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公开(公告)号：JP2020023411A
公开(公告)日：2020-02-13
申请号：JP2018148114
申请日：2018-08-07
Applicant: 株式会社SUMCO
Abstract: 【課題】石英ガラスルツボの大型化によって生じる、直胴部の内側への倒れ込みや変形を防止することを可能とし、さらに、特性の異なる複数の層を有する石英ガラスルツボにおいて、それらの層が直接接する境界部において密度差によって生じる剥離を防止する石英ガラスルツボ、およびかかる石英ガラスルツボの製造方法の提供。 【解決手段】直胴部と底部を有するシリコン単結晶引上用石英ガラスルツボ8において、直胴部上部では密度が低く、底部では密度が高いことを特徴とするシリコン単結晶引上用石英ガラスルツボ8。直胴部と底部を有し、複数層からなるシリコン単結晶引上用石英ガラスルツボ8において、外層と内層とが接する境界部において、それぞれの層の密度差が0.0014g/cm 3 以下であることを特徴とするシリコン単結晶引上用石英ガラスルツボ8。 【選択図】図2
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公开(公告)号：JP2019119619A
公开(公告)日：2019-07-22
申请号：JP2017253107
申请日：2017-12-28
Applicant: 株式会社SUMCO
Abstract: 【課題】シリカガラスルツボのガラス構造を非破壊で測定して、シリコン単結晶の引き上げ時に転位の発生を抑制することができるシリカガラスルツボを高精度に見極めること。 【解決手段】本発明のシリカガラスルツボの評価方法は、測定対象となるシリカガラスルツボについてシリコン単結晶の引き上げを行う前のラマンスペクトルである使用前ラマンスペクトルを取得する工程と、シリカガラスルツボについてシリコン単結晶の引き上げを行った後のラマンスペクトルである使用後ラマンスペクトルを取得する工程と、使用前ラマンスペクトルから使用後ラマンスペクトルへの遷移に基づきシリカガラスルツボの評価を行う工程と、を備える。 【選択図】図12
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公开(公告)号：JP2019119617A
公开(公告)日：2019-07-22
申请号：JP2017253105
申请日：2017-12-28
Applicant: 株式会社SUMCO
Abstract: 【課題】シリカガラスルツボのガラス構造を非破壊で測定して、シリコン単結晶の引き上げ時に転位の発生を抑制することができるシリカガラスルツボを高精度に見極めること。 【解決手段】本発明のルツボ測定装置は、円筒状の側壁部と、湾曲した底部と、側壁部と底部との間に設けられ底部の曲率よりも高い曲率を有するコーナ部と、を備えるシリカガラスルツボを測定するルツボ測定装置であって、測定対象となるシリカガラスルツボの全体を覆うように設けられた遮光部と、遮光部内に設けられ、シリカガラスルツボに向けてレーザ光を出射する発光部と、遮光部内に設けられ、発光部から出射されたレーザ光のシリカガラスルツボでのラマン散乱光を受ける受光部と、受光部で受けたラマン散乱光からラマンスペクトルを得る演算部と、を備える。 【選択図】図5
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公开(公告)号：JPWO2017110966A1
公开(公告)日：2018-06-21
申请号：JP2016088284
申请日：2016-12-22
Applicant: 株式会社SUMCO
Abstract: 変形前のシリカガラスルツボを調査して原因を特定することが出来ない、という問題を解決すること。 シリカガラスルツボの内表面に向かってレーザー光を照射し、内表面反射光を検出する内部反射光検出手段と、検出結果に基づいて内表面距離を算出する内部距離算出手段と、内表面距離と当該内表面距離の算出元となる内表面反射光を検出した際の内部反射光検出手段の位置を示す三次元座標とに基づいて内表面座標を算出する座標算出手段と、シリカガラスルツボの内表面の画像データを取得する内表面画像データ取得手段と、内表面画像データ取得手段が取得した画像データと当該画像データの撮影箇所を示す内表面座標とを対応付けた情報をシリカガラスルツボごとのルツボデータ情報として記憶するルツボデータ情報記憶手段と、を有する。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：JP2017202974A
公开(公告)日：2017-11-16
申请号：JP2017123012
申请日：2017-06-23
Applicant: 株式会社SUMCO
CPC classification number: G01N21/23 , C03C3/04 , C30B15/10 , C30B29/06 , G01L1/24 , G01L5/0047 , H04N5/232 , G01N2201/062 , G01N2201/0683
Abstract: 【課題】石英ガラスルツボ全体の歪み分布を非破壊で測定すること。 【解決手段】歪み測定装置は、石英ガラスルツボ1にその外側から投光する光源11と、光源11と石英ガラスルツボ1の壁体の外表面との間に配置された第1の偏光板12及び第1の1/4波長板13と、石英ガラスルツボ1の内側に配置されたカメラ14と、カメラ14の撮影方向を制御するカメラ制御機構15と、カメラ14と石英ガラスルツボ1の壁体の内表面との間に配置された第2の偏光板16及び第2の1/4波長板17とを備える。第2の1/4波長板17の光学軸は第1の1/4波長板13の光学軸に対して90度傾けられている。カメラ14は、光源11から投光され、第1の偏光板12、第1の1/4波長板13、石英ガラスルツボ1の壁体、第2の1/4波長板17及び第2の偏光板16を通過した光を撮影する。 【選択図】図1
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公开(公告)号：JP2017194471A
公开(公告)日：2017-10-26
申请号：JP2017097303
申请日：2017-05-16
Applicant: 株式会社SUMCO
CPC classification number: Y02P40/57
Abstract: 【課題】無気泡層を備えるシリカガラスルツボを安定して製造できるシリカ粉の評価方法を提供する。 【解決手段】シリカ粉におけるシリカ粒子間の間隙率を測定する工程と、前記シリカ粉を熔融する工程と、熔融シリカ粉を冷却し硬化させたシリカガラスブロックの気泡含有率を測定する工程と、前記シリカ粉における間隙率と前記シリカガラスブロックの気泡含有率から好適なシリカ粉であるか否かを判定する工程と、を有する、シリコン単結晶引上げ用シリカガラスルツボにおける無気泡層の形成に好適なシリカ粉の評価方法である。 【選択図】図1
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