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公开(公告)号：JP5751426B2
公开(公告)日：2015-07-22
申请号：JP2011543947
申请日：2011-05-26
Applicant: 栗田工業株式会社
IPC: H01L21/027 , B08B3/08 , G03F7/42 , C25B1/28 , H01L21/304
CPC classification number: H01L21/02076 , C25B1/285 , C25B9/08 , G03F7/423 , H01L21/31133 , F24H1/121 , H01L21/67017
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：JP2015167921A
公开(公告)日：2015-09-28
申请号：JP2014045239
申请日：2014-03-07
Applicant: 栗田工業株式会社
Abstract: 【課題】電解された溶液の気液分離に際し、装置の高さを抑え、効果的にミスト除去を行うことを可能にする。 【解決手段】電解された溶液が導入されて気液分離され、分離された溶液が排出される開口部と分離されたガスを排出する分離ガス排出部とを有するサイクロン式気液分離部と、 前記溶液が貯留される貯留部を有し、サイクロン式気液分離部は、分離された溶液が前記貯留部の溶液溜め部の高さ範囲内で前記開口部を通じて前記溶液溜め部に排出されるように少なくとも下方側の一部が前記貯留部内に設置されており、電解された溶液を貯留部に設置されたサイクロン式気液分離部で気液分離し、分離された溶液をそのまま貯留部内に落下させて貯留し、サイクロン式気液分離部で分離されたガスをガス希釈し、貯留部に接続された貯留部排気ラインを通してガスを移送して排ガス処理を行う。 【選択図】図1
Abstract translation: 要解决的问题：为了抑制装置的高度增加并且能够有效地除去电解液中的气液分离。溶液：提供了一种气液分离溶液储存装置，其包括：旋风式气体 - 液体分离单元，其中引入电解溶液并进行气液分离，并且包括用于排出分离溶液的开口部分和用于排出分离气体的分离气体排出单元; 以及存储单元，其中存储分离的溶液。 旋风式气液分离单元的下侧的至少一部分安装在存储单元中，使得分离的溶液在存储单元的溶液储存器的高度范围内通过开口部排出到溶液储存器 。 电解溶液在安装在存储单元中的旋风式气液分离单元中进行气液分离，使分离的溶液原样存放在存储单元中并储存。 在旋风式气液分离装置中分离的气体进行气体稀释，通过与储存装置连接的存储单元排气管路将气体输送，进行废气处理。
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公开(公告)号：JP5768960B2
公开(公告)日：2015-08-26
申请号：JP2011061007
申请日：2011-03-18
Applicant: 栗田工業株式会社
IPC: H01L21/027 , H01L21/304 , B08B3/08 , G03F1/82
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公开(公告)号：JP5812258B2
公开(公告)日：2015-11-11
申请号：JP2011117764
申请日：2011-05-26
Applicant: 栗田工業株式会社
IPC: F24H1/10
CPC classification number: F24H1/121 , F24H1/142 , F24H9/0015 , F24H9/2028
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公开(公告)号：JP5761521B2
公开(公告)日：2015-08-12
申请号：JP2011543939
申请日：2011-05-26
Applicant: 栗田工業株式会社
IPC: H01L21/027 , H01L21/304
CPC classification number: H01L21/31133 , C25B1/285 , C25B9/08 , H01L21/67017
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