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公开(公告)号：JP6930946B2
公开(公告)日：2021-09-01
申请号：JP2018130499
申请日：2018-07-10
Applicant: TOWA株式会社
Inventor： 岡本 純
IPC: B23K26/36 , B23K26/00 , B23K26/073 , B23K26/066 , B29C33/72
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公开(公告)号：JP2020006601A
公开(公告)日：2020-01-16
申请号：JP2018130499
申请日：2018-07-10
Applicant: TOWA株式会社
Inventor： 岡本 純
IPC: B23K26/36 , B23K26/00 , B23K26/073 , B23K26/066 , B29C33/72
Abstract: 【課題】成形型のコーティングに与えるダメージを抑えつつ、成形型に付着した付着物を除去することができる成形型クリーニング装置を提供する。 【解決手段】成形型クリーニング装置10は、少なくとも一部にコーティングCTが施された成形型25の表面に付着した付着物Aを除去する装置であって、パルスレーザビームを成形型25に照射するレーザビーム照射部(レーザビーム照射機構)11を備え、レーザビーム照射機構11が、1秒あたりの走査レーザパワー密度が2〜15W/cm 2 となるように前記成形型に対して移動させるレーザビーム移動部12を有する。あるいは、成形型クリーニング装置10は、1パルスあたりのレーザフルエンスが0.04〜0.7J/cm 2 であるパルスレーザビームを成形型25に照射するレーザビーム照射部11を備え、レーザビーム照射機構11が、隣接パルスレーザビームの重なり率が85%以上となるようにパルスレーザビームを成形型25に対して移動させるレーザビーム移動部12を有する。 【選択図】図2
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公开(公告)号：JP6382039B2
公开(公告)日：2018-08-29
申请号：JP2014180254
申请日：2014-09-04
Applicant: TOWA株式会社
Inventor： 岡本 純
IPC: B24B27/06 , H01L21/683 , B24B41/06 , H01L21/301
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公开(公告)号：JP2020006600A
公开(公告)日：2020-01-16
申请号：JP2018130498
申请日：2018-07-10
Applicant: TOWA株式会社
Inventor： 岡本 純
IPC: B29C33/72
Abstract: 【課題】樹脂成形を行うことが可能な温度に成形型が昇温されている状態においても熱による影響を抑えつつ使用することができる成形型クリーニング装置を提供する。 【解決手段】成形型クリーニング装置10は、成形型25を構成する上型251と上型251に対向する下型252のいずれか一方の表面に付着した付着物を除去する装置であって、上型251と下型252の間の空間の外に設けられた、レーザビームを出射するレーザ光源11と、反射鏡13と、XYステージ(反射鏡移動機構)14とを有し、反射鏡13が第1位置にあるときに反射鏡13で反射されるレーザビームが上型251又は下型252の表面に照射されるように反射鏡13の向きが設定されているレーザビーム反射機構と、空間の外に設けられた、レーザビームを第1位置にあるときの反射鏡13に対して移動させるレーザビーム移動部(レーザビーム移動機構)12とを備える。 【選択図】図2
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：JP2016054256A
公开(公告)日：2016-04-14
申请号：JP2014180254
申请日：2014-09-04
Applicant: TOWA株式会社
Inventor： 岡本 純
IPC: B24B27/06 , H01L21/683 , B24B41/06 , H01L21/301
Abstract: 【課題】切断装置において、切断用テーブルに振動吸収材を用いることによって吸着治具の表面における摩擦力を大きくする。 【解決手段】切断装置において、基台17の上に吸着治具7を取り付けて切断用テーブル16を構成する。切断用テーブル16において、吸着部材9に設けられた複数の吸着孔13と金属プレート8に設けられた複数の貫通孔14と基台17に設けられた空間18とを連通させる。真空ポンプ21によって、空間18と複数の貫通孔14と複数の吸着孔13とを順次経由して封止済基板1、又は、複数の製品に相当する各領域6を吸引する。吸着部材9に振動吸収材を用いることによって吸着部材9の表面の振動を小さくし、吸着治具7の表面における摩擦力を大きくすることができる。したがって、封止済基板1、又は、製品に相当する各領域6を吸着治具7に保持する保持力を大きくすることができる。 【選択図】図3
Abstract translation: 要解决的问题：通过在切割装置的切割台中使用振动吸收材料来增加吸引夹具的表面上的摩擦力。解决方案：在切割装置中，切割台16通过将吸附夹具 在切割台16处，设置在抽吸构件9中的多个抽吸孔13，设置在金属板8中的多个通孔14和设置在基部17中的空间18相互连接。 通过真空泵21，密封的基板1或对应于多个产品的相应区域6经由空间18，多个通孔14和多个吸入孔13顺序地被吸入。 通过在抽吸构件9中使用振动吸收材料，其表面上的振动减小，并且可以增加吸附夹具7的表面上的摩擦力。 因此，可以增加用于保持密封的基板1或对应于产品的每个区域的保持力。选择的图示：图3
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公开(公告)号：JP2017205811A
公开(公告)日：2017-11-24
申请号：JP2016097829
申请日：2016-05-16
Applicant: TOWA株式会社
Inventor： 岡本 純
Abstract: 【課題】処理装置においてテーブルを安定して往復移動させる。 【解決手段】処理対象物又は処理対象物を処理する処理用部材が取り付けられるテーブル2と、テーブル2が接続され直線運動を行う可動部5と、可動部5を直線運動させる駆動機構4と、駆動機構4を駆動する駆動源3と、直線運動の方向に可動部5を案内する案内部材10と、可動部5の一方側5Rに接続され駆動機構4及び案内部材10の周囲を囲う第1ジャバラ11と、可動部5の他方側5Lに接続され駆動機構4及び案内部材10の周囲を囲う第2ジャバラ12と、第1ジャバラ11における可動部5とは反対側の端部を支持する第1支持部材6と、第2ジャバラ12における可動部5とは反対側の端部を支持する第2支持部材7とを備え、可動部5は第1ジャバラ11によって囲まれた第1空間13と第2ジャバラ12によって囲まれた第2空間14とを連通する連通孔15を含む。 【選択図】図1
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公开(公告)号：JP2017065953A
公开(公告)日：2017-04-06
申请号：JP2015191166
申请日：2015-09-29
Applicant: TOWA株式会社
Inventor： 岡本 純
IPC: B23K26/18 , B24C1/04 , B23K26/36 , C03B33/09 , C03B33/033
Abstract: 【課題】低コストでかつ短時間で実施可能な部材の加工方法および部材の加工装置を提供する。 【解決手段】部材の加工方法は、顔料と接着剤とを溶媒中に均一に分布させた溶液を準備する工程と、上記溶液を部材の表面に塗布して保護層を形成する工程と、上記保護層が形成された上記部材にレーザ光を照射して上記保護層をパターニングする工程と、パターニングされた上記保護層を有する上記部材に加工を施す工程とを備える。 【選択図】図2
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公开(公告)号：JP6017373B2
公开(公告)日：2016-11-02
申请号：JP2013106966
申请日：2013-05-21
Applicant: TOWA株式会社
IPC: B23K26/142 , B23K26/40 , H01L21/301 , B23K26/38
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