-
公开(公告)号：JP6010406B2
公开(公告)日：2016-10-19
申请号：JP2012204568
申请日：2012-09-18
Applicant: 東京エレクトロン株式会社
IPC: H01L21/3065 , H05H1/46
CPC classification number: H01J37/32266 , H01J37/32201 , H01J37/3222 , H01J37/32229 , H05H1/46 , H01J37/32192 , H05H2001/4615 , H05H2001/4622 , H05H2001/463
-
公开(公告)号：JP2021118045A
公开(公告)日：2021-08-10
申请号：JP2020008508
申请日：2020-01-22
Applicant: 東京エレクトロン株式会社
IPC: H05H1/46 , H01L21/3065 , H05H1/00
Abstract: 【課題】処理容器内のプラズマの観測地点の特定と、観測地点におけるプラズマの状態の判定を行う。 【解決手段】処理容器2内でプラズマにより基板を処理するプラズマ処理装置と、前記プラズマを測定する測定装置と、を有するプラズマ観測システムであって、前記プラズマ処理装置は、前記処理容器2にプラズマの発光状態を観測可能な複数の観測窓80を有し、前記測定装置は、前記処理容器2内において交差する複数の光を複数の観測窓80から受光する受光器100と、受光した複数の光に基づき、プラズマの観測地点の特定と、前記観測地点のプラズマの状態判定と、を行う制御部と、を有する、プラズマ観測システムが提供される。 【選択図】図4
-
-
公开(公告)号：JP6144902B2
公开(公告)日：2017-06-07
申请号：JP2012269227
申请日：2012-12-10
Applicant: 東京エレクトロン株式会社
IPC: H01L21/3065 , H01L21/31 , H05H1/46
CPC classification number: H01J37/3222 , H01J37/32201
-
公开(公告)号：JP2017005345A
公开(公告)日：2017-01-05
申请号：JP2015114660
申请日：2015-06-05
Applicant: 東京エレクトロン株式会社
IPC: H05H1/46 , C23C16/511 , H01L21/3065 , H01P5/12
CPC classification number: H01J37/3222 , H01J37/32266 , H01P1/18 , H01P5/12 , H03H7/40
Abstract: 【課題】小型化が可能であり、かつ大きな電力のマイクロ波を十分に効率良く合成することができる電力合成器を提供する。 【解決手段】複数の電力導入ポート2a,2bから給電線4を介して供給された電磁波を電力合成アンテナ10を用いて合成する。電力合成アンテナ10は、複数の電力導入ポート2a,2bのそれぞれにおいて給電線4から電磁波が供給される第1の極および内側導体3に接触する第2の極を有する複数のアンテナ部材11a,11bと、複数のアンテナ部材11a,11bの両側から本体部の内側導体3の外側に沿ってリング状に設けられた、電磁波を反射させる反射部12とを有し、アンテナ部材11a,11bに入射された電磁波と反射部12で反射された電磁波とで定在波を形成し、その定在波により前記本体部内で発生する誘導磁界および誘導電界の連鎖作用によって電磁波電力が合成される。 【選択図】図1
Abstract translation: 提供一种小型化成为可能，提供一种功率组合器能够充分地有效地合成微波功率大的。 使用功率组合天线10的多个功率引入口2a，通过进料管线4从图2b供给的电磁波的合成。 功率组合天线10，其具有与所述第一电极和具有多个功率导入口2a的内导体3接触的第二极的多个天线部件11a的，从在每个2b的进料管线4中的电磁波被提供，11B 的情况下，多个天线元件11a的，呈环状沿主体部分的内导体3的外侧设置从11b的两侧，并用于反射电磁波的反射部12，入射天线构件11A，11B， 电磁波，并通过由反射部12反射的电磁波所形成的驻波，电磁波功率由感应磁场通过在主体部的驻波产生的连锁效应，并诱导电场合成。 点域1
-
Patent Agency Ranking
公开(公告)号：JP2016173924A
公开(公告)日：2016-09-29
申请号：JP2015053080
申请日：2015-03-17
Applicant: 東京エレクトロン株式会社
IPC: H01L21/3065 , H01P5/02 , H01P5/04 , H05H1/46
Abstract: 【課題】スラグ移動軸が細くても必要な整合範囲を確保することができるチューナおよびそのようなチューナを有するマイクロ波プラズマ源を提供する。 【解決手段】給電部64を有し、第1外側導体61と第1内側導体62からなる同軸伝送路を構成するとともに、第1外側導体61と第1内側導体62との間を移動する第1スラグ63を有し、かつ第1内側導体62の内部に設けられた、前記第1スラグを移動させる第1スラグ移動軸65を有する第1スラグ移動部51と、平面アンテナ101へマイクロ波を出力する出力端を有し、第2外側導体71と第2内側導体72からなる同軸伝送路を構成するとともに、第2外側導体71と第2内側導体72との間を移動する第2スラグ73を有し、かつ第2内側導体72の内部に設けられた第2スラグ移動軸75を有する第2スラグ移動部52とを具備し、第1スラグ移動部51および第2スラグ移動部52のスラグ可動範囲がいずれもマイクロ波の1/2波長の長さである。 【選択図】図3
Abstract translation: 要解决的问题：提供一种能够确保所需匹配范围的调谐器，即使块状移动轴较薄，并且提供具有这种调谐器的微波等离子体源。解调器：调谐器包括：第一块状移动部分51，其具有 电源部64，构成由第一外部导体61和第一内部导体62构成的同轴传输路径并且在第一外部导体61和第一内部导体62之间移动的第一块63，以及第一块状移动轴65 设置在第一内部导体62中，并且具有用于移动第一块的第一块状移动轴65和具有用于向平面天线101输出微波的输出端的第二块73，并且构成由第二内部导体62构成的同轴传输路径 外部导体71和第二内部导体72，并且在第二外部导体71和第二内部导体72之间移动，并且包括具有第二块体m 设置在第二内导体72中的移动轴75.第一块移动部51和第二块移动部52的块可移动范围是微波的1/2波长。图3
-
公开(公告)号：JP5823399B2
公开(公告)日：2015-11-25
申请号：JP2012532931
申请日：2011-08-25
Applicant: 東京エレクトロン株式会社
IPC: H01L21/3065 , C23C16/511 , H01P5/04 , H05H1/46
CPC classification number: H01J23/005 , C23C16/45565 , C23C16/511 , H01J37/3222 , H01J37/32256 , H05H1/46 , H05H2001/463
-
公开(公告)号：JP2021118513A
公开(公告)日：2021-08-10
申请号：JP2020012640
申请日：2020-01-29
Applicant: 東京エレクトロン株式会社
IPC: H01P5/18
Abstract: 【課題】方向性結合器の主線路である中心導体に対して、副線路である結合線路を疎結合させつつ、良好な方向性特性を得る技術を提供する。 【解決手段】方向性結合器において、中空同軸線路は、主線路を成す中心導体と、中心導体の周囲を囲むように設けられ、開口部が形成された外部導体と、を備え、誘電体基板は、開口部を覆うように設けられ、前記開口部を介して前記中心導体に対向する裏面側と、前記裏面側とは反対の表面側との各々を覆い、接地された膜状の接地導体が設けられる。結合線路は、前記裏面側の前記接地導体に囲まれた領域内に設けられた副線路である。さらに表面側の前記接地導体には、前記誘電体基板を介して前記結合線路と相対する領域内の導体膜の一部を削除した導体削除部が設けられている。 【選択図】図8
-
公开(公告)号：JP6482390B2
公开(公告)日：2019-03-13
申请号：JP2015114660
申请日：2015-06-05
Applicant: 東京エレクトロン株式会社
IPC: H05H1/46 , C23C16/511 , H01L21/3065 , H01P5/12
-
公开(公告)号：JP6444782B2
公开(公告)日：2018-12-26
申请号：JP2015053080
申请日：2015-03-17
Applicant: 東京エレクトロン株式会社
IPC: H01L21/3065 , H01P5/04 , H05H1/46
-
-
-
-
-
-
-
-
-
Search Results
16
records
(took 0.035 seconds)
