公开(公告)号：JP6772315B2

公开(公告)日：2020-10-21

申请号：JP2019024033

申请日：2019-02-14

Applicant: TOWA株式会社

Inventor： 竹内 慎 ,  浅田 武男 ,  荒木 宏祐 ,  東 大助 ,  岸本 智子 ,  保田 琢磨 ,  森山 和男 ,  清水 裕貴

IPC: C23C14/06 ,  B23B27/14 ,  B23C5/16 ,  C23C14/50

公开(公告)号：JP6845877B2

公开(公告)日：2021-03-24

申请号：JP2019024034

申请日：2019-02-14

Applicant: TOWA株式会社

Inventor： 高田 直毅 ,  竹内 慎 ,  荒木 宏祐 ,  東 大助 ,  森山 和男 ,  清水 裕貴

IPC: C23C16/458 ,  C23C14/50

公开(公告)号：JP2020132907A

公开(公告)日：2020-08-31

申请号：JP2019024034

申请日：2019-02-14

Applicant: TOWA株式会社

Inventor： 高田 直毅 ,  竹内 慎 ,  荒木 宏祐 ,  東 大助 ,  森山 和男 ,  清水 裕貴

IPC: C23C16/458 ,  C23C14/50

Abstract: 【課題】真空処理の角度依存性に対応することができるワーク保持部回転ユニットを提供する。 【解決手段】回転軸20と、前記回転軸20を中心として回転可能な回転ホイール40と、ワークWを保持可能であり、前記回転軸20を中心とする円周上に並ぶように配置され、前記回転軸20の軸線に対して傾斜した軸線を中心として回転可能となるように、前記回転ホイール40に設けられた複数のワーク保持部60と、前記回転軸20を中心とする円盤状に形成されると共に、複数の前記ワーク保持部60と接触するように配置され、前記回転ホイール40の回転に伴って前記ワーク保持部60を回転させる固定円盤70と、を具備した。 【選択図】図4

公开(公告)号：JP2020152937A

公开(公告)日：2020-09-24

申请号：JP2019049900

申请日：2019-03-18

Applicant: TOWA株式会社

Inventor： 高田 直毅 ,  竹内 慎 ,  荒木 宏祐 ,  東 大助 ,  森山 和男 ,  清水 裕貴

IPC: C23C16/458 ,  B23P15/28 ,  C23C14/50

Abstract: 【課題】複数種類のワークにも対応することができるワーク保持部及びワーク保持部回転ユニットを提供する。 【解決手段】シャンク部W1と、前記シャンク部W1よりも外径が小さい刃部W2と、を具備する棒状のワークWを保持するワーク保持部60であって、前記シャンク部W1を挿入可能な第一の孔部63c、及び前記第一の孔部63cと連続するように形成され、前記シャンク部W1を挿入不能かつ前記刃部W2を挿入可能な第二の孔部63dを具備する貫通孔63aが形成されたアダプタ63と、前記アダプタ63が挿入された状態で前記アダプタ63を保持可能な回転支持部61と、を具備した。 【選択図】図7

公开(公告)号：JP2020132906A

公开(公告)日：2020-08-31

申请号：JP2019024033

申请日：2019-02-14

Applicant: TOWA株式会社

Inventor： 竹内 慎 ,  浅田 武男 ,  荒木 宏祐 ,  東 大助 ,  岸本 智子 ,  保田 琢磨 ,  森山 和男 ,  清水 裕貴

IPC: C23C14/06 ,  B23B27/14 ,  B23C5/16 ,  C23C14/50

Abstract: 【課題】ワークに形成される薄膜のムラの発生を抑制することができる成膜品の製造方法を提供する。 【解決手段】第一回転軸(回転軸20)を中心として公転可能、かつターゲット6(スパッタリングターゲット)に対して傾斜した第二回転軸(ワーク保持部60)を中心として自転可能となるようにワークWを保持するワーク保持工程と、前記第一回転軸を中心とする公転、及び前記第二回転軸を中心とする自転を行いながら、前記ターゲット6を用いて、前記ワークWに対して成膜を行う成膜工程と、を含む。 【選択図】図4