公开(公告)号：JP2021006460A

公开(公告)日：2021-01-21

申请号：JP2017177363

申请日：2017-09-15

Applicant: 株式会社堀場エステック ,  ホリバ ユーケー リミテッド

Inventor： 林 達也 ,  谷口 信次 ,  青 重治

IPC: B67D7/78 ,  B67D7/02

Abstract: 【課題】本発明は、液体供給管や供給先を低圧に保ちながら、液体材料を所望の高さまで持ち上げる。 【解決手段】液体材料を供給先へ供給する液体材料供給装置であって、前記液体材料が貯留される貯留容器と、前記貯留容器に貯留された液体材料の液面よりも高い位置において前記供給先と接続され、前記貯留容器から前記供給先へ液体材料を供給する液体供給管と、前記貯留容器に貯留された液体材料を、前記貯留容器内よりも前記液体供給管内が低圧になるように減圧し、前記貯留容器内へ気体を供給することによって前記液体供給管内へ供給するように構成されている供給機構と、を具備する。 【選択図】図1

公开(公告)号：JP5739320B2

公开(公告)日：2015-06-24

申请号：JP2011286803

申请日：2011-12-27

Applicant: 株式会社堀場エステック

Inventor： 林 達也 ,  井本 良臣

IPC: H01L21/31 ,  C23C16/448

公开(公告)号：JP2016201109A

公开(公告)日：2016-12-01

申请号：JP2016076243

申请日：2016-04-06

Applicant: 株式会社堀場エステック

Inventor： 鹿島 利弘 ,  本田 興平 ,  林 達也

IPC: B01F15/04 ,  G05D11/13

CPC classification number: G05D11/132

Abstract: 【課題】混合流体の目標総流量又は目標混合比が変更された場合に生じる各成分流体の実流量が変化する変化区間においても混合流体の実総流量又は実混合比を一定に保つことができる流量比率制御装置を提供する。 【解決手段】前記各流量制御装置に設定される各目標流量が、変更前目標流量値から変更後目標流量値へと目標流量値が連続的に変化する連続変化区間をそれぞれ具備し、各連続変化区間の時間の長さが、各流量制御装置のうち目標流量に対する成分流体の実流量の応答速度の最も遅い流量制御装置が、前記連続変化区間において目標流量に対して成分流体の実流量を実質的に追従させることができる追従可能時間以上に設定した。 【選択図】図1

Abstract translation: A可以保持实际的总流量或混合流体的实际混合比甚至改变的是，当目标总流量或目标混合混合流体被改变的比率被改变为恒定发生各组分的流体间隔实际流率 提供流量比控制器。 相应的目标流量中的每个流动控制装置的设定，所述目标流量值分别设置的连续变化部分连续地改变从变更前的目标流量值的目标流量值之后改变，每个连续的 时间变化的时间间隔，所述流量控制装置的目标流量的组分流体的响应速度的实际流率的最慢的流率控制装置的长度，该部件的流体的实际流率相对于在连续变化的时间间隔的目标流量 据上述设定遵循可能小时可基本上遵循。 点域1

公开(公告)号：JP5702139B2

公开(公告)日：2015-04-15

申请号：JP2010515300

申请日：2010-04-19

Applicant: 株式会社堀場エステック

Inventor： 家城 孝之 ,  林 達也

IPC: H01L21/205 ,  C23C16/448

CPC classification number: B01B1/02 ,  B01D1/14 ,  B01D1/30