그래핀 투명 전극 및 이를 포함하는 플렉시블 실리콘 박막 반도체 소자
    9.
    发明申请
    그래핀 투명 전극 및 이를 포함하는 플렉시블 실리콘 박막 반도체 소자 审中-公开
    透明石墨电极和含有其的柔性硅薄膜半导体器件

    公开(公告)号:WO2011081473A2

    公开(公告)日:2011-07-07

    申请号:PCT/KR2010/009555

    申请日:2010-12-30

    CPC classification number: H01L29/458

    Abstract: 본원은 그래핀 투명 전극, 이를 포함하는 플렉시블 실리콘 박막 반도체 소자 및 그의 제조 방법에 관한 것으로서, 화학 기상 증착법을 이용하여 제조되는 대면적 그래핀 필름을 도전막으로서 포함하는 그래핀 투명 전극을 이용하여 플렉시블하고 투명한 박막 반도체 소자를 용이하게 제조할 수 있다.

    Abstract translation: 透明石墨烯电极及其制备方法技术领域本发明涉及透明石墨烯电极,含有该透明石墨烯电极的柔性硅薄膜半导体装置及其制备方法。 通过使用包含通过化学气相沉积制备的大面积石墨烯膜作为导电膜的透明石墨烯电极,可以容易地制备柔性和透明的薄膜半导体器件。

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