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    移動体装置、移動方法、露光装置、露光方法、フラットパネルディスプレイの製造方法、並びにデバイス製造方法
    3.
    发明专利
    移動体装置、移動方法、露光装置、露光方法、フラットパネルディスプレイの製造方法、並びにデバイス製造方法 审中-公开

    公开(公告)号：JP2020204776A

    公开(公告)日：2020-12-24

    申请号：JP2020147194

    申请日：2020-09-02

    Applicant: 株式会社ニコン

    Inventor： 青木 保夫

    IPC: H01L21/68 ,  G03F7/20

    Abstract: 【課題】露光装置における基板の位置計測精度を向上する。 【解決手段】 基板Pを走査露光する露光装置は、基板Pを保持し、X軸及びY軸方向へ移動可能な基板ホルダ32と、Y軸方向へ移動可能なY粗動ステージ24と、基板ホルダ32の位置情報を、基板ホルダ32に設けられたヘッド74x、74yと、Y粗動ステージ24に設けられたスケール72とによって取得する第1計測系と、Y粗動ステージ24の位置情報を、Y粗動ステージ24に設けられたヘッド80x、80yと、スケール78とによって取得する第2計測系と、第1及び第2計測系により取得された位置情報に基づいて、基板ホルダ32の位置を制御する制御系と、を備え、第1計測系はヘッド74x、74yをスケール72に対してX軸方向へ移動させながら計測ビームを照射し、第2計測系はヘッド80x、80yをスケール78に対してY軸方向へ移動させながら計測ビームを照射する。 【選択図】図3

    基板搬送装置、露光装置、フラットパネルディスプレイ製造方法、デバイス製造方法、及び露光方法
    6.
    发明专利
    基板搬送装置、露光装置、フラットパネルディスプレイ製造方法、デバイス製造方法、及び露光方法 审中-公开

    公开(公告)号：JP2020166111A

    公开(公告)日：2020-10-08

    申请号：JP2019066356

    申请日：2019-03-29

    Applicant: 株式会社ニコン

    Inventor： 青木 保夫

    IPC: H01L21/677 ,  G03F7/20

    Abstract: 【課題】基板交換にかかる時間を短縮する。 【解決手段】基板搬送装置は、基板を支持する第1面を有する支持部と、前記第1面に対して上方から第1基板を搬入する搬入部と、前記第1面と面一な第2面を有するポート部と、前記ポート部と前記支持部とが近接した状態で、前記支持部の前記第1面で支持されている第2基板を前記第1面及び前記第2面と平行な方向に移動させて、前記第2基板を前記第1面から前記第2面に受け渡す受け渡し部と、を備える。 【選択図】図1

    搬送装置、露光装置、及びデバイス製造方法
    9.
    发明专利
    搬送装置、露光装置、及びデバイス製造方法 审中-公开

    公开(公告)号：JP2019216243A

    公开(公告)日：2019-12-19

    申请号：JP2019130402

    申请日：2019-07-12

    Applicant: 株式会社ニコン

    Inventor： 青木 保夫 ,  関 忠 ,  柳川 卓也

    IPC: H01L21/683 ,  G03F7/20 ,  B65G49/07 ,  H01L21/677

    Abstract: 【課題】基板ステージ上の基板交換時のサイクルタイムを短縮する。 【解決手段】基板搬出装置70は、基板ステージ20上に載置された露光済みの基板Pを基板ホルダ50内に収容された基板トレイ90上に載置された状態で水平面に平行な一軸方向(X軸方向)に移動させることにより、基板ホルダ50から搬出する。これに対し、基板搬入装置80は、基板ステージ20に搬入される未露光の基板Pを別の基板トレイ90上に載置された状態で基板交換位置に待機させ、露光済みの基板Pが基板ステージ20から搬出された後、その別の基板トレイ90を降下させることにより、未露光の基板Pを基板ホルダ50上に載置する。 【選択図】図2

    露光装置、フラットパネルディスプレイの製造方法、及びデバイス製造方法
    10.
    发明专利
    露光装置、フラットパネルディスプレイの製造方法、及びデバイス製造方法 审中-公开

    公开(公告)号：JP2019179250A

    公开(公告)日：2019-10-17

    申请号：JP2019108053

    申请日：2019-06-10

    Applicant: 株式会社ニコン

    Inventor： 青木 保夫

    IPC: H01L21/68 ,  G03F7/20

    Abstract: 【課題】装置全体を軽量化・小型化する。 【解決手段】 基板ステージPSTでは、Y粗動ステージ23YがY軸方向に移動する際には、X粗動ステージ23X、重量キャンセル装置40、及びXガイド102がY粗動ステージ23Yと一体的にY軸方向に移動し、X粗動ステージ23XがY粗動ステージ23Y上でX軸方向に移動する際には、重量キャンセル装置40は、Xガイド102上でX粗動ステージ23Xと一体的にX軸方向移動する。Xガイド102は、重量キャンセル装置40のX軸方向に関する移動範囲をカバーしてX軸方向に延設されているので、重量キャンセル装置40は、その位置に拘らず、常にXガイド102に支持される。 【選択図】図3

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