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公开(公告)号:JP2017040619A
公开(公告)日:2017-02-23
申请号:JP2015163890
申请日:2015-08-21
Applicant: 株式会社デンソー , セイコーエプソン株式会社
IPC: G01C19/5621 , G01P15/08 , H01L41/113 , H01L29/84 , B81B3/00 , G01C19/5628
CPC classification number: B81B3/00 , G01C19/5621 , G01C19/5628 , G01P15/08 , G01P15/125 , H01L29/84 , H01L41/113
Abstract: 【課題】電気的なノイズによって検出精度が低下することを抑制する。 【解決手段】回路基板300に対するノイズ遮蔽部として機能する第1シールドパターン91と、第1センサ100に対するノイズ遮蔽部として機能する第2シールドパターン92と、第2センサ200に対するノイズ遮蔽部として機能する第3シールドパターン93とを備える。そして、第1シールドパターン91が第2、第3シールドパターン92、93よりインピーダンスが低くなるようにし、第2シールドパターン92と第3シールドパターン93とを第1シールドパターン91を介して電気的に接続する。 【選択図】図9
Abstract translation: 通过噪声抑制的降低甲电检测精度。 第一屏蔽图案91,其功能是作为用于电路板300的噪声屏蔽部,并且所述第二屏蔽图案92用作相对于所述第一传感器100,其功能是作为噪声的第二传感器200的屏蔽部分的噪声屏蔽部 和第三屏蔽图案93。 第一屏蔽图案91秒,阻抗比所述第三屏蔽图案92和93要低一些,和第二屏蔽图案92和第三屏蔽图案93的第一屏蔽图案91电经由 连接。 9系统技术领域
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公开(公告)号:JP6372450B2
公开(公告)日:2018-08-15
申请号:JP2015163890
申请日:2015-08-21
Applicant: 株式会社デンソー , セイコーエプソン株式会社
IPC: G01C19/5621 , G01P15/08 , H01L41/113 , H01L29/84 , B81B3/00 , G01C19/5628
CPC classification number: G01C19/5621 , B81B3/00 , G01C19/5628 , G01C19/5783 , G01P1/023 , G01P15/125 , H01L29/84 , H01L41/113
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公开(公告)号:JP2018164126A
公开(公告)日:2018-10-18
申请号:JP2017058706
申请日:2017-03-24
Applicant: セイコーエプソン株式会社
IPC: H03H9/19 , H03B5/32 , H01L41/113 , H01L41/053 , G01C19/5628 , H03H9/10
CPC classification number: H03H9/215 , B81B3/0072 , G01C19/56 , G01C19/5621 , H03B5/32 , H03H3/0076 , H03H9/02023 , H03H9/02102 , H03H9/02157 , H03H9/0509 , H03H9/0542 , H03H9/0547 , H03H9/1021 , H03H9/177 , H03H9/19 , H03L1/028
Abstract: 【課題】熱応力に伴う歪の影響を低減した振動デバイスを提供する。 【解決手段】振動デバイス1は、振動部12と固定部16とを有する振動素子10と、固定部16が接合されて振動素子10を支持する支持部材18と、支持部材18が接合されている第1の基板32と、を備え、支持部材18は、第1の基板32に接合されている接合部20を有し、振動素子10の厚さ方向からの平面視において、固定部16を内包する矩形領域の面積をA1、接合部20を内包する矩形領域の面積をA2とした場合に、A1≧A2を満たす。 【選択図】図1A
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公开(公告)号:JP6926568B2
公开(公告)日:2021-08-25
申请号:JP2017058707
申请日:2017-03-24
Applicant: セイコーエプソン株式会社
IPC: G01P15/10 , G01C19/5628 , H01L29/84 , G01P15/08
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公开(公告)号:JP2018162976A
公开(公告)日:2018-10-18
申请号:JP2017058707
申请日:2017-03-24
Applicant: セイコーエプソン株式会社
IPC: G01P15/10 , G01C19/5628 , H01L29/84 , G01P15/08
CPC classification number: G01P15/123 , G01C19/5607 , G01L19/147 , G01P1/006 , G01P1/023 , G01P15/0802 , G01P2015/0828
Abstract: 【課題】接合時の熱応力に伴う歪の影響を低減し、小型の物理量センサーを提供する。 【解決手段】物理量センサー1は、加速度センサー素子12と加速度センサー素子12を収容しているパッケージ14とを有する加速度センサー10と、第1の面22を有し第1の面22に加速度センサー10を支持する支持部材20と、支持部材20の第1の面22と対向する第2の面24が接合されているICチップ30と、を備え、加速度センサー10と支持部材20との積層方向からの平面視において、パッケージ14の外縁で囲まれた領域の面積をS1、第1の面22の面積をS2とした場合に、S1≧S2を満たす。 【選択図】図1
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公开(公告)号:JP6357759B2
公开(公告)日:2018-07-18
申请号:JP2013242557
申请日:2013-11-25
Applicant: セイコーエプソン株式会社
IPC: G01C19/5628 , H01L41/053 , H01L41/113 , H01L25/00 , G01C19/5783
CPC classification number: H01L2224/05554 , H01L2224/48091 , H01L2224/49175 , H01L2224/73265 , H01L2924/00014
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公开(公告)号:JP2016130643A
公开(公告)日:2016-07-21
申请号:JP2015003926
申请日:2015-01-13
Applicant: セイコーエプソン株式会社
Inventor: 井出 次男
IPC: G01P15/125 , G01P15/08
Abstract: 【課題】第1センサー部品と第2センサー部品の姿勢ずれ、すなわち、第1センサー部品の検出軸と第2センサー部品の検出軸のずれを低減することのできる物理量センサー、物理量センサーの製造方法、電子機器および移動体を提供する。 【解決手段】物理量センサー1は、加速度センサー部品2と、角速度センサー部品3と、加速度センサー部品2に接続されている第1リード4と、角速度センサー部品3に接続されている第2リード5と、を有している。また、角速度センサー部品3は、平面視で、少なくとも一部が加速度センサー部品2と重なって配置されており、第1リード4の基端部41と、第2リード5の基端部51とが、同一面内に位置している。 【選択図】図1
Abstract translation: 要解决的问题:为了提供能够降低第一传感器部件与第二传感器部件之间的姿势偏移的物理量传感器,即第一传感器部件的检测轴与第二传感器部件的检测轴之间的未对准, 一种物理量传感器的制造方法,电子设备和移动体。解决方案:物理量传感器1包括加速度传感器部件2,角速度传感器部件3,连接到加速度传感器部件2的第一引线4, 以及连接到角速度传感器部件3的第二引线5.角速度传感器部件3设置成在俯视图中至少部分地与加速度传感器部件2重叠; 第一引线4的基端部41和第二引线5的基端部51位于同一平面内。图1
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公开(公告)号:JP2019178906A
公开(公告)日:2019-10-17
申请号:JP2018067112
申请日:2018-03-30
Applicant: セイコーエプソン株式会社
Inventor: 井出 次男
IPC: H01L41/04 , H01L41/113 , G01C19/5628
Abstract: 【課題】 角速度検出素子の検出軸が基部の基準面に対して所定の傾きとなるように調整できるジャイロセンサー並びにそれを用いた電子機器及び移動体を提供すること。 【解決手段】 ジャイロセンサー1は、検出軸回りの角速度を検出する角速度検出素子4と、検出軸の傾きを調整する傾き調整機構6と、回路装置5と、角速度検出素子が傾き調整機構を介して接続される基部2と、を有する。回路装置5は、角速度検出素子を駆動する駆動回路51と、基部に対する前記検出軸の傾きに対応する傾きデータを記憶するメモリー53と、を含む。 【選択図】 図7
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公开(公告)号:JP2016200526A
公开(公告)日:2016-12-01
申请号:JP2015081499
申请日:2015-04-13
Applicant: セイコーエプソン株式会社
Inventor: 井出 次男
IPC: G01P15/08 , G01P15/125 , G01C19/5628
CPC classification number: G01C19/5642
Abstract: 【課題】ノイズの発生を低減し、優れた検出精度を発揮することのできる物理量センサー、電子機器および移動体を提供する。 【解決手段】物理量センサー1は、角速度検出素子4と、加速度検出素子3と、加速度検出素子3の検出信号を伝搬するボンディングワイヤーBY1と、角速度検出素子4とボンディングワイヤーBY1との間に位置し、固定電位に接続されたシールド部7と、を有している。また、角速度検出素子4と加速度検出素子3とは、高さ方向にずれて配置されており、これらの間にシールド部7の少なくとも一部が配置されている。 【選択図】図1
Abstract translation: 减小的噪音的产生,其可表现出优异的检测精度,提供一种电子装置和移动的物理量传感器。 一种物理量传感器,如图1所示,角速度检测元件4中,加速度检测元件3,接合线BY1传播所述加速度检测元件3的检测信号中,位于角速度检测元件4和接合线BY1之间 具有连接到固定电位的屏蔽7。 另外,角速度检测元件4和加速度检测元件3,布置在高度方向上的偏移,至少一个被布置在它们之间的屏蔽体7的一部分。 点域1
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公开(公告)号:JP6641878B2
公开(公告)日:2020-02-05
申请号:JP2015207520
申请日:2015-10-21
Applicant: セイコーエプソン株式会社
Inventor: 井出 次男
IPC: G01P15/08 , G01P15/125 , G01C19/5628
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