公开(公告)号：JP6548179B1

公开(公告)日：2019-07-24

申请号：JP2018051579

申请日：2018-03-19

Applicant: 株式会社PARAM

Inventor： 安田 洋 ,  大饗 義久 ,  柴岡 達哉 ,  村田 英一

IPC: H01J37/06 ,  H01L21/027 ,  H01J1/148 ,  H01J37/065

Abstract: 【課題】電子銃の高輝度化と長寿命化を達成する。 【解決手段】主としてLaB 6 またはCeB 6 を元にした電子銃陰極材料105を用いた電子銃に関する。電子銃陰極材料105を保持する真空室内部に、メタンガスまたはエタンガスを1×10 −4 pascal以下の真空分圧となるように流入せしめて、1000℃から1500℃の温度範囲で加熱する。 【選択図】図1

公开(公告)号：JP2018147871A

公开(公告)日：2018-09-20

申请号：JP2017101230

申请日：2017-05-22

Applicant: 株式会社PARAM

Inventor： 安田 洋 ,  大饗 義久 ,  村田 英一

IPC: H01J37/06 ,  G03F7/20 ,  H01L21/027 ,  H01J1/148

Abstract: 【課題】低仕事関数で高輝度の電子銃陰極を提供する。 【解決手段】ランタンまたはセリウム原子と、炭素原子と硼素原子が所定の隣接距離で結合した陰極材料からなる電子銃。本電子銃陰極の仕事関数はLaB6またはCeB6の仕事関数が、2.7eVであるのに対して、炭素原子を拡散または混入または結合させることにより、1.7eV以下に低減させることができ、1200℃以下の低温動作にて50kVで10 7 A/cm 2 steradianの輝度の達成が可能となる。仕事関数の低減により、高輝度低温動作が可能となる。真空度は10 −7 pascal以上の高真空で酸素濃度が硼素原子と炭素原子を燃焼させないようにして長寿命化を図る。また、炭素原子の供給物を陰極材料ないしヒータに付着せしめて供給源とすることで、さらなる長寿命化が可能となる。 【選択図】図1

公开(公告)号：JP2019164920A

公开(公告)日：2019-09-26

申请号：JP2018051579

申请日：2018-03-19

Applicant: 株式会社PARAM

Inventor： 安田 洋 ,  大饗 義久 ,  柴岡 達哉 ,  村田 英一

IPC: H01J37/065 ,  H01J37/06 ,  H01L21/027 ,  H01J37/075

Abstract: 【課題】電子銃の高輝度化と長寿命化を達成する。 【解決手段】主としてLaB 6 またはCeB 6 を元にした電子銃陰極材料105を用いた電子銃に関する。電子銃陰極材料105を保持する真空室内部に、メタンガスまたはエタンガスを1×10 −4 pascal以下の真空分圧となるように流入せしめて、1000℃から1500℃の温度範囲で加熱する。 【選択図】図1