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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：JP2019184614A
公开(公告)日：2019-10-24
申请号：JP2019083748
申请日：2019-04-25
Applicant: 株式会社ニコン
Abstract: 【課題】回折格子を用いて得られる干渉縞に基づいて、被検光学系の波面情報を高精度に計測する。 【解決手段】被検光学系の波面情報を求める波面計測方法であって、光射出部から射出された光束を前記被検光学系に照射することと、前記被検光学系を通過した光束を、少なくとも第1方向に周期性を持ち、かつ前記第1方向に正弦波状の透過率分布を有する回折格子に入射させることと、前記回折格子から発生する複数の光束による干渉縞に基づいて前記被検光学系の波面情報を求めることと、を含む。 【選択図】図2
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公开(公告)号：JP2018010304A
公开(公告)日：2018-01-18
申请号：JP2017153141
申请日：2017-08-08
Applicant: 株式会社ニコン
CPC classification number: G01J9/0215 , G01J2009/0238 , G01M11/0264 , G02B27/50 , G03F7/706
Abstract: 【課題】回折格子を用いて得られる干渉縞に基づいて、投影光学系の波面情報を高精度に計測する波面計測方法を提供する。 【解決手段】計測用レチクル4のピンホールアレー6から射出された光束を投影光学系POに照射することと、投影光学系POを通過した光束をX方向及びY方向に周期性を持ちX方向及びY方向の透過率分布が正弦波状の分布を有する回折格子10に入射させることと、回折格子10から発生する複数の光束による干渉縞に基づいて投影光学系POの波面情報を求めることと、を含む。 【選択図】図2
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公开(公告)号：JP2019074366A
公开(公告)日：2019-05-16
申请号：JP2017199471
申请日：2017-10-13
Applicant: 国立大学法人北海道大学 , 株式会社ニコン
IPC: G01N21/359 , G01N21/17
Abstract: 【課題】より精密に、対象物の内部の特性を解析する。 【解決手段】解析装置は、対象物の形状情報を取得する形状情報取得部と、表面の少なくとも一部の領域に光が照射された対象物からの透過光または反射光を測定して得た測定情報を取得する測定情報取得部と、形状情報および測定情報に基づいて、対象物の内部の光学特性値を算出する解析部と、を備える。 【選択図】図1
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公开(公告)号：JP6191921B2
公开(公告)日：2017-09-06
申请号：JP2014518708
申请日：2013-05-29
Applicant: 株式会社ニコン
IPC: H01L21/027 , G03F7/20 , G02B21/02 , G01M11/02
CPC classification number: G01J9/0215 , G01M11/0264 , G02B27/50 , G03F7/706 , G01J2009/0238
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