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公开(公告)号:JPWO2017094896A1
公开(公告)日:2018-08-30
申请号:JP2016085947
申请日:2016-12-02
Applicant: 株式会社フジクラ
Inventor: 荒井 大輔
CPC classification number: H01J47/008 , H01J47/06
Abstract: ガス検出器(100)に用いられるイオンフィルター(1)を提供する。絶縁性基材(11)と、絶縁性基材(11)の一方主面に形成された第1導電層パターン(12)と、絶縁性基材(11)の他方主面に形成された第2導電層パターン(13)と、絶縁性基材(11)の厚さ方向に沿って形成された複数の貫通孔(30)と、を有し、絶縁性基材(11)の一方主面が、ガス検出器(100)における電子の移動方向の上流側に配置され、絶縁性基材(11)の他方主面が、ガス検出器における電子の移動方向の下流側に配置され、第1導電層パターン(12)の線幅(W12)が、第2導電層パターン(13)の線幅(W13)よりも太い。
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公开(公告)号:JP2016062735A
公开(公告)日:2016-04-25
申请号:JP2014189317
申请日:2014-09-17
Applicant: 株式会社フジクラ
Inventor: 荒井 大輔
Abstract: 【課題】電子増幅器100に用いられるイオンフィルター10を提供する。 【解決手段】 絶縁性基材11と、絶縁性基材11の一方主面に形成された第1導電層12と、絶縁性基材11の他方主面に形成された第2導電層13と、絶縁性基材11の厚さ方向に沿って形成された複数の貫通孔30と、を有し、第1導電層12の第1厚さth1と、第2導電層13の第2厚さth2とを異なるように構成する。 【選択図】 図2C
Abstract translation: 要解决的问题:提供一种用于电子放大器100的离子过滤器10.解决方案:一种离子过滤器包括:绝缘基材11; 形成在绝缘基材11的一个主表面上的第一导电层12; 形成在绝缘基材11的另一个主表面上的第二导电层13; 以及沿着绝缘基材11的厚度方向形成的多个通孔30.在离子过滤器中,第一导电层12的第一厚度th1与第二导电层13的第二厚度th2不同。选择的图 :图2C
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公开(公告)号:JP2016062736A
公开(公告)日:2016-04-25
申请号:JP2014189318
申请日:2014-09-17
Applicant: 株式会社フジクラ
Inventor: 荒井 大輔
Abstract: 【課題】電子増幅器100に用いられるイオンフィルター10を提供する。 【解決手段】 複数の貫通孔が形成される絶縁性基材11と、絶縁性基材の一方主面上に形成された第1導電層パターン12と、絶縁性基材の他方主面上に形成された第2導電層パターン13と、を有し、絶縁性基材の一方主面側が、電子増幅器における電子の移動方向の上流側に配置され、絶縁性基材の他方主面側が、電子増幅器における電子の移動方向の下流側に配置され、第1導電層パターン12の線幅が、前記第2導電層パターン13の線幅よりも短くなるように構成する。 【選択図】 図2C
Abstract translation: 要解决的问题:提供一种用于电子放大器100的离子过滤器10.解决方案:一种离子过滤器包括:绝缘基材11,其包括形成在其中的多个通孔; 形成在绝缘基材的一个主表面上的第一导电层图案12; 以及形成在绝缘基材的另一个主表面上的第二导电层图案13。 绝缘基材的一个主表面的一侧被布置在电子放大器中的电子移动方向的上游侧,绝缘基材的另一个主表面的一侧被布置在下游侧的运动 电子放大器中的电子方向,第一导电层图案12的线宽比第二导电层图案13的线宽短。图2C
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公开(公告)号:JP2017062978A
公开(公告)日:2017-03-30
申请号:JP2015188358
申请日:2015-09-25
Applicant: 株式会社フジクラ
Inventor: 荒井 大輔
Abstract: 【課題】ガス電子増幅器2を備えるTPC(Time Projection Chamber)100において用いられるイオンフィルター1を提供する。 【解決手段】 イオンフィルター1は、絶縁性基材11と、絶縁性基材11の一方主面に形成された第1導電層パターン12と、絶縁性基材11の他方主面に形成された第2導電層パターン13と、絶縁性基材11の厚さ方向に沿って形成された複数の貫通孔30と、を有し、絶縁性基材11は、その絶縁性基材11の内部に一又は複数の空孔11aを有する。 【選択図】 図2D
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公开(公告)号:JP2016062734A
公开(公告)日:2016-04-25
申请号:JP2014189316
申请日:2014-09-17
Applicant: 株式会社フジクラ
Abstract: 【課題】電子増幅器100に用いられるイオンフィルター10の製造方法を提供する。 【解決手段】 絶縁性基材と、絶縁性基材11の一方主面に第1の材料で形成された導電層12Aと、絶縁性基材11の他方主面に、第1の材料とは異なる第2の材料で形成された導電層13Aと、を備えた基材を準備する工程と、一方主面に形成された導電層12Aの所定領域を除去して所定パターンの第1導電層12を形成する工程と、一方主面側からレーザーを照射して又はエッチング液を用いて、絶縁性基材11の所定領域に対応する領域を除去する工程と、所定領域が除去された基材10Aの両面側からエッチング液を作用させて、他方主面に形成された導電層13Aのうち所定領域に対応する領域を除去する工程と、を有するイオンフィルターの製造方法を提供する。 【選択図】 図3
Abstract translation: 要解决的问题:提供一种用于电子放大器100中的离子过滤器10的制造方法。解决方案:提供一种离子过滤器的制造方法,包括以下步骤:制备基材,其包括绝缘基材, 在绝缘基材11的一个主表面上由第一材料形成的导电层12A和由绝缘基材11的另一主表面上的与第一材料不同的第二材料形成的导电层13A; 去除形成在一个主表面上的导电层12A的预定区域以形成预定图案的第一导电层12; 从一个主表面的侧面施加激光束,或者使用蚀刻剂去除对应于绝缘基材11的预定区域的区域; 并允许蚀刻剂从预定区域被去除的基材10A的两个表面侧起作用,从而去除与形成在另一个主表面上的导电层13A的预定区域相对应的区域。图3
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