公开(公告)号：JP6548179B1

公开(公告)日：2019-07-24

申请号：JP2018051579

申请日：2018-03-19

Applicant: 株式会社PARAM

Inventor： 安田 洋 ,  大饗 義久 ,  柴岡 達哉 ,  村田 英一

IPC: H01J37/06 ,  H01L21/027 ,  H01J1/148 ,  H01J37/065

Abstract: 【課題】電子銃の高輝度化と長寿命化を達成する。 【解決手段】主としてLaB 6 またはCeB 6 を元にした電子銃陰極材料105を用いた電子銃に関する。電子銃陰極材料105を保持する真空室内部に、メタンガスまたはエタンガスを1×10 −4 pascal以下の真空分圧となるように流入せしめて、1000℃から1500℃の温度範囲で加熱する。 【選択図】図1

公开(公告)号：JP2019164920A

公开(公告)日：2019-09-26

申请号：JP2018051579

申请日：2018-03-19

Applicant: 株式会社PARAM

Inventor： 安田 洋 ,  大饗 義久 ,  柴岡 達哉 ,  村田 英一

IPC: H01J37/065 ,  H01J37/06 ,  H01L21/027 ,  H01J37/075

Abstract: 【課題】電子銃の高輝度化と長寿命化を達成する。 【解決手段】主としてLaB 6 またはCeB 6 を元にした電子銃陰極材料105を用いた電子銃に関する。電子銃陰極材料105を保持する真空室内部に、メタンガスまたはエタンガスを1×10 −4 pascal以下の真空分圧となるように流入せしめて、1000℃から1500℃の温度範囲で加熱する。 【選択図】図1

公开(公告)号：JP2019153563A

公开(公告)日：2019-09-12

申请号：JP2018040251

申请日：2018-03-06

Applicant: 株式会社PARAM

Inventor： 安田 洋 ,  大饗 義久 ,  柴岡 達哉

IPC: H01L21/027 ,  G03F7/20 ,  H01J37/065

Abstract: 【課題】電子銃の寿命を長くする。 【解決手段】主としてLaB6またはCeB6を元にした電子銃陰極材料101を用いた電子銃に関する。電子銃陰極材料は円柱軸として電子銃の中心軸に存在する。電子銃陰極材料101の円柱軸をカバーするごとく金属レニウムの円筒ないし、円錐台形からなるカバー部(レニウムカバー102)を付加してもって電子銃陰極全体を構成する。電子銃先端円形表面から出る電子を熱電子として使用する。電子銃の使用温度において、電子銃先端面から真空内へ蒸発し、消耗する電子銃陰極材料を補償するように、消耗した電子銃陰極材料101を電子銃先端方向に向かって、直線的に一方向へ機械的に駆動せしめて、電子銃先端面の高さを維持することにより、電子銃全体としての寿命を長くする。電子銃陰極材料はLaB6またはCeB6以外の電子銃陰極材料を用いても良い。 【選択図】図1