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1.发明专利加圧装置およびそれを備えた個片化装置、樹脂成形装置、デバイス製造装置、ならびに加圧方法およびそれを含む個片化方法、樹脂成形方法、デバイス製造方法 审中-公开压力装置和单片化装置，包括相同的，树脂成形装置，一种器件制造装置，以及加压的方法和分割方法包括相同的，方法的树脂模制装置的制造方法
公开(公告)号：JP2017019143A
公开(公告)日：2017-01-26
申请号：JP2015137062
申请日：2015-07-08
Applicant: TOWA株式会社
Abstract: 【課題】省エネルギー、省スペースが可能な加圧装置および加圧方法を提供する。 【解決手段】加圧装置は、交互に積層して配置された複数の加圧プレートと複数の被加圧物とに加圧力を加える加圧源を備えた加圧装置であって、上記複数の加圧プレートは、第1の加圧プレートと、第2の加圧プレートと、第3の加圧プレートとを含み、上記加圧装置は、上記第1の加圧プレートと上記第2の加圧プレートとの間の加圧力を保持したまま上記第2の加圧プレートと上記第3の加圧プレートとの間を拡開することが可能であり、かつ、上記第2の加圧プレートと上記第3の加圧プレートとの間の加圧力を保持したまま上記第1の加圧プレートと上記第2の加圧プレートとの間を拡開することが可能な開閉機構をさらに備える。1対の加圧プレートによってそれぞれ挟まれた複数の被加圧物が加圧される。 【選択図】図3
Abstract translation: 甲节约能源，节省空间提供了一个压力装置和加压方法成为可能。 压力装置是具有压力源的压力装置将压力施加到多个设置交替层叠压力板和多个加压圧物，所述多个 加压板，第一压力板包括第二压板;以及第三压力板，所述压力装置中，所述第一压板和所述第二 有可能的，同时之间扩频保持压力板和所述第二压板之间的压力的第二压力板和第三压力板 并且还包括开闭机构而能够在同时之间传播保持压力的第一压力板之间的第二压力板的所述第三压力板。 多个加压圧物分别由一对压力板夹在被加压。 点域
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公开(公告)号：JP2017007272A
公开(公告)日：2017-01-12
申请号：JP2015127542
申请日：2015-06-25
Applicant: TOWA株式会社
Abstract: 【課題】樹脂材料をキャビティ内に均等に、かつ常にスムーズに供給することができる圧縮成形装置の樹脂材料供給装置を提供する。 【解決手段】樹脂材料供給装置20は、柱状材221に、側面に開口し軸方向に延びる溝222が形成され、軸を中心に回動可能である、互いに平行に配置された複数本の樹脂材料収容部22と、前記軸を中心に前記複数本の樹脂材料収容部22を回動させる回動駆動部(ピニオン224、ラック23等)とを備える。また、前記複数本の樹脂材料収容部全体22を、該複数本の樹脂材料収容部22が形成する面内であって前記軸に平行でない方向に移動させる移動部を備える。上下に重ねたトレイとシャッターを互いにスライドさせる従来の機構と異なり、可動部に樹脂材料が噛み込むことがないため、樹脂材料をキャビティ内に均等に、かつ常にスムーズに供給することができる。 【選択図】図2
Abstract translation: 甲均匀树脂材料到空腔中，始终提供一种能够平稳地供给的压缩成型装置的树脂材料馈送设备。 的树脂材料供给装置20，所述柱状构件221，形成为在轴向上侧面上的开口延伸的槽222，可绕一轴线，多个树脂，其被布置成平行于彼此 它包括接收部分22的材料，用于旋转所述中心多个容纳部分22和一个（小齿轮224，齿条23等）的树脂材料的轴的旋转驱动单元。 此外，多个树脂材料容纳部分22整体的，而且在不平行于轴线A在收容的几个形式的多个部分22的平面的树脂材料的方向上移动的移动单元。 不像用于相互滑动的常规机构的托盘和闸门垂直地重叠，因为没有树脂材料夹在可动部，同样的树脂材料到空腔中，并且总是可以顺利地供给。 .The
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公开(公告)号：JP2017035897A
公开(公告)日：2017-02-16
申请号：JP2016224948
申请日：2016-11-18
Applicant: TOWA株式会社
Abstract: 【課題】樹脂材料をキャビティ内に均等に、かつ常にスムーズに供給することができる圧縮成形装置の樹脂材料供給装置を提供する。 【解決手段】樹脂材料供給装置20は、柱状材221に、側面に開口し軸方向に延びる溝222が形成され、軸を中心に回動可能である、互いに平行に配置された複数本の樹脂材料収容部22と、前記軸を中心に前記複数本の樹脂材料収容部22を回動させる回動駆動部(ピニオン224、ラック23等)とを備える。また、前記複数本の樹脂材料収容部全体22を、該複数本の樹脂材料収容部22が形成する面内であって前記軸に平行でない方向に移動させる移動部を備える。上下に重ねたトレイとシャッターを互いにスライドさせる従来の機構と異なり、可動部に樹脂材料が噛み込むことがないため、樹脂材料をキャビティ内に均等に、かつ常にスムーズに供給することができる。 【選択図】図2
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公开(公告)号：JP2017001277A
公开(公告)日：2017-01-05
申请号：JP2015117128
申请日：2015-06-10
Applicant: TOWA株式会社
CPC classification number: H01L2224/48091 , H01L2224/97 , H01L2924/181
Abstract: 【課題】キャビティ内に供給される樹脂材料の位置による偏りを小さくすることができる、圧縮成形装置の樹脂材料供給装置を提供する。 【解決手段】本発明に係る樹脂材料供給装置20は、圧縮成形装置の下型のキャビティの上側に配置され、該キャビティに樹脂材料を供給する装置であって、複数の樹脂供給孔213が2次元状且つ均等に分布するように設けられた底板211を有する樹脂収容ケース21と、前記樹脂供給孔213を閉鎖及び開放するシャッター機構22とを備える。樹脂材料供給装置20からキャビティに樹脂材料が供給される際、樹脂材料の山及び谷が2次元状且つ均等に分布し、谷の周囲を3個以上の山が囲うため、山と谷の高低差は小さくなり、樹脂材料の分布が平坦に近くなる。 【選択図】図2
Abstract translation: A可以通过供给到腔内的树脂材料的位置可以减小偏差，提供一种压缩成型装置的树脂材料供应装置。 根据本发明20的树脂材料供给装置被设置在压缩成形装置的下模腔，用于供给树脂材料注入所述腔中的装置的上侧，供给孔213多个树脂是2 它包括：具有设置成三维形状和均匀分布的一个底板211，以及用于关闭快门机构22和打开树脂供给孔213的树脂壳体壳体21。 当提供从所述腔体供给装置20的树脂材料的树脂材料中，由于峰和谷2维和均匀地分布在树脂材料中，围绕谷三个或更多个峰时，峰和谷的高度 的差小，则树脂材料的分布变得几乎平坦。 .The
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公开(公告)号：JP6284996B1
公开(公告)日：2018-02-28
申请号：JP2016215799
申请日：2016-11-04
Applicant: TOWA株式会社
CPC classification number: H01L21/56 , H01L21/683
Abstract: 【課題】変形した対象物であっても対象物の変形を矯正し安定してテーブルに保持する。 【解決手段】保持装置1は、対象物11が載置されるテーブル2と、テーブル2に設けられ対象物11を吸引する複数の吸引孔3と、テーブル2に設けられ複数の吸引孔3の周囲を取り囲むシール材10と、シール材10が配置された位置において、対象物11の周囲をテーブル2に押圧する押圧部材7と、複数の吸引孔3に接続される減圧機構6とを備える。 【選択図】図2
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公开(公告)号：JP6017634B1
公开(公告)日：2016-11-02
申请号：JP2015117128
申请日：2015-06-10
Applicant: TOWA株式会社
CPC classification number: H01L2224/48091 , H01L2224/97 , H01L2924/181
Abstract: 【課題】キャビティ内に供給される樹脂材料の位置による偏りを小さくすることができる、圧縮成形装置の樹脂材料供給装置を提供する。 【解決手段】本発明に係る樹脂材料供給装置20は、圧縮成形装置の下型のキャビティの上側に配置され、該キャビティに樹脂材料を供給する装置であって、複数の樹脂供給孔213が2次元状且つ均等に分布するように設けられた底板211を有する樹脂収容ケース21と、前記樹脂供給孔213を閉鎖及び開放するシャッター機構22とを備える。樹脂材料供給装置20からキャビティに樹脂材料が供給される際、樹脂材料の山及び谷が2次元状且つ均等に分布し、谷の周囲を3個以上の山が囲うため、山と谷の高低差は小さくなり、樹脂材料の分布が平坦に近くなる。 【選択図】図2
Abstract translation: A可以通过供给到腔内的树脂材料的位置可以减小偏差，提供一种压缩成型装置的树脂材料供应装置。 根据本发明20的树脂材料供给装置被设置在压缩成形装置的下模腔，用于供给树脂材料注入所述腔中的装置的上侧，供给孔213多个树脂是2 它包括：具有设置成三维形状和均匀分布的一个底板211，以及用于关闭快门机构22和打开树脂供给孔213的树脂壳体壳体21。 当提供从所述腔体供给装置20的树脂材料的树脂材料中，由于峰和谷2维和均匀地分布在树脂材料中，围绕谷三个或更多个峰时，峰和谷的高度 的差小，则树脂材料的分布变得几乎平坦。 .The
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公开(公告)号：JP2015214095A
公开(公告)日：2015-12-03
申请号：JP2014098564
申请日：2014-05-12
Applicant: TOWA株式会社
Inventor： 白澤 賢典
Abstract: 【課題】型締力のばらつきを抑制することが可能なモールド装置、圧縮成形装置および圧縮成形方法を提供する。 【解決手段】モールド装置は、スライドプレートの下方に設けられ、型締機構の型締力をスライドプレートに伝達するトグルリンク機構を備える。トグルリンク機構は、スライドプレートを移動させる第1リンク部材と、下部固定盤に回動可能に連結される第1端と、第1リンク部材に回動可能に連結される第2端とを有する第2リンク部材と、第2リンク部材と型締機構とを連結する第3リンク部材とを含み、スライドプレートの下方において、トグルリンク機構が少なくとも3つ配置される。 【選択図】図3
Abstract translation: 要解决的问题：提供一种能够抑制模具夹紧力的变化的模制装置和压缩成型的装置和方法。解决方案：模具装置设有肘节联动装置，其配置在滑板下方并传递模具 模具夹紧机构对滑板的夹紧力。 肘节连接件具有用于移动滑板的第一连杆构件，具有可转动地连接到下固定板的第一端和可转动地连接到第一连杆构件的第二端的第二连杆构件和连接第二连杆构件的第三连杆构件 和模具夹紧机构在一起。 在滑板下方布置有至少三个拨动连杆。
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