的周边20个起绒纤维之间的距离被测量时，100根纤维的纤维之间的距离的标准偏差为10或更小。

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