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公开(公告)号：JPWO2021070820A1
公开(公告)日：2021-10-28
申请号：JP2020037874
申请日：2020-10-06
Applicant: 浜松ホトニクス株式会社
Abstract: 本発明の光検出装置(1A)は、配線基板(7)と、配線基板(7)の実装面(7a)に配置された第1支持部(91)と、互いの距離が可変とされた第1ミラー部及び第2ミラー部を有し、第1支持部(91)の第1支持領域に外縁部が配置されたファブリペロー干渉フィルタ(10)と、第1支持部(91)の一方の側において第1ミラー部及び第2ミラー部と向かい合うように実装面(7a)に配置された光検出器(61)と、実装面(7a)に配置された温度検出器(62)と、を備え、温度検出器(62)は、実装面(7a)に垂直な第1方向(Z)から見た場合に温度検出器(62)の少なくとも一部がファブリペロー干渉フィルタ(10)の一部と重なるように、且つ第1支持部(91)と光検出器(61)とが並ぶ第2方向(X)から見た場合に温度検出器(62)の少なくとも一部が第1支持部(91)の一部と重なるように、実装面(7a)に配置されており、第2方向(X)における温度検出器(62)と第1支持部(91)との間の第1距離(D3)は、第2方向(X)における第1支持領域の第1幅(W1)よりも小さい。
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公开(公告)号：JP2021063812A
公开(公告)日：2021-04-22
申请号：JP2020199631
申请日：2020-12-01
Applicant: 浜松ホトニクス株式会社
Abstract: 【課題】結露、割れ、温度均一性を改善した光検出装置を提供する。 【解決手段】光検出装置1Bは、互いの距離が可変とされた第1ミラー及び第2ミラーを有するファブリペロー干渉フィルタ10と、ファブリペロー干渉フィルタに対して一方の側に配置された光検出器と、ファブリペロー干渉フィルタに対して他方の側に位置する開口を有するパッケージ2と、ファブリペロー干渉フィルタ及び光検出器と熱的に接続された温度調節素子50と、を備える。光検出器は、パッケージに形成された凹部の底面に配置されている。ファブリペロー干渉フィルタは、凹部に対して他方の側に位置するようにパッケージに形成された拡幅部の底面に配置されている。温度調節素子は、パッケージの壁部のうち、少なくとも凹部の底面に対応する部分に埋設されている。 【選択図】図6
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公开(公告)号：JPWO2018230567A1
公开(公告)日：2020-04-16
申请号：JP2018022446
申请日：2018-06-12
Applicant: 浜松ホトニクス株式会社
Inventor： テイチマン ヘルムート , デュランディ アンドレアス , ザイツ ピーター , 笠原 隆 , 柴山 勝己
Abstract: 本発明は、信頼性の高い光学フィルタシステムを提供することを目的とする。 本発明の光学フィルタシステムは、ファブリペロー干渉フィルタ(1)と、ファブリペロー干渉フィルタを制御するコントローラ(51)と、を備える。ファブリペロー干渉フィルタ(1)は、第1ミラー部(31)と、第2ミラー部(32)と、第1ミラー部(31)に設けられた第1駆動電極(12)及び第1モニタ電極(13)と、第2ミラー部(32)に設けられた第2駆動電極(14)及び第2モニタ電極(15)、を備える。コントローラ(51)は、第1モニタ電極(13)と第2モニタ電極(15)との間に交流電流が印加されている際に第1モニタ電極(13)と第2モニタ電極(15)との間に発生する交流電圧に基づいて第1ミラー部(31)と第2ミラー部(32)との間の静電容量を算出する制御部(55)を備える。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：JP2019096641A
公开(公告)日：2019-06-20
申请号：JP2017221853
申请日：2017-11-17
Applicant: 浜松ホトニクス株式会社
Abstract: 【課題】 ファブリペロー干渉フィルタを安定して脱離させることが可能な吸着方法を提供する。 【解決手段】 吸着方法は、基板11と、基板11上に設けられ、基板11と反対側に臨む主面20sを含む積層構造部20と、を備えるファブリペロー干渉フィルタ1を、吸着コレット100を用いて吸着する方法である。この方法は、主面20sに対向するように吸着コレット100を配置する第1工程と、第1工程の後に、吸着コレット100をファブリペロー干渉フィルタ1に接触させる第2工程と、第2工程の後に、吸着コレット100によってファブリペロー干渉フィルタ1を吸着する第3工程と、を備える。 【選択図】図6
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公开(公告)号：JPWO2017203949A1
公开(公告)日：2019-03-22
申请号：JP2017017172
申请日：2017-05-01
Applicant: 浜松ホトニクス株式会社
Abstract: ファブリペロー干渉フィルタ1は、第1表面11aを有する基板11と、第1表面11aに配置された第1ミラー部31を有する第1積層体22と、空隙Sを介して第1ミラー部31と対向する第2ミラー部32を有する第2積層体24と、第1積層体22と第2積層体24との間において空隙Sを画定する中間層23と、を備える。基板11は、第1表面11aに垂直な方向から見た場合に中間層23の外縁よりも外側に位置する外縁部11cを有する。第2積層体24は、中間層23を被覆する被覆部33と、外縁部11cにおける第1表面11a上に位置する周縁部34と、を更に有する。第2ミラー部32、被覆部33及び周縁部34は、互いに連続するように一体的に形成されている。周縁部34は、外縁部11cの外縁に沿って薄化されている。
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公开(公告)号：JP2017161336A
公开(公告)日：2017-09-14
申请号：JP2016045513
申请日：2016-03-09
Applicant: 浜松ホトニクス株式会社
Abstract: 【課題】パッケージ内に光を入射させるための光透過部材において結露や割れが発生するのを抑制しつつ、ファブリペロー干渉フィルタ及び光検出器を均一な温度に維持することができる光検出装置を提供する。 【解決手段】光検出装置1Aは、光透過領域10aがラインL上に設けられたファブリペロー干渉フィルタ10と、ラインL上においてファブリペロー干渉フィルタ10に対して一方の側に配置された光検出器8と、ラインL上においてファブリペロー干渉フィルタ10に対して他方の側に位置する開口2aを有するパッケージ2と、開口2aを塞ぐようにパッケージ2に設けられた光透過部材13と、ファブリペロー干渉フィルタ10及び光検出器8と熱的に接続された吸熱領域50aを有する温度調節素子50と、を備える。吸熱領域50aは、ラインL上において光検出器8に対して一方の側に位置している。 【選択図】図1
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公开(公告)号：JP5988690B2
公开(公告)日：2016-09-07
申请号：JP2012114341
申请日：2012-05-18
Applicant: 浜松ホトニクス株式会社
CPC classification number: G01J3/26 , G01J3/0259 , G01J3/0262 , G01J3/0289 , G01J3/36 , G01J3/51
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