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公开(公告)号：KR20210034263A
公开(公告)日：2021-03-30
申请号：KR1020190115966A
申请日：2019-09-20
Applicant: 한국기초과학지원연구원
CPC classification number: G01N21/8806 , G01N21/55 , G02B17/0808 , G02B7/003
Abstract: 본 발명에 따른 자외선 현미경용 대물렌즈는 피검체의 표면 검사를 위한 자외선 현미경에 구성될 수 있다. 여기에서, 자외선 현미경용 대물렌즈는 광축을 중심으로 정렬되어 구성된 부경; 및 중앙에 관통공이 형성되는 주경;을 포함하여 구성되되, 상기 부경은, 상기 자외선 현미경에 구성된 자외선 광원으로부터 출력되며 상기 주경의 관통공을 통과하여 입사되는 입사광을 향해 볼록형 반사면이 구성되고, 상기 주경은, 상기 부경으로부터 반사되는 입사광을 향해 오목형의 비구면 반사면이 구성되어, 상기 부경으로부터 반사되는 입사광을 피검체의 표면에 집속시키도록 구성되고, 상기 자외선 광원과 상기 부경의 광경로 사이에 구성되어, 상기 자외선 광원에서 출력되는 출력광의 직경을 변경시켜 상기 입사광을 부경으로 출력하는 콜리메이션부;를 더 포함하여 구성된다.
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2.发明专利
公开(公告)号：KR20210030871A
公开(公告)日：2021-03-18
申请号：KR1020200113301A
申请日：2020-09-04
Applicant: 한국기초과학지원연구원 , 광주과학기술원 , 기초과학연구원
Abstract: 광원에서 방출되는 입사 빔을 반사하여 라게르-가우시안 빔을 생성하기 위한 일 실시 예에 따른 나선형 위상 플레이트는, 가장 단차가 낮은 지점으로부터 가장 단차가 높은 지점까지 일 방향으로 갈수록, 단위 각도당 단차 증가율이 감소하는 제 1 사분 영역과, 상기 일 방향으로 갈수록 단위 각도당 단차 증가율이 증가하는 제 2 사분 영역을 포함할 수 있다.
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公开(公告)号：WO2014175515A1
公开(公告)日：2014-10-30
申请号：PCT/KR2013/008285
申请日：2013-09-13
Applicant: 한국기초과학지원연구원
Abstract: 본 발명은 근접장 렌즈 고정장치에 있어서 제1어댑터와 제1어댑터의 내면에서 제1오링을 가압하는 제2어댑터와 제4어댑터의 내면에 제3어댑터와 제3어댑터의 외면에 제2오링을 가압하는 제4어댑터 및 적외선 대물렌즈 경통 외면을 탄력 고정하는 제1오링 및 제2오링과 근접장렌즈를 제1어댑터에 장착하는 근접장 렌즈홀더를 포함하여 형성하는 것을 특징으로 하는 근접장 렌즈 고정장치이다
Abstract translation: 本发明涉及一种用于近场透镜的定影装置，包括：第一适配器; 第二适配器，对第一适配器的内表面上的第一O形环加压; 在第四适配器的内表面上的第三适配器; 第四适配器，在所述第三适配器的外表面上加压第二O形环; 所述第一O形环和所述第二O形环弹性固定红外线镜筒的外表面; 以及用于将近场透镜安装在第一适配器中的近场透镜保持器。
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公开(公告)号：WO2012086942A2
公开(公告)日：2012-06-28
申请号：PCT/KR2011/009268
申请日：2011-12-01
CPC classification number: G01K3/06 , G01J5/0003 , G01J5/047 , G01J5/0803 , G01J5/0806 , G01J5/0809 , G01J5/0846 , G01J2005/0077 , G01J2005/0081 , G01K11/125
Abstract: 본 발명은 3차원 구조를 가지는 시료에 대한 온도분포를 비접촉식으로 측정할 수 있는 온도분포 측정장치에 관한 것으로, 보다 상세하게는 색분산 렌즈, 회절분광기, 광검출 어레이를 이용하여 시료의 깊이 방향(Z방향)의 온도분포를 열반사법으로 측정하고, 2축 주사 거울을 이용하여 시료의 평행방향(x-y 축 방향)의 온도분포를 열반사법으로 측정함으로써 시료의 3차원 온도분포를 측정할 수 있도록 한 온도분포 측정장치를 제공한다.
Abstract translation: 本发明涉及一种用于测量温度分布的装置，其可以在不接触具有三维结构的样品的情况下测量温度分布。 更具体地，用于测量温度分布的装置可以测量样品的三维温度分布，其中通过使用色散透镜的热反射方法测量样品的深度方向（方向z）的温度分布， 衍射光谱仪和光学检测阵列; 并且通过使用双轴扫描反射镜的热反射法测量样品的平行方向（方向x-y轴）的温度分布。
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公开(公告)号：WO2011059232A2
公开(公告)日：2011-05-19
申请号：PCT/KR2010/007923
申请日：2010-11-10
CPC classification number: G02B13/14 , G02B21/0008 , G02B21/0016 , G02B21/02 , G02B23/12
Abstract: 본 발명은 열영상 현미경용 광학계에 관한 것이다. 본 발명은 초점을 맺는 결상부; 및 광경로를 늘려주는 릴레이부;를 포함하고, 상기 결상부는 여섯 개의 렌즈로 이루어지고, 상기 릴레이부는 두 개의 렌즈로 이루어지며, 렌즈의 비구면은 모두 볼록면으로 형성된 것을 특징으로 하는 열영상 현미경용 광학계를 제공한다. 따라서 본 발명에 의하면 광학적 성능이 향상될 수 있다.
Abstract translation: 本发明涉及用于热成像显微镜的光学系统。 聚焦元件本发明涉及一种聚焦元件， 并增加了光路中继部;包括与所述图像形成单元由六个透镜，中继单元2与镜头进行，热成像显微镜，其特征在于，所有的非球面透镜的凸表面的形成 光学系统。 因此，根据本发明，可以提高光学性能。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：WO2021049867A1
公开(公告)日：2021-03-18
申请号：PCT/KR2020/012155
申请日：2020-09-09
Applicant: 한국기초과학지원연구원 , 기초과학연구원 , 광주과학기술원
Abstract: 광원에서 방출되는 입사 빔을 반사하여 라게르-가우시안 빔을 생성하기 위한 일 실시 예에 따른 나선형 위상 플레이트는, 가장 단차가 낮은 지점으로부터 가장 단차가 높은 지점까지 일 방향으로 갈수록, 단위 각도당 단차 증가율이 감소하는 제 1 사분 영역과, 상기 일 방향으로 갈수록 단위 각도당 단차 증가율이 증가하는 제 2 사분 영역을 포함할 수 있다.
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公开(公告)号：WO2017018649A1
公开(公告)日：2017-02-02
申请号：PCT/KR2016/005461
申请日：2016-05-24
Applicant: 한국기초과학지원연구원
Abstract: 본 발명은 산업용 현미경의 수백 나노미터급 초고분해능 구현을 위해 200 nm 이하 짧은 파장을 가지면서, 파장을 가변할 수 있고, 고출력의 안정된 광출력 특성을 지닌 레이저 발진 장치와 그 발진 방법을 제공하기 위한 것으로, 본 발명의 UV 레이저 발진 장치는 펌핑광 입력부(110), 광 출력부(120), 가스 주입구(130) 및 가스 배출구(140)를 포함하는 L형 진공 챔버(100), 상기 펌핑광 입력부(110)에 삽입되는 제1 렌즈(210), 상기 광 출력부(120)에 삽입되는 제2 렌즈(220) 및 제2 렌즈의 후단에 설치되는 필터(300) 및 금속형 소스가 지지되는 소스홀더(400) 및 모터(510)와 구동축(520)을 포함하는 구동부(500)를 포함하여 구성된다.
Abstract translation: 本发明的目的是提供一种具有200nm以下的短波长的波长可调谐的激光振荡装置，具有稳定的高输出光功率，从而达到数百纳米级 - 工业显微镜的高分辨率和激光振荡装置的振荡方法。 本发明的紫外激光振荡装置包括：L形真空室（100），包括泵浦光输入部分（110），光输出部分（120），气体注入孔（130）和排气孔 （140）; 插入到所述泵浦光输入部（110）中的第一透镜（210）; 插入光输出部分（120）中的第二透镜（220）; 安装在第二透镜后面的过滤器（300） 用于支撑金属源的源支架（400）; 以及包括马达（510）和驱动轴（520）的驱动部分（500）。
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公开(公告)号：WO2014175501A3
公开(公告)日：2014-10-30
申请号：PCT/KR2013/004639
申请日：2013-05-28
Applicant: 한국기초과학지원연구원
Abstract: 본 발명은 본체의 내부에 정밀부품을 이동시킴과 동시에 상기 본체의 입구를 자동으로 밀폐되도록 하여, 방청액이 외부로 누출되는 것을 차단할 수 있는 정밀부품의 침지식 방청액 도포장치를 제공하는 것으로, 내부에 방청액이 수용되는 수용공간이 구비되고, 상부에 상기 수용공간을 개방하는 개구부가 형성된 본체와; 하단이 상기 수용공간에 배치되고, 상단이 상기 본체의 상부에 배치되며, 상기 본체에 상하 이동 가능하게 장착되는 가이드축과; 상기 본체의 측부에 장착되고, 상기 가이드축과 연결되어 상기 가이드축을 상하 이동시키는 구동수단과; 상기 가이드축의 하단에 장착되며, 상부에 방청액을 도포할 정밀부품이 안착되는 안착대와; 상기 가이드축의 상단에 연결되며, 상기 가이드축 하강시 상기 본체의 개구부를 밀폐하는 덮개수단;을 포함하여 형성한다.
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公开(公告)号：WO2018038427A1
公开(公告)日：2018-03-01
申请号：PCT/KR2017/008594
申请日：2017-08-09
Applicant: 한국기초과학지원연구원
IPC: G02B5/00 , G01N21/552 , G02B3/00
CPC classification number: G01N21/552 , G02B3/00 , G02B5/00
Abstract: 본 발명에 따른 원거리장(far-field) 플라즈모닉 렌즈는 양의 유전율을 가지는 베이스 기판; 및 음의 유전율을 가지며, 상기 베이스 기판의 상부에 일정 단면적을 가지고 길이 방향으로 연장되어 형성되는 나노 구조체 어레이;를 포함하되, 상기 나노 구조체 어레이는 중심 위치에 형성되는 제1 나노 구조체와, 상기 제1 나노 구조체를 중심으로 이격 배열된 복수의 제2 나노 구조체를 포함한다.
Abstract translation: 根据本发明的远场等离子体激元透镜包括具有正介电常数的基底基板; 以及纳米结构阵列，具有负的介电常数并且在所述基础衬底上沿纵向以预定的横截面积延伸，其中所述纳米结构阵列包括形成在中心位置处的第一纳米结构， 并且多个第二纳米结构间隔大约一个纳米结构。
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公开(公告)号：WO2016089045A1
公开(公告)日：2016-06-09
申请号：PCT/KR2015/012819
申请日：2015-11-27
Applicant: 경남대학교 산학협력단 , 한국기초과학지원연구원
IPC: G01B11/24 , G01B11/255 , G01B9/02
CPC classification number: G01B9/02 , G01B11/24 , G01B11/255
Abstract: 본 발명의 목적은 비교적 간편한 과정을 통해 자유곡면의 형상을 정확하게 측정할 수 있는 자유곡면 형상 측정방법을 제공하는 것이다. 상기 목적을 달성하기 위해, 본 발명에 따른 자유곡면 형상 측정 방법은 측정 대상 자유곡면을 가상의 x-y 평면 내 다수의 미세 국부영역으로 분할하는 단계; 상기 다수의 미세 국부영역 각각에 대해 x방향 곡률값 및 y방향 곡률값을 측정하는 단계; 상기 x방향 곡률값 및 y방향 곡률값에 기초하여 상기 측정 대상 자유곡면의 x축 곡률값 매트릭스 맵과 y축 곡률값 매트릭스 맵을 생성하는 단계; 상기 x축 곡률값 매트릭스 맵과 상기 y축 곡률값 매트릭스 맵으로부터 프레네 방정식을 이용하여 x축 경사값 매트릭스 맵과 y축 경사값 매트릭스 맵을 생성하는 단계; 및 상기 x축 경사값 매트릭스 맵과 상기 y축 경사값 매트릭스 맵을 적분하여 측정 대상 자유곡면의 형상 매트릭스를 생성하는 단계를 포함한다.
Abstract translation: 本发明的目的是提供一种测量自由曲面形状的方法，该方法通过相对简单的步骤精确地测量自由曲面的形状。 为此，根据本发明的用于测量自由曲面形状的方法包括以下步骤：将待测量的自由曲面分成虚拟x-y平面内的多个微局部区域; 测量所述多个微局部区域中的每一个的x方向曲率值和y方向曲率值; 基于x方向曲率值和y方向曲率值生成要测量的自由曲面的x轴曲率值矩阵图和y轴曲率值矩阵图; 通过使用Frenet方程从x轴曲率值矩阵图和y轴曲率值矩阵图生成x轴倾斜值矩阵图和y轴倾斜值矩阵图; 并且通过对x轴倾斜值矩阵图和y轴倾斜值矩阵图进行积分来生成要测量的自由曲面的形状矩阵。
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